云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- MOEMS

MOEMS: 作品数：165被引量：299H指数：8; 导出分析报告; 相关领域：电子电信更多>>; 相关作者：陈维友梁静秋温志渝董玮刘惠兰更多>>; 相关机构：重庆大学中北大学中国科学院长春光学精密机械与物理研究所北京航空航天大学更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划吉林省科技发展计划基金更多>>

基于调谐卡尔曼滤波的光栅MOEMS IMU姿态算法研究: 《微纳电子技术》2025年第3期121-127,共7页王兵权孙文强解琨阳金丽李孟委; 国家自然科学青年基金(62005253)。; 针对纳米光栅微光机电系统(MOEMS)惯性测量单元(IMU)的高精度姿态解算需求,设计了一种基于调谐卡尔曼滤波(TKF)的姿态算法,解决了复杂动态环境下姿态估计精度不足和噪声抑制效果不佳等问题。首先阐述了纳米光栅MOEMS IMU的测量原理,建...; 关键词：纳米光栅惯性测量单元(IMU) 调谐卡尔曼滤波(TKF) 姿态算法

基于细分插值技术的光栅干涉MOEMS加速度计: 《微纳电子技术》2025年第3期135-141,共7页杨鹏金丽解琨阳李孟委; 山西省基础研究计划资助项目(202403021221122)。; 为了解决光栅加速度计信号全量程线性化的问题,提出了一种基于细分插值技术的光栅干涉微光机电系统(MOEMS)加速度计。首先阐述了光栅干涉式加速度计的敏感机理,即通过两束衍射光之间的光程差变化引起的干涉光强变化实现加速度检测,然后...; 关键词：加速度计微光机电系统(MOEMS) 光栅干涉细分插值线性化

基于模糊PID的微光学加速度计温度控制系统研究: 《弹箭与制导学报》2024年第5期63-74,共12页余馨龙陈佳晓闫文辉吴霜卢乾波; 国家自然科学基金(62004166);浙江省自然科学基金(LY23F040002);航空科学基金(20230008053003)资助。; 微加速度计由于其体积小、测量精度高等优点广泛应用于惯性导航等领域,基于光学测量原理的MOEMS(micro-opto-electro-mechanical system)加速度计不易受电磁干扰,拥有更高的测量精度,具有良好的发展前景。外界环境的变化会对微加速度计...; 关键词：MOEMS加速度计温度控制模糊PID控制遗传算法

MOEMS光逻辑开关状态监测系统: 《探测与控制学报》2024年第3期66-72,共7页刘林林曹云孔啸宇聂伟荣席占稳; 国家自然科学基金项目(51805268)。; 为提高MOEMS光逻辑开关的响应速度、减少长时间热积累对激光点火系统的影响,提出在电热式MOEMS光开关中加入状态监测系统。该监测系统包括状态监测单元、驱动电路、控制电路、状态监测电路等,通过在微电热驱动器的运动路径上设置状态监...; 关键词：MOEMS 激光点火光开关状态监测系统

电磁力驱动的光栅泰伯MOEMS加速度计设计与分析: 《舰船电子工程》2024年第6期204-208,共5页罗戴钟徐浩东金丽李孟委; 为提高MEMS加速度计灵敏度与线性工作范围,论文提出一种基于泰伯效应的双层衍射光栅透射式MOEMS加速度计,对其进行光学效应分析、结构与工艺设计。通过有限元分析,确定加速度计工作模态的固有频率为147.25Hz,结构灵敏度为11.5μm/g,光...; 关键词：加速度计泰伯效应双层光栅工艺设计

光栅MOEMS加速度计温度特性: 《微纳电子技术》2024年第5期127-133,共7页邰鹏金丽解琨阳张敏娟李孟委; 由于硅微机械加速度计受温度影响,导致硅弹性模量和热膨胀系数发生变化,造成微光机电系统(MOEMS)加速度计标度因数漂移、测量稳定性下降等问题。首先,采用COMSOL软件对光栅MOEMS加速度计微机械结构部分进行了温度特性仿真,分析了硅弹性...; 关键词：微光机电系统(MOEMS)加速度计光栅泰伯效应热仿真温度特性温控电路标度因数零偏稳定性

基于单质量块微纳光栅泰伯效应的双轴MOEMS加速度计被引量：1: 《微纳电子技术》2024年第4期98-104,共7页杜艺鑫金丽解琨阳吴倩楠李孟委; 国家自然科学基金(62005253)。; 对一种基于单质量块微纳光栅泰伯效应双轴微光机电系统(MOEMS)加速度计进行了设计、加工与测试。利用有限元分析和时域有限差分法分别对双轴加速度计的敏感结构和光栅参数进行仿真优化。在保证加速度计高集成度的同时,为了实现双轴加速...; 关键词：微光机电系统(MOEMS) 双轴MOEMS加速度计泰伯效应微纳光栅阳极键合

微纳光栅MOEMS加速度计优化设计与测试: 《微纳电子技术》2024年第4期114-120,共7页王策张晓玉金丽解琨阳贾鑫瑞张鹏李孟委; 国家自然科学基金(62005253)。; 提出了一种基于微纳光栅泰伯效应的微光机电系统(MOEMS)加速度计,通过Comsol软件对加速度计结构和光栅结构参数进行优化,使其在20g量程范围内获得较大的结构灵敏度和衍射效应灵敏度,同时通过仿真分析了该结构的交叉轴串扰情况。由于受...; 关键词：微光机电系统(MOEMS) 光栅加速度计泰伯效应温度闭环反馈控制零偏稳定性

基于光栅泰伯效应MOEMS加速度计的闭环反馈控制: 《传感器与微系统》2023年第12期83-86,共4页徐浩东金丽吴倩楠王兵权彭海峰李孟委; 国家自然科学基金资助项目(62005253)。; 提出了一种基于微纳光栅泰伯(Talbot)效应检测原理的微光机电系统(MOEMS)加速度计,通过理论分析与有限元仿真软件相结合,验证了光栅MOEMS加速度计检测机理,同时仿真得到其结构灵敏度为1.21μm/gn,工作模态频率为153.76 Hz。另外,为了提...; 关键词：泰伯效应加速度计光栅闭环控制

MEMS and MOEMS Gyroscopes: A Review被引量：1: 《Photonic Sensors》2023年第4期73-98,共26页Wenyi HUANG Xing YAN Sengyu ZHANG Zhe LI Jamal NAHASSAN Dingwei CHEN Guangjun WEN Kai CHEN Guangwei DENG Yongjun HUANG; This work was supported in part by the National Natural Science Foundation of China(Grant Nos.U2230206,12074058,62371106,and 61971113);the National Key Research and Development Program for Young Scientists(Grant No.2022YFA1405900);the Joint Fund of Ministry of Education(Grant No.8091B022126);the Fundamental Enhancement Program Technology Area Fund(Grant No.2021-JCJQ-JJ-0667);Sichuan Provincial Science and Technology Planning Program of China(Grant Nos.2021YJ0089,2022YFG0230,and 2023YFG0040).; Micro-gyroscopes using micro-electro-mechanical system(MEMS)and micro-optoelectro-mechanical system(MOEMS)are the new-generation and recently well-developed gyroscopes produced by the combinations of the traditional g...; 关键词：MICRO-GYROSCOPE MEMS MOEMS angular random walk bias instability

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