基于OBE的微电子工艺课程实验设计  

Design of Experimental Teaching Microelectronics Process Course Based on OBE

作　　者：李严[1] 殷树娟[1] 李涵 邓伟 LI Yan;YIN Shujuan;LI Han;DENG Wei(Beijing Information Science and Technology University,Beijing 100096,China)

机构地区：[1]北京信息科技大学,北京100096

出　　处：《集成电路应用》2024年第5期92-93,共2页Application of IC

基　　金：北京信息科技大学研究生培养思政建设重点项目(2023PYZD09);北京信息科技大学教学改革重点项目(2023JGZD06);北京信息科技大学研究生课程建设重点项目(2024YKJ05)。

摘　　要：阐述微电子工艺实验教学中的问题及原因,提出解决思路,并给出实验设计方案和具体的实验案例,从而达到实践环节加深理论教学的目的,使学生具备解决微电子工艺问题的实际能力。This paper expounds the problems in experimental teaching of microelectronics technology,proposes solutions,and provides experimental design schemes and specific experimental cases,in order to deepen theoretical teaching in the practical stage and enable students to have the ability to solve practical problems in microelectronics technology.

关 键 词：微电子工艺 OBE 教学设计 制造工艺 实践能力 

分 类 号：TN40-4[电子电信—微电子学与固体电子学] G642[文化科学—高等教育学]