“MEMS和MOEMS技术”专题征文通知  

出　　处：《半导体光电》2022年第3期I0004-I0004,共1页Semiconductor Optoelectronics

摘　　要：微机电系统(MEMS)技术,特别是MEMS微细加工技术,带动了光学器件小型化的发展,在许多应用领域产生了实质性的影响。微光机电系统(MOEMS)是由光学、微机械、微加工等相结合而产生的一种新兴光学技术,近年来,在MEMS领域受到越来越多的关注。MOEMS可以通过微执行装置实现对光的衍射、散射和折射等的控制,最终实现光开关、光显示、光扫描等功能。

关 键 词：光扫描 微细加工技术 执行装置 光的衍射 光学器件 微加工 光开关 MOEMS 

分 类 号：TP2[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]