丝网印刷在微电子器件中的应用研究进展  

作　　者：周晋宇 陆菲 

机构地区：[1]兰州石化职业技术大学

出　　处：《广东印刷》2022年第6期16-19,共4页

基　　金：2021年甘肃省大学生创新创业训练计划项目,编号:KJ2021-30。

摘　　要：一、引言随着信息技术发展,微电子技术已逐渐成为世界科技强国的重要标志。微电子器件正在从过去的单一器件转变成集信息获取、处理等多种功能于一体的“超级”器件,结构更加微型,存储信息更加海量。微电子器件是指利用微电子工艺技术实现的微型化电子系统芯片和器件,主要包括光电器件、薄膜晶体管(Thin Film Transistor,TFT)、电荷耦合器件(Charge Cou-pled Device,CCD)等。

关 键 词：微电子器件 电荷耦合器件 薄膜晶体管 微电子工艺 系统芯片 光电器件 微电子技术 丝网印刷 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]