张博

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供职机构：中国电子科技集团公司第五十四研究所更多>>
发文主题：移动通信MEMS开关半导体技术毫米波微加工更多>>
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发文期刊：《固体电子学研究与进展》更多>>
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毫米波/太赫兹MEMS开关研究及技术进展
《固体电子学研究与进展》2025年第1期41-46,共6页张博 李依桐 张乃柏 宋瑞良 邓琨 杨光耀 刘军 
国家重点研发计划资助项目(2018YFE0202500)。
毫米波/太赫兹MEMS开关是一种采用半导体技术制造的微小型可移动器件,具有体积小、功耗低、集成度高等优点。本文首先介绍了毫米波/太赫兹MEMS开关的结构及工作原理,回顾了近年来基于固定梁式和悬臂梁式的毫米波/太赫兹MEMS开关的研究进...
关键词：微机电开关 电容比 微加工 半导体技术 6G移动通信 
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