基于薄膜晶体管制备的微电子工艺实践教学研究  

作　　者：刘森[1] 王玺[1] 陈长林[1] 王琴[1] 孙振源 

机构地区：[1]国防科技大学,湖南长沙410073

出　　处：《中文科技期刊数据库（全文版）教育科学》2023年第6期33-35,共3页

摘　　要：微电子技术是一种新型的学科,它不仅具有传统物理、化学和生物等多领域知识,而且也具备了其他学科所没有的独特性质。在我们生活中很多地方都有着这样或那样的应用。而薄膜晶体管(TFT)作为一个新型材料和集成电路设计行业已经引起人们广泛关注。本文主要对基于薄膜晶体管制备与性能分析为基础进行研究,在明确实践教学方法及相关教学模式的基础上,设计教学流程,做好微电子工艺实践教学的准备工作和实施工作,在理论结合实践教学的基础上,夯实学生专业基础,解答学生存在的问题。

关 键 词：薄膜晶体管制备 微电子工艺 实践教学 

分 类 号：G642[文化科学—高等教育学] TN40-4[文化科学—教育学]