微电子工艺

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微电子工艺虚实融合式教学研究与实践
《高教学刊》2025年第5期120-123,共4页刘森 宋兵 孙毅 陈雷 李楠 
2022年湖南省普通高等学校教学改革研究项目“面向微电子人才培养的全流程贯通式实践模式研究”(HNJG-2022-0417);2021年国防科技大学教育教学研究课题重点项目“面向集成电路‘全流程’能力培养的微电子本科专业实践环节设计”(U2021204)。
该文深入探讨微电子工艺教学中的虚实融合教学模式,旨在通过构建虚拟仿真平台与微纳电子技术支撑平台,打破传统教学中对高端实验设备的依赖,实现理论教学与实践操作的深度融合。通过引入沉浸式VR技术,为学生创造一个近乎真实的微电子工...
关键词：微电子工艺 虚实融合 虚拟仿真平台 沉浸式教学 器件制备 
专创融合背景下《微电子工艺设计实践》课程教学改革研究
《中国集成电路》2024年第11期16-22,30,共8页张颖 宋文斌 张永锋 王慧慧 黄君 
新工科背景下电子信息类专创融合的路径研究,辽宁省教育科学规划“十四五”项目,王慧慧,JG22DB052。
在当前的教育背景下,特别是在专业与创新创业教育(专创)的融合趋势中,《微电子工艺设计实践》课程的教学改革显得尤为重要。针对微电子教学的高成本、安全性和污染问题,我们提出了“虚实结合、校企联动”的创新教学平台,基于校企合作真...
关键词：专创融合教学 实践教学改革 微电子工艺设计 虚实结合教学 校企联动 
微电子学课程中的教育数字化转型实践
《电子技术(上海)》2024年第11期24-25,共2页李严 王小妮 殷树娟 李涵 邓伟 
北京信息科技大学研究生课程建设重点项目(2024YKJ05);北京信息科技大学教学改革项目(2025JGYB36)。
阐述微电子工艺课程教学中的数字化转型和实践过程,探讨数字化转型的实施策略,包括借助数字技术,将不同问题前移、扩充数字资源丰富课堂形式、借助线上教学平台设置任务点形成闯关模式。
关键词：微电子工艺 教育数字化 教学平台设置 数字资源 
基于OBE的微电子工艺课程实验设计被引量：1
《集成电路应用》2024年第5期92-93,共2页李严 殷树娟 李涵 邓伟 
北京信息科技大学研究生培养思政建设重点项目(2023PYZD09);北京信息科技大学教学改革重点项目(2023JGZD06);北京信息科技大学研究生课程建设重点项目(2024YKJ05)。
阐述微电子工艺实验教学中的问题及原因,提出解决思路,并给出实验设计方案和具体的实验案例,从而达到实践环节加深理论教学的目的,使学生具备解决微电子工艺问题的实际能力。
关键词：微电子工艺 OBE 教学设计 制造工艺 实践能力 
新工科视域下多元混合式教学在“微电子工艺”课程中的应用探索
《教育进展》2023年第12期10517-10521,共5页胡金勇 汪洋 杨红姣 刘桂东 
针对微电子工艺课程常规传统教学难以契合新工科教育理念,我们以学生为中心,以行业需求为导向,从“丰富课程体系”、“创新教学方法”、“革新考核方式”等多元混合教学方面去探索教学改革的思路。通过重构课程体系和教学内容,有机结合...
关键词：新工科 微电子工艺 多元混合式教学 教学模式探索 
以智能芯片为核心攻关"卡脖子"难题——中山大学微电子科学与技术学院
《科技成果管理与研究》2023年第9期57-59,共3页王琴 
微电子学构成了信息科学的基石,其发展水平直接影响着信息技术的发展.中山大学微电子科学与技术学院成立于2019年,已有集成电路设计、微电子工艺器件两个学科方向,围绕智能芯片打造智能计算(处理器)芯片、智能传感芯片等特色方向及团队...
关键词：微电子工艺 电子科学与技术 重点实验室 智能芯片 信息科学 智能计算 广东省高校 人工智能 
《微电子工艺原理与应用》课程思政建设探索
《中文科技期刊数据库（全文版）教育科学》2023年第7期80-83,共4页李芳 赵石山 张磊 马国坤 
湖北大学教研项目“微电子工艺的课程思政建设探索”(项目编号:2021023)的研究成果。
微电子工艺是一门涉及微电子先进制造的原理、技术和流程。通过探讨《微电子工艺原理与应用》课程思政建设的历史性、可能性和现实性,深度剖析微电子专业教育中的结合点,在此基础上有意、有机、有效地将课程思政元素融入到课程内容的讲...
关键词：微电子工艺 集成电路 课程思政建设 
基于薄膜晶体管制备的微电子工艺实践教学研究
《中文科技期刊数据库（全文版）教育科学》2023年第6期33-35,共3页刘森 王玺 陈长林 王琴 孙振源 
微电子技术是一种新型的学科,它不仅具有传统物理、化学和生物等多领域知识,而且也具备了其他学科所没有的独特性质。在我们生活中很多地方都有着这样或那样的应用。而薄膜晶体管(TFT)作为一个新型材料和集成电路设计行业已经引起人们...
关键词：薄膜晶体管制备 微电子工艺 实践教学 
Silvaco TCAD仿真在《微电子工艺》实验教学中的应用被引量：1
《廊坊师范学院学报（自然科学版）》2022年第4期118-121,128,共5页于文娟 董可秀 王炳庭 周昌海 付翔 胡毅 
安徽省教学研究重点项目(2021jyxm1046);线上线下混合式课程(2021xsxxkc209);安徽省省级一般教学研究项目(2021jyxm1063);校企合作实践教育基地(2020sjjd086)。
为支撑微电子工艺实验课程建设,采用Silvaco TCAD半导体工艺及器件仿真软件,加强学生对微电子工艺中氧化、掺杂、离子注入、光刻等工艺的直观理解,搭建了从网格建设、工艺仿真、PN结分析到NMOS器件全工艺流程设计的系统化仿真实例,让学...
关键词：微电子工艺 集成电路 实验课程建设 Silvaco TCAD 
丝网印刷在微电子器件中的应用研究进展被引量：4
《广东印刷》2022年第6期16-19,共4页周晋宇 陆菲 
2021年甘肃省大学生创新创业训练计划项目,编号:KJ2021-30。
一、引言随着信息技术发展,微电子技术已逐渐成为世界科技强国的重要标志。微电子器件正在从过去的单一器件转变成集信息获取、处理等多种功能于一体的“超级”器件,结构更加微型,存储信息更加海量。微电子器件是指利用微电子工艺技术...
关键词：微电子器件 电荷耦合器件 薄膜晶体管 微电子工艺 系统芯片 光电器件 微电子技术 丝网印刷 
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