前言  

作　　者：张卫平[1,2,3,4] 余华 韩磊[10,11] 

机构地区：[1]上海交通大学电子信息与电气工程学院 [2]上海交通大学微米纳米加工技术全国重点实验室 [3]中国微米纳米技术学会 [4]上海市惯性技术学会 [5]重庆大学 [6]IEEE-PES分会 [7]中国仪表仪器学会微纳器件与系统分会 [8]重庆惯性技术学会 [9]重庆半导体行业协会 [10]东南大学 [11]中国仪器仪表行业协会传感器分会

出　　处：《半导体光电》2022年第6期I0001-I0002,共2页Semiconductor Optoelectronics

摘　　要：微机电系统(MEMS)技术,特别是MEMS微细加工技术在许多应用领域产生了实质性的影响,带动了光学器件小型化的发展。微光机电系统(MOEMS)是由光学、微机械、微加工等相结合而产生的一种新兴光学技术,近年来,在MEMS领域受到越来越多的关注。MOEMS可以通过微执行装置实现对光的衍射、散射和折射等的控制,最终实现光开关、光显示、光扫描等功能。MEMS具有低成本、小体积、可批量化制造等特性,使得微光学系统在制造、系统集成和运行方面具有极大的优势。

关 键 词：光扫描 微细加工技术 执行装置 系统集成 光的衍射 光学器件 微加工 光学技术 

分 类 号：TN3[电子电信—物理电子学]