微机电系统技术

作品数：65被引量：203H指数：9
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相关作者：陈文元丁桂甫张卫平吴校生赵小林更多>>
相关机构：上海交通大学西北工业大学大连理工大学中国科学院更多>>
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用于MEMS微镜激光跟瞄的扩角镜头研究
《红外与激光工程》2025年第1期120-130,共11页张鹏程 汪洋 李安娜 黄昊 张程 张家昌 张永贵 王栎皓 刘艺晨 武震宇 
国家重点研发计划项目(2021YFB3202500);上海市“科技创新行动计划”启明星项目(23YF1445100)。
MEMS微镜是小型化激光跟瞄系统的关键组件。系统通过控制MEMS微镜使激光偏转,并由光电探测器收集信号,可以实现对目标的稳定跟踪和瞄准。然而MEMS准静态微镜的扫描视场角较小,这限制了对目标的大视场跟踪能力。为了解决MEMS微镜扫描视...
关键词：压电微镜 微机电系统技术 激光跟踪瞄准 扩角镜头 伽利略光路 
中国生物微机电系统技术发展现状与展望
《前瞻科技》2024年第3期19-31,共13页张传禹 蔡新霞 常凌乾 陈健 李天梁 刘景全 高伟卓 胡飞 秦咸明 吴德志 徐洪成 张帅龙 韦学勇 
生物微机电系统(Biomedical Microelectromechanical System,BioMEMS)技术是将生物、机械、电子、物理、化学和信息等多学科交叉融合的前沿技术,其研究和应用极大地推动了生物医学领域技术的进步,并具有低成本产业化的潜力,已经成为世...
关键词：生物微机电系统技术 发展现状 未来趋势 政策建议 
惯性技术之窗:核磁共振陀螺仪技术发展②
《海陆空天惯性世界》2024年第9期150-151,共2页王天顺 邓意成 刘院省 张中岐 韩涛宇 
美国加州大学欧文分校研究进展加州大学欧文分校基于其深厚的微机电系统技术基础,在芯片级陀螺仪和惯性测量单元的开发中发挥着领导作用。2008年,加州大学欧文分校研制出微型核磁共振陀螺样机并验证了陀螺效应。
关键词：加州大学欧文分校 惯性测量单元 惯性技术 微机电系统技术 陀螺效应 芯片级 核磁共振陀螺 陀螺仪 
微机电系统压力传感器抗干扰系统的设计
《视周刊》2024年第16期73-74,共2页吴宏宝 王虎 严定帮 
随着微机电系统技术的快速发展,压力传感器在众多领域得到广泛应用。然而,在复杂的工作环境中,压力传感器易受电磁、温度、机械等干扰因素影响,导致测量精度下降。因此,设计微机电系统压力传感器抗干扰系统具有重要的现实意义。本文针...
关键词：压力传感器 实际应用需求 微机电系统技术 系统监控 抗干扰系统 干扰抑制 实时检测 系统架构设计 
卫星激光通信MEMS快速反射镜可靠性研究进展被引量：5
《红外与激光工程》2023年第9期222-234,共13页朱伟鸿 汪洋 王栎皓 刘艺晨 武震宇 
中国科学院科学科研仪器装备研制项目(YJKYYQ20190026);上海市产业协同创新项目(HCXBCY-2021-044)。
快速反射镜(Fast Steering Mirror,FSM)具有响应快、精度高、分辨率高等优势,被广泛应用于卫星激光通信、超分辨率成像、高精度激光瞄准等领域,是捕获、跟踪和瞄准(Acquisition Tracking and Pointing,ATP)系统中的核心部件。传统快反...
关键词：卫星激光通信 快速反射镜 微机电系统技术 环境适应性 可靠性 
基于微流控与喷墨打印技术的微液滴形成芯片被引量：3
《传感器与微系统》2023年第1期26-29,共4页单子龙 祝明杰 宁伟 吴炫烨 
基于微流控的液滴发生是数字聚合酶链式反应(PCR)等分子生物学检测数字化的基础。研究了一种新的微流控法制备微液滴,采用微流控与热泡喷墨技术结合的方法制备微液滴。利用热泡喷墨打印技术的液滴发生原理,本文提出了一种能够在1 s内形...
关键词：微流控 微液滴 微机电系统技术 喷墨打印技术 
基于边缘计算和微机电系统技术的振动监测系统被引量：2
《江苏水利》2022年第12期62-67,共6页方卫华 魏勇 徐孟启 孙勇 
江苏省水利科技项目(2020024)。
为提高水工建筑振动监测能力,基于边缘计算技术和MEMS(Micro Electro Mechanical Sys⁃tem,微机电系统)技术研制了一套振动监测系统。结合软硬件选型等问题介绍了基于边缘计算的振动监测系统结构,在实践中检验了该系统对混合频率振动的...
关键词：边缘计算 振动监测 MEMS 
基于有限元模拟的微电磁继电器的结构优化设计与研究
《火炮发射与控制学报》2022年第5期66-71,共6页冯波 栗保明 
由于微机电系统(MEMS)技术的迅猛发展,以此为基础的微电磁继电器的应用前景也越来越广阔。为使微电磁继电器的结构进一步优化,基于已有的微电磁继电器的研究,提出了微电磁继电器的结构模型并建立了相应的仿真模型,通过ANSYS有限元模拟软...
关键词：微机电系统技术 微电磁继电器 仿真计算 电流激励 有限元模拟 
站在通信技术的风口--记中国电科网络通信研究院研究员张乃柏
《科学中国人》2022年第18期60-60,共1页户万 
微机电系统技术和太赫兹技术被誉为21世纪具有革命性的高新技术。微机电系统(MEMS)是指采用微电子工艺实现微纳米尺度的电子机械系统,被广泛应用于传感器、电子器件集成领域;太赫兹技术则是指频段在100G H z以上的相关技术,如太赫兹通...
关键词：网络通信 微机电系统技术 太赫兹成像 微电子工艺 太赫兹技术 太赫兹探测 太赫兹通信 累累果实 
创新协作员在申昊科技:打造“机器换人”排头兵
《杭州科技》2021年第2期63-64,共2页林晨 
专家名片杨克己:浙江大学机械工程学系教授、博士生导师,中国机械工程学会高级会员。主要从事机电一体化、智能检测与信号处理以及微机电系统技术等方面的教学与科研工作。研究成果曾获浙江省科技进步二等奖3项和三等奖1项,中国机械工...
关键词：机电一体化 微机电系统技术 智能检测 学术论文 机器换人 教学与科研 国家发明专利 创新协作 
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