微加速度计

作品数：301被引量：726H指数：11
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低量程抗冲击双轴微加速度计设计
《传感器与微系统》2025年第4期92-95,100,共5页帅清 石云波 赵锐 张志峰 
国家自然科学基金资助项目(52175524)。
针对常规武器弹药的外弹道信息测量过程中,低量程MEMS加速度传感器在上万g_(n)过载环境下的损坏问题,本文提出了一种双轴抗冲击微加速度传感器,可以实现抗过载3×10^(4)g_(n)量程50 g_(n)的指标要求。有限元仿真结果表明:在50 g_(n)载...
关键词：双轴加速度计 抗冲击 电容式 低量程 嵌入式止挡结构 微机电系统 
硅微加速度计产品技术发展概览
《海陆空天惯性世界》2025年第2期151-152,共2页秦和平 胡利 
国内技术发展现状电容式硅微加速度计MEMS加速度计的研究能追溯到20世纪80年代,1995年科技部设立了“微电子机械系统项目”,使得国内关于MEMS加速度计的探索和研究速度急剧上升。目前,国内关于MEMS加速度计的研究主要集中于高校和科研院...
关键词：MEMS加速度计 微电子机械系统 硅微加速度计 国防科技大学 仪器研究所 北京航天 技术发展现状 哈尔滨工业大学 
硅微加速度计产品技术发展概览 2
《海陆空天惯性世界》2025年第1期151-152,共2页秦和平 胡利 
2024年,美国MEI Micro,Inc.公司发布了一款两用导航级低C-SWaP单敏感质量三轴硅微加速度计(见图7、图8、图9):在±10g范围内,速度随机游走(VRW)为3μg/Hz^(1/2),偏差不稳定性为7μg。该加速度计是在其新近开发完成的一种芯片级多轴MEMS...
关键词：真空封装 3DS 硅微加速度计 MEMS器件 随机游走 晶圆级 芯片级 工艺平台 
硅微加速度计产品技术发展概览
《海陆空天惯性世界》2024年第12期151-152,共2页秦和平 胡利 
引言目前,无人机、巡飞弹、防空导弹、智能炮弹等先进武器在战争中被频繁使用;现代战争对双方武器装备的现代化和自主可控提出了更高的要求,对惯性传感器高精度、微型化、敏捷量产的需求更为迫切。加速度计是一种测量载体运动加速度的...
关键词：惯性传感器 牛顿第二定律 批量生产 硅微加速度计 MEMS技术 运动加速度 测量方式 自主可控 
基于交流反馈的电容式加速度计闭环数字系统
《仪表技术与传感器》2024年第10期27-31,50,共6页汤浙 丁徐锴 黄丽斌 
针对加速度计系统中普遍存在的信号零偏漂移与低频噪声,文中采用一种基于交流反馈的闭环系统,结合结构参数和电路参数,对加速度计系统进行仿真,设计FPGA数字电路。搭建模拟直流反馈与数字交流反馈的闭环系统测试平台,在相同环境下进行...
关键词：微加速度计 闭环系统 交流反馈 噪声水平 
多负载环境下微加速度计的可靠性建模与分析
《中国机械工程》2024年第5期860-868,共9页关存贺 许高斌 蒋京奇 王焕章 陈兴 马渊明 
国家重点研发计划(2022YFB3205903)。
针对多负载环境下微电子机械系统(MEMS)微加速度计易出现的敏感结构断裂及材料疲劳退化问题,提出了一种基于全概率理论的微加速度计可靠度预估模型。该模型结合齐次泊松过程和Wiener退化过程,分别表征单位时间内作用在微加速度计上的冲...
关键词：微加速度计 多负载环境 可靠性 全概率理论 
微加速度计电磁力反馈系统设计与仿真分析
《仪表技术与传感器》2024年第5期7-11,共5页沈富明 赵锐 石云波 祖凯旋 刘豪 张旭 张志峰 
山西省基础研究计划面上项目(202103021224206);国家自然科学基金面上项目(52175524);山西省“1331工程”重点学科建设项目。
针对电容式加速度传感器的闭环控制需求,设计了一种电磁反馈系统,以满足用于惯性导航的高精度加速度传感器的需求。该系统保证了加速度传感器具有高机械灵敏度的同时,还能拓宽其量程。建立了电容式微机电系统(MEMS)加速度传感器的闭环...
关键词：加速度计 电磁力 反馈 有限元仿真 量程 
基于五阶ΣΔ调制的微加速度计设计与仿真
《现代工业经济和信息化》2024年第1期147-149,154,共4页陈灵佳 
为抑制加速度计信号带宽范围噪声,设计基于五阶ΣΔ调制器微机械加速度计闭环系统,并在MATLAB/Simulink下对该调制器进行建模,优化参数,通过行为级仿真讨论其稳定性。系统仿真显示:当输入幅值为1g、频率为256 Hz的加速度信号时,在1024 H...
关键词：微机械 ΣΔ调制 闭环控制 噪声 
基于多层嵌套环驻波特性的MEMS应力隔离结构设计
《传感技术学报》2023年第2期167-173,共7页董磊锘 马志鹏 陈瑾亮 
国家自然科学基金委员会青年科学基金项目(62104211)。
MEMS加速度计等传感器检测精度受机械元件加工、电路制作、封装工艺等方面影响,其中机械热应力的影响尤为显著。为降低热应力,提出了一种基于多层嵌套环驻波特性的应力隔离结构设计,利用嵌套环的驻波振动特性,通过多层嵌套环逐级吸收传...
关键词：MEMS 应力隔离 有限元分析 微加速度计 热应力 
基于多桥路隧道磁阻效应的双轴微加速度计被引量：1
《舰船电子工程》2022年第12期165-168,186,共5页张鹏 郭春宏 宫美梅 金丽 
论文利用隧道磁阻效应设计了一种高分辨率的双轴微机械加速度计。该加速度计基于正交回折形线圈产生的高变化率磁场实现对x、y方向输入加速度的独立检测;其次阐述提出的新型多桥路隧道磁阻结构,通过理论仿真计算验证该新型桥路结构不但...
关键词：微加速度计 隧道磁阻效应 多桥路结构 有限元 灵敏度 
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