程秀兰

作品数：59被引量：130H指数：5
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发文主题：刻蚀形状记忆效应形状记忆合金微驱动器光栅耦合器更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术金属学及工艺自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《微细加工技术》《功能材料》《物理学报》《清洗世界》更多>>
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电子束设备蒸镀铝膜工艺的研究
《真空》2024年第6期1-6,共6页付学成 瞿敏妮 权雪玲 乌李瑛 王英 程秀兰 
上海市2022年度“科技创新行动计划”集成电路领域项目(22501100800)。
利用电子束蒸镀设备沉积高质量铝膜是薄膜工艺的一个难题。为此,提出一种采用改造的三氧化二铝坩埚作为蒸镀铝膜的衬锅,通过三次添加物料预熔再蒸镀来沉积铝膜的方法,研究了不同蒸镀速度对铝膜电阻率、晶粒形貌和成分组成的影响。结果表...
关键词：电子束蒸发 铝膜 水冷坩埚 三氧化二铝坩埚 
高深宽比硅孔溅射铜种子层工艺的探索与研究
《真空》2024年第4期1-5,共5页付学成 刘民 张笛 程秀兰 王英 
上海市科委项目(22501100800);上海交通大学决策咨询课题(JCZXSTA2022-02)。
硅通孔技术(TSV)是当前非常热门的高密度封装技术,但由于常规薄膜沉积技术很难在高深宽比的硅孔内沉积铜、钨等金属种子层,硅通孔技术中存在深硅孔金属化困难的工艺问题。通过对倾斜溅射时铜原子二维非对心碰撞前后入射角度的变化关系...
关键词：硅通孔技术 多靶共焦溅射 铜种子层 
基于微纳科研平台工艺验证的微米级标准CMOS关键工艺仿真
《电子与封装》2023年第7期64-70,共7页王峥杰 徐丽萍 凌天宇 瞿敏妮 权雪玲 乌李瑛 程秀兰 
基于微纳科研平台工艺验证的微米级CMOS标准工艺,采用TCAD仿真了场注入、沟道调节注入、衬底偏置电压以及接触金属类型对MOSFET器件性能的影响,进而对CMOS工艺中的器件关键工艺进行优化设计,为科研平台微纳工艺流片提供指导。仿真结果表...
关键词：CMOS工艺 半导体器件 TCAD仿真 
用于垂直耦合的非对称光栅耦合器的研究进展被引量：8
《激光与光电子学进展》2021年第5期14-24,共11页田苗 瞿敏妮 乌李瑛 程秀兰 
光子集成的发展极大地促进了光栅耦合器的研究。非对称光栅打破了耦合对称条件,能够实现相对较高的耦合效率。近年来,倾斜光栅、闪耀光栅和二元闪耀光栅等均得到了极大发展,它们的结构设计、制备方法和测试方法等也都得到了改进。介绍...
关键词：光栅 衍射光栅 光耦合 耦合效率 光栅制备 光栅仿真 
开放式半导体微纳加工实验室危化品管理体系的规范化建设被引量：1
《实验技术与管理》2020年第12期292-294,322,共4页王英 程秀兰 吴炜文 付学成 韩永来 沈赟靓 张明军 
2018年度上海研发公共服务平台建设资助项目(18DZ2295400);上海交通大学决策咨询课题资助项目(JCZXSJB2020-011)。
开放式半导体微纳加工实验室具有工艺种类多、工艺复杂、工艺流程长等特点,在工艺过程中所涉及的化学品及特种气体种类多、易燃易爆试剂用量大、危险性高等,因此,对这类实验室的安全管理提出了更高的要求。根据这类实验室的特点,该文针...
关键词：微纳加工实验室 危化品管理 特种气体 
聚焦离子束对铌酸锂表面加工的形貌控制研究被引量：4
《电子显微学报》2020年第2期189-195,共7页瞿敏妮 沈贇靓 乌李瑛 田苗 王英 程秀兰 
国家科技部“十三五”高性能计算重点研发计划项目子课题(No.2016YFB0200205);2018年度上海研发公共服务平台建设项目(No.18DZ2295400);上海交通大学决策咨询课题(No.JCZXSJB2018-022);上海交通大学转化医学交叉研究基金(No.ZH2018ZDB01)。
聚焦离子束是一种高精度、无掩膜的先进微纳加工手段。本文以铌酸锂晶体为研究对象,利用聚焦离子束/电子束双束系统对铌酸锂表面进行图形刻蚀,研究了离子束重复次数/驻留时间、扫描方式、扫描步长及束流大小等刻蚀参数对图形加工造成的...
关键词：聚焦离子束 原子力显微镜 铌酸锂 表面形貌 
开放式半导体微纳加工平台的开放管理模式探讨被引量：2
《实验技术与管理》2020年第2期229-232,共4页王英 程秀兰 马玲 付学成 瞿敏妮 沈赟靓 
大型仪器设备共享是节约社会资源的重要手段。该文以上海交通大学先进电子材料与器件校级平台为基础,从实验室环境、设备工艺、物资需求、研究方向、人员等方面系统分析和总结了开放式半导体微纳加工平台的特点,并对实验平台开放所面临...
关键词：微纳加工平台 开放式平台 管理模式 
宇航用倒装器件的结构分析研究
《科学与信息化》2018年第27期75-76,81,共3页姬青 程秀兰 王昆黍 
倒装芯片封装技术是一种新兴的微电子封装技术,它将工作面上制有凸点电极的芯片朝下,与基板布线层直接键合。在对倒装芯片封装器件使用前开展针对性的结构分析技术研究,通过分析器件内部的封装结构、工艺、材料来早期确定器件是否有潜...
关键词：倒装芯片 结构分析 封装结构 可靠性 
石墨烯纳米孔的制备及λ-DNA穿孔初步研究被引量：4
《化学学报》2014年第3期378-381,共4页王跃 余旭丰 刘芸芸 谢骁 程秀兰 黄少铭 王志民 
国家"863"计划(No.2012AA02A104);自然科学基金(No.51302037);上海交通大学重大项目及创新团队培育基金(No.X198775);上海市重点学科建设基金(No.B209)资助~~
纳米孔测序是有可能实现"$1,000 Genome"目标的技术之一.近年来,研究较多的纳米孔有蛋白质纳米孔和硅基材料的固态纳米孔.蛋白孔寿命比较短,而基于硅基底的固态纳米孔深度显著超过单链DNA相邻碱基的间距,所以,无法实现DNA的单个碱基的分...
关键词：石墨烯 纳米孔 测序 聚焦离子束 聚焦电子束 
基于负载金纳米颗粒的TiO_2纳米线的SERS基底被引量：1
《功能材料与器件学报》2014年第1期1-6,共6页李君 程秀兰 吕朋雨 余旭丰 马娣娣 
863计划重大项目资助(2012AA02A104)
表面增强拉曼散射(Surface enhanced Raman scattering,SERS)是一种灵敏度很高的生物检测技术。近年来有研究表明,在半导体纳米材料表面用贵金属修饰所得的结构具有很强的SERS效应。本文提出了一种基于负载金纳米颗粒的宽禁带半导体FiO_...
关键词：表面增强拉曼散射 TiO2纳米线 水热合成 金纳米颗粒 痕迹检测 
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