PZT厚膜

作品数：32被引量：41H指数：3
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相关期刊：《硅酸盐学报》《辐射研究与辐射工艺学报》《应用声学》《压电与声光》更多>>
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中子辐照诱生锆钛酸铅厚膜界面缺陷
《辐射研究与辐射工艺学报》2024年第5期118-124,共7页彭茂洋 孟德超 傅正平 
核国重开放课题(NPT2023KFY10)。
采用中子对厚度为5μm的锆钛酸铅(PZT)压电厚膜进行辐照,选择注量为0 cm^(-2)、1011cm^(-2)、1012cm^(-2)、1013cm^(-2)。针对界面缺陷影响机制不清晰问题,应用深能级瞬态谱(DLTS)对样品的界面缺陷能级、浓度、俘获截面等关键性质进行...
关键词：PZT厚膜 中子辐照 界面缺陷 电学性能 
微型PZT厚膜超声电机定子的制备及分析
《机电工程技术》2022年第12期14-17,共4页宗浩然 王大志 赵奎鹏 袁钰恒 梁世文 杨勇 
国家自然科学基金面上项目(编号:51975104,62074138);大连理工大学宁波研究院项目。
基于电流体喷印工艺制备了微型PZT厚膜超声电机定子。搭建了电流体喷印实验平台,利用电流体喷印工艺,以锆钛酸铅(PZT)复合悬浮液为喷印材料,在钛合金弹性体上沉积了厚度为50μm的环形PZT厚膜并在700℃下进行高温退火结晶,利用磁控溅射...
关键词：超声电机定子 PZT厚膜 电流体喷印 
微型压电厚膜执行器的仿真与实验研究被引量：2
《机电工程技术》2022年第1期9-11,57,共4页袁钰恒 赵奎鹏 宗浩然 王大志 
采用ANSYS有限元软件建立了微型压电厚膜执行器的多物理场耦合仿真模型,求解了微型压电厚膜执行器B(0,3)模态的共振频率为80673 Hz,在15 V交流电压下的振幅为210 nm。同时通过磁控溅射、电流体喷射打印工艺,制备了外径为4.5 mm的环形PZ...
关键词：压电执行器 PZT厚膜 ANSYS仿真 电流体喷射打印 
曲面压电厚膜电流体喷印制备研究
《机电工程技术》2020年第9期45-46,200,共3页姜重阳 赵奎鹏 王柱 袁钰恒 宗浩然 王大志 
压电厚膜作为功能部件被广泛应用在传感、执行器件中,主要为平面膜结构。但在医学中的聚焦超声换能器、海洋中的水听器等,需要应用曲面压电陶瓷厚膜以实现能量聚焦、信号放大。基于电流体喷印技术研究曲面压电厚膜的制备工艺,设计搭建...
关键词：电流体 喷印 PZT厚膜 压电 
不锈钢基压电厚膜微悬臂梁传感器的制作与测试被引量：2
《机电工程技术》2019年第7期32-34,共3页周鹏 王大志 石鹏 赵奎鹏 姜重阳 王柱 
国家自然科学基金资助项目(编号:51475081);精密测试及仪器国家重点实验室开放基金资助项目(pilab1804);中央高校基本科研业务费资助项目(DUT18LAB17)
制备了不锈钢基底压电厚膜微悬臂梁传感器。利用精密激光加工技术制备了厚度为100μm的不锈钢微悬臂梁基底,由于不锈钢具有良好的导电性,可以作微悬臂梁传感器的下电极,采用模板辅助电雾化沉积技术在不锈钢微悬臂梁基底上制备了厚度为20...
关键词：微悬臂梁传感器 PZT厚膜 电雾化沉积 模板辅助 不锈钢 
PZT厚膜的电雾化沉积与溶胶渗透研究
《机电工程技术》2018年第9期12-15,共4页石鹏 王大志 周鹏 李学木 慈元达 王骁 梁军生 
国家自然科学基金资助项目(编号:51475081)
制备锆钛酸铅(PZT)悬浮液,采用电雾化沉积(EHDA)技术,在硅衬底上沉积PZT厚膜,研究溶胶渗透工艺对电雾化沉积PZT厚膜的致密性与电学性能的影响。结果表明:经过2C+1S溶胶渗透工艺处理的PZT厚膜致密性与电学性能得到明显提升,在50 kHz测试...
关键词：PZT 厚膜 电雾化沉积 溶胶渗透 
用于能量收集器的不锈钢基PZT厚膜制备研究
《压电与声光》2018年第4期604-607,611,共5页崔林 王士军 陈伟 张临松 
国家自然科学基金青年基金资助项目(51505265)
采用了溶胶-凝胶技术在不锈钢基体上制备了厚为10μm、结构致密的锆钛酸铅(PZT)厚膜。研究了不同退火条件对厚膜结晶状况的影响,X射线衍射分析表明,采用700℃退火处理20min后得到了PZT厚膜的纯钙钛矿相结构。厚膜的电学性能测试结果显示...
关键词：锆钛酸铅(PZT) 厚膜 溶胶-凝胶法 电学性能 振动能量收集器 
PZT厚膜的电射流沉积研究被引量：3
《传感器与微系统》2016年第2期19-22,共4页王大志 吕景明 郁风 董维杰 梁军生 任同群 
国家自然科学基金资助项目(51475081;201301622);辽宁省自然科学基金资助项目(201300935);辽宁省教育厅科学研究一般项目(201301504)
制备了锆钛酸铅(PZT)悬浮液,采用电射流沉积(EJD)技术,在硅衬底上沉积了PZT厚膜。研究了电射流沉积高度、流量及悬浮液混合条件对厚膜致密性的影响。结果表明:降低电射流沉积高度和流量有助于提高沉积PZT厚膜致密性;采用球磨方法充分混...
关键词：锆钛酸铅 厚膜 电射流沉积 
0-3法制备PZT厚膜及其性能研究
《人工晶体学报》2015年第6期1551-1556,共6页任伟 赵修臣 李俊红 汪承灏 
国家自然科学基金(11074274;11174319)
采用0-3复合法制备PZT(Pb Zr0.52Ti0.48O3)厚膜,通过陈化、静置、去除沉淀颗粒、浓缩等方法改良了浆料配制工艺,大大改善了厚膜的表面粗糙度,制备出适于微压电换能器使用的PZT厚膜。采用单层退火的方式对厚膜进行了结晶热处理,研究了不...
关键词：PZT厚膜 0-3法 结晶温度 粗糙度 
PZT厚膜与Si衬底互扩散阻挡层研究
《压电与声光》2013年第2期261-264,共4页陈冲 吴传贵 彭强祥 罗文博 张万里 王书安 
国家自然科学基金资助项目(51102037)
在Pt/Ti/SiO2/Si基片上,利用电泳沉积制备PZT热释电厚膜材料。为防止Pb和Si互扩散,在Pt底电极与SiO2/Si衬底间通过直流磁控溅射制备了TiOx薄膜阻挡层。对具有0、300nm和500nm TiOx阻挡层的PZT厚膜材料用SEM和能量色散谱仪(EDS)表征了Pb...
关键词：锆钛酸铅(PZT)厚膜 直流磁控溅射 TiOx 热释电性能 
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