微加工技术

作品数：197被引量：479H指数：10
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太赫兹真空器件中超深金属慢波结构的微加工技术
《真空科学与技术学报》2024年第9期759-767,共9页姜琪 李兴辉 冯进军 蔡军 潘攀 
大功率微波电真空器件技术国防科技重点实验室基金项目(10249)。
太赫兹真空电子器件物理结构尺寸变化随着波长的减小而减小,对微小结构的尺寸精度与表面粗糙度要求也大大增加。随着器件频率进入到太赫兹频段,慢波结构的深度达到几十微米或者百微米量级,加工的难点主要有:材料为金属,结构超深,表面粗...
关键词：太赫兹真空电子器件 微机电系统 深反应离子刻蚀 紫外−光刻、电铸 慢波结构 
不同物理形貌对树突状细胞伪足小体及细胞骨架分布的影响
《医用生物力学》2024年第S01期297-297,共1页龙世棋 吴翠芳 曾柱 
国家自然科学基金项目,12132006,31771014,11762006
目的在生物体内,细胞无时无刻与细胞外基质发生接触,细胞外基质的物理形貌可通过机械传导影响细胞的生物学功能。作为重要的固有免疫细胞,树突状细胞可在体内不停巡逻、识别抗原并加工提呈给T细胞,进而启动适应性免疫应答。目前,尚不清...
关键词：树突状细胞 细胞外基质 细胞骨架 免疫荧光技术 空间定位 微加工技术 圆柱形 吞噬功能 
基于电化学微加工技术的多元兼容集成制造工艺及其应用被引量：1
《中国科学：化学》2023年第10期1954-1969,共16页蔡涵 李洪涛 孙云娜 王艳 汪红 丁桂甫 
国家重点基础研究发展规划(编号:2021YFB2022800);国家自然科学基金(编号:62104141)资助项目。
随着摩尔定律日益趋近其发展极限,高集成、多功能微机电系统(MEMS)器件为智能化应用的发展提供持续不竭的动力.若要实现兼容更多功能部件的系统集成,关键是要突破多元材料、复杂结构难以异质异构集成制造的工艺难题.基于电化学微加工的...
关键词：电化学微加工 多元兼容集成制造 MEMS微加工技术 掩膜电镀 功能器件系统集成 
基于FDTD仿真算法的硅基光子集成分析
《电子技术（上海）》2023年第7期36-38,共3页仝香 
阐述硅基微结构材料在界面光学调控中的应用,包括多种平面光学结构设计在宽谱透反射的特性,目标是实现一种具有高抗反射性质以及便于微加工的硅基光学抗反射膜。
关键词：硅基光子学 抗反膜 微加工技术 
可悬停扑翼飞行器研究现状与关键技术被引量：1
《无人系统技术》2023年第3期1-18,共18页张逸晨 赵佳欣 韩昊奇 张卫平 崔峰 刘武 
国家自然基金项目(61871266);上海专业技术服务平台项目(19DZ2291103)。
可悬停扑翼飞行器模仿自然界定点滞空昆虫和鸟类的飞行特点,隐蔽性高、灵活机动、应用环境多样,具有突出的理论和实用价值,引起了世界范围的广泛关注。对可悬停扑翼飞行器的研究现状和发展方向进行了综合评述。首先总结了近年来最突出...
关键词：仿生 悬停 微型飞行器 机器人 微加工技术 扑翼 飞行原理 
探讨面向微机械电子技术的自动化测量传感器设计
《数字技术与应用》2022年第11期173-175,共3页郭宁 刘青 
微机械电子技术,是在微电子技术基础上发展出来的,属于多学科交叉的前沿性技术领域,融合硅微机械加工工艺、LIGA技术和精密机械加工等多种微加工技术,同时应用现代信息技术,构成微型系统,属于一个新的产业增长点。其中,硅微机械加工工...
关键词：自动化测量 传感器设计 现代信息技术 LIGA技术 硅微机械加工 精密机械加工 微加工技术 微型系统 
TD-1数字PCR平台
《科技纵览》2022年第9期77-77,共1页
北京新羿生物科技有限公司推出的TD-1数字PCR平台采用第三代PCR技术,可实现精准、定量的核酸单分子检测。系统采用自主创新的防污染微流控芯片设计、先进的芯片微加工技术及国际首创的“准共聚焦”荧光检测技术,操作便捷、性能稳定,更...
关键词：微加工技术 疾控中心 疫情防控 单分子检测 生物科技 微流控芯片 防污染 自主创新 
基于MEMS技术的电子通信技术特点被引量：3
《现代雷达》2022年第8期118-119,共2页张佳 韩健 
0引言随着二十一世纪电子通信产业的不断改革与创新,电子技术与机械生产技术通过互相结合的方式发展成了一门由多学科融合而成的高新技术,尤其在微加工技术与微电子技术方面更是实现了飞跃式的发展,也为中国将来的电子通信产业指明了全...
关键词：国际高新技术 电子通信技术 MEMS技术 国家科技水平 微加工技术 多学科融合 二十一世纪 改革与创新 
“微通道”知多少被引量：1
《湖北应急管理》2022年第5期41-43,共3页
“微通道”是什么?“微通道”全称“微通道反应器”,是指通过微加工和精密加工技术制造的微型反应系统,其内部流体的通道特征尺寸被限定在10微米~3000微米之间。通过微加工技术制造的微通道反应器不是简单地将现有的反应器缩小,而是将...
关键词：微加工技术 微通道反应器 精密加工技术 技术集成 传感器技术 纳米材料技术 特征尺寸 内部流体 
基于侧边抛磨光纤的传感技术研究综述被引量：1
《应用科学学报》2021年第5期733-746,共14页卓琳青 唐洁媛 朱文国 郑华丹 卢惠辉 关贺元 罗云瀚 钟永春 余健辉 张军 陈哲 
国家自然科学基金(No.62075088,No.61675092,No.61705086,No.61601404);广州市产业领军人才聚集工程项目(No.CXLJTD-201607);欧盟项目(No.H2020-MSCA-RISE-2019)资助。
随着光纤微加工技术的发展,侧边抛磨光纤(side polished fiber,SPF)在光纤传感器领域开辟了一个新纪元。在普通通信光纤的基础上,通过完全或者部分去除一段长度的光纤包层形成传输光场的“泄漏窗口”,利用光场与物质相互作用来激发、控...
关键词：侧边抛磨光纤 光纤传感器 光纤微加工技术 倏逝场 光纤上实验室 
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