微桥结构

作品数：34被引量：52H指数：5
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双层伞状开孔的微测辐射热计红外吸收分析
《半导体光电》2023年第1期44-48,共5页蒋君贤 王涛 陈超 吴志明 王军 
建立了具有伞状吸收层结构的微测辐射热计探测单元的红外吸收模型。基于光学导纳矩阵法和阻抗匹配理论,采用三维电磁仿真软件CST,对伞状结构不同开孔尺寸和形状下模型的红外吸收特性进行了分析。结果表明,双层伞状开孔微测辐射热计光学...
关键词：微测辐射热计 光学仿真 小像元 吸收率 微桥结构 
微测辐射热计器件工艺开发和特性评估
《红外与激光工程》2023年第1期40-46,共7页刘伟 何兵 马特 刘刚 
西安市英才计划(XAYC200025)。
依托半导体生产线开发了基于MEMS微桥结构的微测辐射热计(micro-bolometer)器件,其中,使用化学气相沉积(CVD)技术开发了非晶硅(α-Si)薄膜工艺,并将其用作微测辐射热计器件的敏感层材料,该材料在1 000A厚度下的膜厚均匀性可以控制在2%以...
关键词：微测辐射热计 MEMS 微桥结构 敏感层 
采用飞秒激光制备REBCO超导带材微桥结构的研究
《低温与超导》2021年第7期33-37,共5页权雪玲 黄胜利 武悦 沈赟靓 凌天宇 
上海研发公共服务平台建设项目(18DZ2295400)资助。
采用飞秒激光器制备了基于第二代高温超导带材(REBCO)的微桥结构。激光共聚焦显微镜以及扫描电镜进行表征,结果表明微桥刻蚀区超导层被完全刻蚀,可以有效约束电流的通路。此外,开展了液氮温区自场条件下临界电流测试,临界电流成比例缩...
关键词：第二代高温超导(REBCO)带材 临界电流 飞秒激光 微桥 四引线传输电流测量 
共用桥腿式高性能非制冷红外焦平面探测器研究
《红外与激光工程》2021年第3期86-92,共7页王雅琴 蔡光艳 马占锋 高健飞 黄立 
研制出一种新型微桥结构的氧化钒非制冷红外焦平面探测器。该微桥结构采用列相邻像素共用桥腿的方式,极大地增加了桥腿长度,减小热导,能有效提高像元响应率并降低噪声等效温差(NETD)。同时该微桥结构采用双层工艺,增加桥面及氧化钒面积...
关键词：共用桥腿 微桥结构 非制冷红外 红外焦平面探测器 
室温微测辐射热计太赫兹探测阵列技术研究进展(特邀)被引量：3
《红外与激光工程》2019年第1期12-21,共10页王军 蒋亚东 
国家自然科学基金研究创新群体(61421002);国防预研项目(41414020903)
在室温太赫兹探测技术领域中,热敏微桥结构的太赫兹探测器具有探测波段宽、阵列规模大、集成度高、实时成像等显著特点。文中对室温太赫兹探测技术、基于热敏材料的太赫兹探测技术国内外发展现状进行了综述,分析了基于氧化钒薄膜微桥结...
关键词：非制冷红外焦平面探测器 微桥结构 太赫兹探测器 金属吸收薄膜 
一种两级微桥结构快速测温微型传感器的研制被引量：1
《武汉工程大学学报》2016年第2期195-199,共5页秦自强 王宁 邓佩刚 
设计了一种新型薄膜热电阻温度传感器.传感器感温结构由基片(Si)/绝缘层(SiO_2)/感温部(Pt)组成,Pt薄膜片以悬空的微桥连接方式搭接在SiO_2片上,SiO_2片也以同样的方式搭接在Si片上,以此构成两级微桥机构.较之传统温度传感器,该感温部...
关键词：温度传感器 微桥机构 热响应 时间常数 热损失 
电阻阵列红外景物产生器微桥结构的研制及仿真被引量：2
《西安工业大学学报》2012年第8期613-616,共4页周顺 刘卫国 蔡长龙 刘欢 秦文罡 
陕西省教育厅专项科研计划项目(2010JK590);陕西省重点实验室开放基金项目(ZSKJ200904);西安工业大学"薄膜技术与光学检测"科研创新团队建设计划资助
为了进一步提高电阻阵列红外景物产生器的性能,设计并制作了该器件的微桥结构.利用SiOx与TiWN分别作为微桥结构的介电材料与电阻材料;利用表面工艺技术制作160×120阵列微桥结构;并对微桥结构进行了热学性能的仿真分析.研究结果表明:所...
关键词：红外景物产生器 微桥 微加工技术 SIOX TiWN 
微桥结构PZT厚膜红外探测器研究
《电子元件与材料》2011年第12期13-16,共4页曹家强 吴传贵 彭强祥 罗文博 张万里 唐治军 
工业与信息化部电子信息产业发展基金资助项目(No.2010301)
利用KOH溶液腐蚀结合SF6气体干法刻蚀工艺制备了锆钛酸铅(PbZr0.3Ti0.7O3,PZT)厚膜热释电红外探测器,得到了器件Si基背面完全悬空的微桥绝热结构。使用由斩波器调制的黑体辐射,测试了探测器在低频段的电压响应率、噪声等效功率和探测率...
关键词：红外探测仪 PZT厚膜 微桥结构 探测率 
热应力对非制冷红外焦平面微桥的影响及控制研究被引量：5
《光学学报》2011年第3期294-298,共5页王志 许向东 周东 杨卓 蒋亚东 陈超 
国家自然科学基金(61071032);国家重点实验室开放基金(KFJJ200917)资助课题
非制冷红外焦平面阵列的微桥结构在微加工工艺中,由于温度的剧烈变化,在薄膜中产生热应力而引起微桥的变形,将对器件产生不利影响。利用有限元分析方法,对微桥在热应力作用下产生的变形进行了分析,提出了两种控制热应变的途径:1)选择一...
关键词：薄膜 非制冷红外焦平面阵列 热应力 有限元分析 微桥结构 形变 
非制冷微测辐射热计支撑层厚度比研究被引量：2
《红外与毫米波学报》2010年第4期251-254,共4页许路加 胡明 杨海波 杨孟琳 张洁 
国家自然科学基金(60371030;60771019);天津大学先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室开放基金(ACMT-2008-05)
根据实验室设计的单层微测辐射热计所采用的Si3N4和SiO2双层膜复合支撑结构工艺,分别利用力学的等效截面方法和复合材料热导公式,从理论上推导了微桥桥腿正应力和热导的解析表达式.分析在其它因素不变的情况下,仅调整Si3N4和SiO2两者厚...
关键词：非制冷红外成像 支撑层 微测辐射热计 微桥结构 厚度比 
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