真空器件

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太赫兹真空器件中超深金属慢波结构的微加工技术
《真空科学与技术学报》2024年第9期759-767,共9页姜琪 李兴辉 冯进军 蔡军 潘攀 
大功率微波电真空器件技术国防科技重点实验室基金项目(10249)。
太赫兹真空电子器件物理结构尺寸变化随着波长的减小而减小,对微小结构的尺寸精度与表面粗糙度要求也大大增加。随着器件频率进入到太赫兹频段,慢波结构的深度达到几十微米或者百微米量级,加工的难点主要有:材料为金属,结构超深,表面粗...
关键词：太赫兹真空电子器件 微机电系统 深反应离子刻蚀 紫外−光刻、电铸 慢波结构 
电真空器件空间行波管制造工艺保证及可靠性分析
《中文科技期刊数据库（引文版）工程技术》2024年第9期0161-0164,共4页张欣玲 
随着各类电真空器件渗透到我国各行各业,它们的制造工艺和表现可靠性的问题愈发受到关注。特别是空间行波管(TWTs)由于其广泛的应用和良好的性能特征,在电真空器件中占据了重要地位。针对其制造工艺和可靠性问题,本研究结合理论研究及...
关键词：电真空器件 空间行波管 制造工艺 可靠性 管理成本 
碳化硅真空纳米电子器件技术分析
《真空电子技术》2024年第3期63-75,共13页任大鹏 李兴辉 韩攀阳 仲子琪 
新兴的真空纳米电子器件兼具固态器件集成电路和传统真空电子器件的优势。但和硅器件同工艺、同片集成的现状,限制了其在恶劣环境的应用。使用宽禁带半导体碳化硅材料制备真空纳米电子器件,可在耐辐射基础上兼具抗高温特性,使该器件具...
关键词：碳化硅 真空器件 纳米器件 抗温 抗辐射 
电真空器件隙缝腔零件微细加工技术工艺研究
《真空电子技术》2024年第2期102-105,共4页陈兵 张德水 于森 
针对G波段分布作用速调管中关键零件隙缝腔零件的高精度设计要求开展微细加工技术研究。基于现有加工经验及加工设备条件,通过创新性的工艺设计、结合大量工艺试验探索,突破了微小尺寸、超高精度零件的精密加工技术,满足了毫米波及太赫...
关键词：微细加工 加工工艺 隙缝腔 精密零件 
国力源通:技术创新助力主机厂降本增效
《汽车与运动》2024年第3期8-11,共4页吕彩霞 崔凯(摄) 
在2023年"中国心"年度动力总成零部件评选中,我们发现了一家"小而美"的宝藏企业——昆山国力源通新能源科技有限公司(简称国力源通).一开始,记者还以为其是汽车零部件行业的新面孔,但在采访中才发现,国力源通早在2004年就开始涉足新能...
关键词：汽车零部件行业 新能源汽车 高电压技术 电真空器件 技术创新 动力总成 主机厂 降本增效 
基于太赫兹真空器件的微型阴极抑制膜特性研究
《太赫兹科学与电子信息学报》2024年第1期17-21,共5页张敏 张珂 杨鹏云 
为满足太赫兹真空器件对阴极的大电流密度、小电子注尺寸需求,利用双离子束辅助沉积技术在浸渍钪酸盐阴极表面沉积Ta/Zr抑制膜,并利用聚焦离子束刻蚀技术制备出发射面直径为100μm的微型热阴极。在此基础之上着重研究这种阴极的抑制膜特...
关键词：太赫兹器件 微型阴极 双离子束沉积 Ta/Zr抑制膜 
昆山国力源通新能源科技有限公司
《汽车与运动》2023年第11期81-81,共1页
昆山国力源通新能源科技有限公司(以下简称"国力源通")是昆山国力电子科技股份有限公司(以下简称"国力股份")的控股子公司.国力股份是一家专业从事电子真空器件研发、生产和销售的科创板上市企业,经过将近60年的技术沉淀,自主研发能力...
关键词：真空器件 自主研发能力 电子科技 控股子公司 新能源科技 科创板 国力 核心技术 
《太赫兹真空电子器件(一)》专栏发刊词
《太赫兹科学与电子信息学报》2023年第10期I0001-I0001,共1页
人类从未停止过探索的脚步,太赫兹波是介于光学和微波毫米波之间的电磁频谱,在宇宙科学、材料科学、物理学、通信、感知探测成像等领域具有广阔的应用前景。真空电子器件在太赫兹频段具有大功率、高效率、小型化等优势,是太赫兹系统的...
关键词：真空电子器件 微波毫米波 传输损耗 真空器件 电磁频谱 太赫兹频段 互作用效率 特征尺寸 
超灵敏度检漏仪校准技术进展
《真空科学与技术学报》2023年第5期390-395,共6页王汐月 卢耀文 陈千睿 董云宁 魏萌萌 杨传森 闫睿 齐京 
本文综述了国际上超灵敏度检漏仪的校准技术进展。超灵敏度检漏仪是高可靠长寿命真空器件封装的重要检漏工具,当前报道的检漏下限可达10−16 Pa·m^(3)/s,但检漏结果的正确性是器件可靠性的关键因素。超灵敏度检漏结果正确性主要取决于...
关键词：超灵敏度检漏 标准气体流量计 校准 真空器件 长寿命 高可靠 
数字处理系统电磁环境效应监测技术研究
《电子材料与电子技术》2023年第1期6-8,共3页田祥宗 王武斌 
1电电磁环境随着脉冲功率器件、电真空器件、第三代半导体等基础技术的发展,核电磁脉、高功率微波等强电磁脉冲信号发生技术水平也得到了极大的提升。与此同时,越来越多的国家将强电磁脉冲对电子信息系统的干扰应用在现代战场上,强电磁...
关键词：电真空器件 电子信息系统 高功率微波 脉冲功率 电磁环境 强电磁脉冲 技术水平 数字处理系统 
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