微细加工技术

作品数：263被引量：333H指数：10
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电真空器件隙缝腔零件微细加工技术工艺研究
《真空电子技术》2024年第2期102-105,共4页陈兵 张德水 于森 
针对G波段分布作用速调管中关键零件隙缝腔零件的高精度设计要求开展微细加工技术研究。基于现有加工经验及加工设备条件,通过创新性的工艺设计、结合大量工艺试验探索,突破了微小尺寸、超高精度零件的精密加工技术,满足了毫米波及太赫...
关键词：微细加工 加工工艺 隙缝腔 精密零件 
激光微细加工技术在医疗器材领域的应用被引量：2
《光电工程》2023年第3期176-190,共15页杜帅 张成林 孙文明 马玉平 姚燕生 
安徽省自然科学基金面上项目(1908085ME130);安徽省高校自然科学基金重点项目(KJ2019A0791);安徽省2021年制造业重点领域产学研用补短板产品和关键共性技术攻关任务(JB21096)。
激光微细加工技术具有超快、超精密等特性,在医疗器材领域的应用中有着传统加工技术无可比拟的独特优势,尤其是对生物材料表面加工改性,提高材料生物相容性方面有着不可替代的作用。本文综述了近年来激光微加工技术在医疗器材制造加工...
关键词：激光微细加工 血管支架 骨支架 生物材料 抗菌性 
前言
《半导体光电》2022年第6期I0001-I0002,共2页张卫平 余华 韩磊 
微机电系统(MEMS)技术,特别是MEMS微细加工技术在许多应用领域产生了实质性的影响,带动了光学器件小型化的发展。微光机电系统(MOEMS)是由光学、微机械、微加工等相结合而产生的一种新兴光学技术,近年来,在MEMS领域受到越来越多的关注。...
关键词：光扫描 微细加工技术 执行装置 系统集成 光的衍射 光学器件 微加工 光学技术 
“MEMS和MOEMS技术”专题征文通知
《半导体光电》2022年第3期I0004-I0004,共1页
微机电系统(MEMS)技术,特别是MEMS微细加工技术,带动了光学器件小型化的发展,在许多应用领域产生了实质性的影响。微光机电系统(MOEMS)是由光学、微机械、微加工等相结合而产生的一种新兴光学技术,近年来,在MEMS领域受到越来越多的关注...
关键词：光扫描 微细加工技术 执行装置 光的衍射 光学器件 微加工 光开关 MOEMS 
V波段宽杆半矩形环螺旋线行波管的研究被引量：4
《真空电子技术》2021年第6期47-51,共5页钟辉 魏望和 于灿 胡文 
国家自然科学基金项目(61761022);江西省教育厅科技项目(GJJ160622)。
为满足行波管大功率、高效率、小型化的发展需求,设计了工作于V波段的宽杆半矩形环螺旋线行波管。仿真结果表明:与传统的矩形螺旋线慢波结构对比,宽杆半矩形环螺旋线慢波结构在保持色散平坦度相近的前提下,具有相速值较小、耦合阻抗较...
关键词：V波段 宽杆半矩形环螺旋线 慢波结构 微细加工技术 注波互作用 带状电子注 
基于pn结的微热加速度传感器
《微纳电子技术》2021年第5期410-415,共6页王佩英 邱霁玄 张成功 王欢 李以贵 
国家自然科学基金资助项目(51035005);上海市科技兴农重点攻关项目(沪农科创字(2018)第3-3号)。
在密闭腔室,设计加热器和测温元件结构并充入气体后加热,腔室内可以形成稳定的热对流场。由于气体存在惯性,当外界有加速度作用时,指定位置放置的pn结可以检测到温度变化。通过仿真分析优化了腔室的合适直径和pn结放置的具体位置。为有...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 传感器 微细加工技术 绝缘体上硅(SOI) PN结 
“微纳光学”专题前言
《光学学报》2021年第8期1-2,F0002,共3页陈树琪 程亚 赵建林 
微纳光学是研究极小空间尺度光场的产生及其与物质相互作用新物理与新应用的重要平台。新世纪以来,得益于微细加工技术和材料科学技术的蓬勃发展,人们可以在微米和纳米尺度下对材料形貌进行有序设计和精准加工,由此实现对其光学响应的...
关键词：材料科学技术 微细加工技术 小空间尺度 光学响应 光学器件 微纳结构 自由度控制 偏振态 
《微机电系统(MENS)》——元器件、电路及系统集成技术和应用被引量：2
《航空兵器》2020年第4期63-63,共1页
微机电系统MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)是伴随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术发展起来的,是指尺寸在几毫米乃至更小尺寸的高科技装置,其内部结构在微米甚至纳米量级,可以成为一个独立的智能系统。MEMS的...
关键词：系统集成技术 半导体集成电路 智能系统 微细加工技术 微机电系统 纳米量级 微型化 集成化 
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《微纳电子技术》2020年第5期348-348,共1页
《微纳电子技术》是中文核心期刊,被国内外多家知名数据库收录。栏目分为:技术论坛,器件与技术,材料与结构,MEMS与传感器,加工、测量与设备。主要内容包括:纳电子学、微系统与纳系统、纳电子器件与技术、纳米材料与结构、功能材料与新...
关键词：中文核心期刊 微细加工技术 网址 微电子领域 纳米技术应用 显微技术 微纳电子技术 纳电子器件 
新型半矩形环螺旋线慢波结构高频特性被引量：7
《强激光与粒子束》2020年第4期84-88,共5页夏伟 魏望和 魏彦玉 卢敏 
国家自然科学基金项目(61761022);江西省教育厅科技项目(GJJ160622)
针对行波管更高工作频率和更大输出功率的发展需要,提出了一种半矩形环螺旋线慢波结构。基于三维电磁仿真软件HFSS的模拟研究表明:调控慢波结构的尺寸可以获得合适的色散特性和互作用阻抗,与现有技术的半圆环螺旋线慢波结构相比较,半矩...
关键词：半矩形环螺旋线慢波结构 微细加工技术 带状电子束 色散特性 互作用阻抗 
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