微测辐射热计

作品数：150被引量：284H指数：8
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基于氧化钒薄膜的双层红外焦平面阵列的设计与仿真
《有色金属工程》2024年第11期58-65,共8页行琳 王晗 王如志 
广东省重点领域研发计划项目(2024B0101080002)。
随着红外探测器对高灵敏度、快速响应、低成本等性能要求日益增加,新型非制冷型微测辐射热计引起了人们极大关注与兴趣。设计了双层伞状镂空吸收层的微测辐射热计单元结构,对不同结构的性能进行了仿真分析。研究了吸收层厚度和面积对红...
关键词：微测辐射热计 氧化钒 非制冷红外探测 有限元仿真 
腔体型超表面非制冷红外探测器
《红外与毫米波学报》2024年第5期621-627,共7页杨君 杨春丽 方辉 袁俊 鄢善入 李华英 黎秉哲 
随着非制冷红外探测器像元尺寸的逐步缩小,提高探测器吸收率变得越来越重要。该文章基于现有的制备工艺,提出了一种IMIAM(Insulator-Metal-Insulator-Air-Metal)腔体型超表面非制冷红外探测器结构,在增强探测器吸收的同时有效改善了光...
关键词：非制冷红外探测器 VOx微测辐射热计 超表面 光吸收增强 
基于超表面微辐射热计的双色偏振探测器
《飞控与探测》2024年第5期75-86,共12页蒋顺 方锐 李君宇 邵晓冬 易飞 
华中科技大学自主创新研究基金项目(2019kfyRCPY122)。
介绍了利用超表面吸收体即具有亚波长尺寸和间距的光学谐振器阵列来取代分立的滤光片和偏振片实现了氧化钒(VO x)微测辐射热计对光谱和偏振的同时选择。超表面吸收体选择性地吸收特定波段的TM偏振光而反射TE偏振光,其中特定波段的中心...
关键词：非制冷红外探测 微测辐射热计 光谱探测 偏振探测 超表面 
基于3ω法的微测辐射热计像元薄膜热导率测试
《红外》2024年第9期7-16,共10页柴星涛 程龙 史杰 董珊 陈文礼 
热导是微测辐射热计像元的重要参数之一,其大小直接影响像元的响应高低。热导与组成像元的薄膜材料的热导率相关,薄膜的特征尺寸、温度和淀积工艺皆会影响热导率。监控工艺线上薄膜的热导率,对像元的设计具有重要意义。根据3ω谐波探测...
关键词：微测辐射热计 热导 薄膜热导率 3ω谐波探测技术 
超表面在微测辐射热计中的应用
《红外技术》2024年第1期1-11,共11页杨君 袁俊 杨春丽 王文金 张杰 李华妮 
超表面突破了传统自然材料的电磁特性限制,同时也解决了三维超材料难以加工实现等瓶颈问题,使器件朝着集成化,小型化,低成本,可调谐的方向不断发展。目前超表面已在许多领域得到了较为广泛的应用,在探测器领域也越来越受到人们的重视,...
关键词：超表面 微测辐射热计 光吸收增强 波段选择 
双层伞状开孔的微测辐射热计红外吸收分析
《半导体光电》2023年第1期44-48,共5页蒋君贤 王涛 陈超 吴志明 王军 
建立了具有伞状吸收层结构的微测辐射热计探测单元的红外吸收模型。基于光学导纳矩阵法和阻抗匹配理论,采用三维电磁仿真软件CST,对伞状结构不同开孔尺寸和形状下模型的红外吸收特性进行了分析。结果表明,双层伞状开孔微测辐射热计光学...
关键词：微测辐射热计 光学仿真 小像元 吸收率 微桥结构 
微测辐射热计器件工艺开发和特性评估
《红外与激光工程》2023年第1期40-46,共7页刘伟 何兵 马特 刘刚 
西安市英才计划(XAYC200025)。
依托半导体生产线开发了基于MEMS微桥结构的微测辐射热计(micro-bolometer)器件,其中,使用化学气相沉积(CVD)技术开发了非晶硅(α-Si)薄膜工艺,并将其用作微测辐射热计器件的敏感层材料,该材料在1 000A厚度下的膜厚均匀性可以控制在2%以...
关键词：微测辐射热计 MEMS 微桥结构 敏感层 
太赫兹成像技术研究进展及应用被引量：8
《红外技术》2022年第4期328-342,共15页周强国 黄志明 
国家自然科学基金委员会重点项目(12134016);杰出青年基金(61625505);中国科学院,基础前沿科学研究计划(ZDBS-LY-JSC025)。
太赫兹波(terahertz waves)位于红外波段与微波波段之间,相比其他波段具有高透射性、低能量性、相干性、指纹光谱以及瞬态性等特点。随着太赫兹成像技术在空间通信、雷达探测、航天航空以及生物医疗等领域的广泛应用,已经表现出传统成...
关键词：太赫兹 时域光谱 微测辐射热计 成像技术 
微测辐射热计型非制冷红外焦平面探测器技术新进展被引量：2
《光电子》2021年第4期158-167,共10页邓荣春 卢杰 徐立中 胡荣群 
近年来,随着大规模集成电路、半导体薄膜、微机电系统等科技进步,微测辐射热计型非制冷红外焦平面探测器技术快速发展,已成为目前技术最成熟、市场占有率最高的一种焦平面探测器型式。本文介绍了红外焦平面探测器分类、微测辐射热计型...
关键词：非制冷红外焦平面阵列 微测辐射热计 微机电系统 芯片 
激光损伤非制冷微测辐射热计的实验研究
《红外技术》2021年第1期1-7,共7页周冰 贺宣 刘贺雄 李秉璇 张俊祥 
在市场需求驱动下,非制冷红外测辐射热计阵列在多个领域正逐步应用,对其激光干扰的研究也被提上了日程。本文以多晶硅探测器为例,结合非制冷微测辐射热计阵列的构造和工作原理,分析了激光辐照作用下的温度响应;通过10.6mm连续激光的辐...
关键词：非制冷微测辐射热计 激光损伤 功率密度 损伤等级 多晶硅 
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