泰伯效应

作品数：66被引量：136H指数：6
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电磁力驱动的光栅泰伯MOEMS加速度计设计与分析
《舰船电子工程》2024年第6期204-208,共5页罗戴钟 徐浩东 金丽 李孟委 
为提高MEMS加速度计灵敏度与线性工作范围,论文提出一种基于泰伯效应的双层衍射光栅透射式MOEMS加速度计,对其进行光学效应分析、结构与工艺设计。通过有限元分析,确定加速度计工作模态的固有频率为147.25Hz,结构灵敏度为11.5μm/g,光...
关键词：加速度计 泰伯效应 双层光栅 工艺设计 
光栅MOEMS加速度计温度特性
《微纳电子技术》2024年第5期127-133,共7页邰鹏 金丽 解琨阳 张敏娟 李孟委 
由于硅微机械加速度计受温度影响,导致硅弹性模量和热膨胀系数发生变化,造成微光机电系统(MOEMS)加速度计标度因数漂移、测量稳定性下降等问题。首先,采用COMSOL软件对光栅MOEMS加速度计微机械结构部分进行了温度特性仿真,分析了硅弹性...
关键词：微光机电系统(MOEMS)加速度计 光栅泰伯效应 热仿真 温度特性 温控电路 标度因数 零偏稳定性 
基于泰伯效应的差分双层光栅光学杠杆放大位移传感器
《微纳电子技术》2024年第5期86-92,共7页牛仟起 范长江 李孟委 辛晨光 
国家自然科学基金(62375247)。
研制了一种基于泰伯效应的差分双层光栅光学杠杆放大位移传感器。通过理论计算、仿真分析和实验测试,证明在差分双层光栅后面形成了一个多周期复合光场。当两个光栅之间发生相对位移时,该复合光场随输入位移同步发生移动。由于差分结构...
关键词：泰伯效应 光学杠杆 差分双层光栅 位移传感器 复合光场 
基于单质量块微纳光栅泰伯效应的双轴MOEMS加速度计被引量：1
《微纳电子技术》2024年第4期98-104,共7页杜艺鑫 金丽 解琨阳 吴倩楠 李孟委 
国家自然科学基金(62005253)。
对一种基于单质量块微纳光栅泰伯效应双轴微光机电系统(MOEMS)加速度计进行了设计、加工与测试。利用有限元分析和时域有限差分法分别对双轴加速度计的敏感结构和光栅参数进行仿真优化。在保证加速度计高集成度的同时,为了实现双轴加速...
关键词：微光机电系统(MOEMS) 双轴MOEMS加速度计 泰伯效应 微纳光栅 阳极键合 
微纳光栅MOEMS加速度计优化设计与测试
《微纳电子技术》2024年第4期114-120,共7页王策 张晓玉 金丽 解琨阳 贾鑫瑞 张鹏 李孟委 
国家自然科学基金(62005253)。
提出了一种基于微纳光栅泰伯效应的微光机电系统(MOEMS)加速度计,通过Comsol软件对加速度计结构和光栅结构参数进行优化,使其在20g量程范围内获得较大的结构灵敏度和衍射效应灵敏度,同时通过仿真分析了该结构的交叉轴串扰情况。由于受...
关键词：微光机电系统(MOEMS) 光栅加速度计 泰伯效应 温度闭环反馈控制 零偏稳定性 
基于光栅泰伯效应MOEMS加速度计的闭环反馈控制
《传感器与微系统》2023年第12期83-86,共4页徐浩东 金丽 吴倩楠 王兵权 彭海峰 李孟委 
国家自然科学基金资助项目(62005253)。
提出了一种基于微纳光栅泰伯(Talbot)效应检测原理的微光机电系统(MOEMS)加速度计,通过理论分析与有限元仿真软件相结合,验证了光栅MOEMS加速度计检测机理,同时仿真得到其结构灵敏度为1.21μm/gn,工作模态频率为153.76 Hz。另外,为了提...
关键词：泰伯效应 加速度计 光栅 闭环控制 
会聚球面波的泰伯效应
《大学物理实验》2023年第6期16-22,共7页陈然 孙中皋 程世红 
辽宁省教育厅科学研究服务地方项目(LF2020003);辽宁师范大学2022年度校级本科教学改革研究与实践项目(LSJG202223)。
运用傅里叶变换和菲涅尔-基尔霍夫衍射理论推导了会聚球面波入射二维振幅型光栅在其菲涅尔衍射区的像面光场分布表达式,分析了成像条件以及成像规律。通过实验对泰伯效应进行观测,测量数据与理论值平均误差在4.6%左右,验证了所推导公式...
关键词：泰伯效应 会聚球面波 傅里叶变换 二维光栅衍射 
单轴晶体中垂直光轴方向上的二维泰伯效应被引量：1
《光学学报》2023年第5期1-10,共10页刘颖仪 程静 
国家自然科学基金(11774097);广东省重点领域研发计划(2019B030330001)。
基于单轴晶体光束传输理论,从理论上推导了二维正交周期结构光场沿垂直单轴晶体光轴方向传播产生泰伯效应的公式。给出了泰伯效应的产生条件和常规泰伯距离的表达式,常规泰伯距离的大小决定于单轴晶体寻常光的折射率n_(o)与非寻常光折射...
关键词：衍射 泰伯效应 单轴晶体 二维正弦光栅 二维项链光栅 
基于泰伯效应测量光栅常量
《物理实验》2022年第6期21-25,共5页李冬至 刘忠菊 伍豪佳 梁禄业 李博琛 赵骞 
辽宁省科技厅科技计划指导计划类项目(No.2019-ZD-0199);辽宁省教育厅科学研究经费项目(面上项目)(No.LJKZ0159)。
利用泰伯效应光栅自成像的周期性特点,借助LabVIEW软件实现自动化采集并实时分析数据,运用基础光机电元器件测量了一维光栅的光栅常量.通过自动化采集探测器移动过程中图像整体对比度的变化,获得实时对比度曲线,通过多个相邻的最大峰值...
关键词：泰伯效应 光栅常量 自成像 对比度 
基于纳米光栅泰伯效应的三轴加速度计仿真设计被引量：2
《传感器与微系统》2022年第5期76-79,共4页靳黎明 王策 金丽 辛晨光 李孟委 
国家自然科学基金青年科学基金资助项目(62005253);山西省青年科技研究基金资助项目(201901D211277);山西省高等学校科技创新项目(2020L0267)。
基于纳米光栅近场泰伯自成像效应,提出一种双层光栅透射检测式的单片集成三轴微加速度计的设计方案,利用双层光栅的面内运动和离面运动分别对x,y,z轴加速度分别进行检测。通过对加速度计结构和双层纳米光栅结构尺寸分别进行仿真设计,并...
关键词：纳米光栅 泰伯效应 微加速度计 三轴单片集成 
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