LIGA技术

作品数：92被引量：262H指数：10
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探讨面向微机械电子技术的自动化测量传感器设计
《数字技术与应用》2022年第11期173-175,共3页郭宁 刘青 
微机械电子技术,是在微电子技术基础上发展出来的,属于多学科交叉的前沿性技术领域,融合硅微机械加工工艺、LIGA技术和精密机械加工等多种微加工技术,同时应用现代信息技术,构成微型系统,属于一个新的产业增长点。其中,硅微机械加工工...
关键词：自动化测量 传感器设计 现代信息技术 LIGA技术 硅微机械加工 精密机械加工 微加工技术 微型系统 
镍基棱镜型高能X射线聚焦组合折射透镜的研制
《电子器件》2020年第4期724-729,共6页刘静 常广才 伊福廷 张伟伟 
国家自然科学基金青年基金项目(11605226,11305202);大装置联合基金项目(U1732120)。
组合折射透镜是聚焦高能X射线(能量大于50keV)的主要聚焦元件,因此成为同步辐射聚焦技术的研究的前沿与热点。为实现优异的聚焦性能,透镜的优化设计是前提,优良的制备工艺是保证和关键。我们研制了一种棱镜型的高能X射线聚焦组合折射透...
关键词：X射线聚焦透镜 LIGA技术 棱镜型透镜 高能X射线 
UV LIGA技术在毫米波太赫兹器件中的应用进展被引量：9
《太赫兹科学与电子信息学报》2018年第5期776-780,共5页李含雁 冯进军 
采用紫外光刻电铸和微成型(UV LIGA)技术制造太赫兹真空器件的高频结构,频率为94～220GHz。对于94GHz高频结构,尺寸误差≤15μm,采用此高频结构的脉冲行波管输出功率大于100W;180GHz高频结构,尺寸误差≤5μm,采用此高频结构的太赫兹行...
关键词：紫外光刻电铸和微成型 高频结构 毫米波太赫兹器件 
适用于微机械制造的常规加工方法
《城市建设理论研究（电子版）》2016年第7期1670-1670,共1页耿兆青 
在我国制造行业飞速发展的过程中，微机械制造工艺已经在各个行业领域之中得到了广泛的应用，而这一制造体系本身也是目前人类社会极为尖端的制造技术，能够体现出各个国家目前在高精度生产上的水平。在当前的机械制造技术中，微机械制...
关键词：LIGA技术 准LIGA技术 
微机械制造工艺及其应用
《科学与财富》2014年第3期411-411,共1页聂景成 
在我国制造行业飞速发展的过程中，微机械制造工艺已经在各个行业领域之中得到了广泛的应用，而这一制造体系本身也是目前人类社会极为尖端的制造技术，能够体现出各个国家目前在高精度生产上的水平。本篇文章主要针对为机械制造工艺以...
关键词：LIGA技术 准LIGA技术 
340GHz太赫兹返波振荡器被引量：11
《太赫兹科学与电子信息学报》2013年第1期32-37,共6页冯进军 唐烨 李含雁 刘京恺 蔡军 胡银富 邬显平 
介绍太赫兹返波振荡器的发展,重点对340 GHz返波振荡器的设计、模拟和微细加工等研究工作进行了详细介绍。采用平行流电子枪、均匀永磁聚焦系统和折叠波导慢波结构来实现340 GHz返波振荡器,计算和模拟结果表明,当调谐电压14 kV^16.2 kV...
关键词：太赫兹 真空器件 返波振荡器 微机电系统技术 LIGA技术 
微系统关键技术的发展概况被引量：5
《红外与激光工程》2012年第4期936-941,共6页沈叔涛 
微系统技术基于微机械加工技术以及集成电路工艺方法,具有微型化、集成化、智能化、成本低、性能高、可大批量生产等优点。概述了微系统的组成和工作原理,介绍了国内外微系统技术的历史、发展现状和产业分布格局,着重阐述了几种重要的...
关键词：微系统 固体微加工 表面微加工 LIGA技术 高深宽比结构制造技术 
几种最新加工微阵列方法的比较
《机械制造与自动化》2012年第1期43-44,75,共3页贾轶杰 何勇 张年松 李迎 
分别介绍了使用LIGA技术、微细电火花线切割技术(μ-WEDM)、微磨技术、组合式加工技术加工微阵列的最新方法。使用移动LIGA技术加工微针阵列、微细电火花技术加工复杂的三维微阵列电极、微磨技术加工微锥塔阵列、和UV-LIGA技术与微细电...
关键词：微阵列 LIGA技术 微细电火花线切割 微磨技术 组合式加工 
利用LIGA技术研制微细电火花异形和阵列结构电极被引量：1
《电加工与模具》2011年第5期14-17,25,共5页伊福廷 李勇 刘改红 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2006AA04Z317);国家自然科学基金资助项目(50972144);教育部科研基地机电工程与控制国家重点实验室科技支撑计划资助项目
利用LIGA技术的优势,针对电火花电极结构特点开发出相应的加工工艺,完成电火花复杂结构电极的制造。电火花电极的特点是大高宽比的金属柱状结构,这对于LIGA技术工艺具有特殊的难度,需要突破深孔显影和电铸工艺难题。通过大量的工艺试验...
关键词：电火花电极 异形阵列电极 大高宽比金属结构 LIGA技术 
用于微球面加工的热熔回流技术
《电子电路与贴装》2011年第4期16-18,共3页
产品的小型化、微型化是21世纪产品发展的主要趋势之一。微小零件、微小装置在半导体工业、生物技术、微电子工业、远程通讯以及医疗行业中得到越来越广泛的应用。微细加工技术是实现产品零部件微型化基本技术，受到越来越多的关注。LIG...
关键词：回流技术 球面加工 热熔 微细加工技术 LIGA技术 产品发展 半导体工业 微电子工业 
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