沈赟靓

作品数：5被引量：8H指数：2
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供职机构：上海交通大学更多>>
发文主题：半导体微纳加工磁控溅射钛功率更多>>
发文领域：一般工业技术电子电信环境科学与工程文化科学更多>>
发文期刊：《真空科学与技术学报》《低温与超导》《实验技术与管理》《电子工艺技术》更多>>
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采用飞秒激光制备REBCO超导带材微桥结构的研究
《低温与超导》2021年第7期33-37,共5页权雪玲 黄胜利 武悦 沈赟靓 凌天宇 
上海研发公共服务平台建设项目(18DZ2295400)资助。
采用飞秒激光器制备了基于第二代高温超导带材(REBCO)的微桥结构。激光共聚焦显微镜以及扫描电镜进行表征,结果表明微桥刻蚀区超导层被完全刻蚀,可以有效约束电流的通路。此外,开展了液氮温区自场条件下临界电流测试,临界电流成比例缩...
关键词：第二代高温超导(REBCO)带材 临界电流 飞秒激光 微桥 四引线传输电流测量 
开放式半导体微纳加工实验室危化品管理体系的规范化建设被引量：1
《实验技术与管理》2020年第12期292-294,322,共4页王英 程秀兰 吴炜文 付学成 韩永来 沈赟靓 张明军 
2018年度上海研发公共服务平台建设资助项目(18DZ2295400);上海交通大学决策咨询课题资助项目(JCZXSJB2020-011)。
开放式半导体微纳加工实验室具有工艺种类多、工艺复杂、工艺流程长等特点,在工艺过程中所涉及的化学品及特种气体种类多、易燃易爆试剂用量大、危险性高等,因此,对这类实验室的安全管理提出了更高的要求。根据这类实验室的特点,该文针...
关键词：微纳加工实验室 危化品管理 特种气体 
开放式半导体微纳加工平台的开放管理模式探讨被引量：2
《实验技术与管理》2020年第2期229-232,共4页王英 程秀兰 马玲 付学成 瞿敏妮 沈赟靓 
大型仪器设备共享是节约社会资源的重要手段。该文以上海交通大学先进电子材料与器件校级平台为基础,从实验室环境、设备工艺、物资需求、研究方向、人员等方面系统分析和总结了开放式半导体微纳加工平台的特点,并对实验平台开放所面临...
关键词：微纳加工平台 开放式平台 管理模式 
负偏压功率对溅射沉积钛、铜薄膜电阻的影响被引量：4
《真空科学与技术学报》2018年第11期980-984,共5页付学成 王英 沈赟靓 李进喜 权雪玲 
2018年度上海交通大学决策咨询立项资助课题(编号JCZXSJB2018-028)
为了研究负偏压功率对直流溅射沉积铜、钛两种金属薄膜电阻率的影响,在采用相同的工艺条件溅射沉积两种金属薄膜的同时分别加上0、50、150 W的负偏压功率,发现随着偏压功率由0增加到150 W,制备的钛薄膜厚度下降了25%,电阻率下降到原来的...
关键词：负偏压功率 磁控溅射 钛薄膜 铜薄膜 电阻率 F-S&M-S理论 
光敏BCB光刻图形化工艺研究被引量：1
《电子工艺技术》2016年第5期264-266,310,共4页王凤丹 王英 刘民 付学成 李进喜 沈赟靓 马玲 
国家自然科学基金资助项目(项目编号:81270209)
光敏BCB-苯并环丁烯(benzocyclobutene)具有低介电常数、低介电损耗、低吸湿率、高热稳定性、良好的化学稳定性以及高薄膜平整度和低固化温度等优良的加工性能,在现代微电子制造封装工艺中有非常重要的应用,常用作各类器件钝化防护和层...
关键词：光敏BCB 光刻工艺 前烘 形貌 曝光 
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