吴亚明

作品数：64被引量：179H指数：7
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供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文主题：MEMS微机电系统光开关光纤准直器阵列波导光栅更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程电气工程更多>>
发文期刊：《微纳电子技术》《中国电机工程学报》《光电子．激光》《功能材料与器件学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国科学院知识创新工程重要方向项目国家重点基础研究发展计划更多>>
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面向大行程垂直运动的电磁驱动式MEMS微反射镜
《功能材料与器件学报》2023年第3期202-209,共8页宋柯宇 凌必赟 陈栋 徐巧 吴亚明 
上海市青年科技英才扬帆计划资助(20YF1456600)
本文提出了一种具有大行程垂直位移的电磁驱动式MEMS微反射镜。该MEMS微反射镜基于杠杆原理,以电磁力驱动杠杆的短臂扭转,从而使连接长臂的反射镜面产生较大的位移;采用对称设计的弹性铰链结构,抵消水平方向的位移,以保证反射镜面仅在...
关键词：MEMS微镜 电磁驱动 放大杠杆 弹性铰链 
基于MEMS技术的水平轴光纤加速度传感器被引量：2
《光电子．激光》2015年第3期414-421,共8页王小伟 钟少龙 徐静 吴亚明 
国家重大科学仪器设备开发专项(2012YQ2500021401)资助项目
提出了一种基于微机电系统(MEMS)技术的水平轴光纤加速度传感器,并与Z轴光纤加速度传感器在同一MEMS芯片上制造,形成单一方向出纤的三轴光纤加速度传感器。分析了器件工作原理和器件结构参数与其性能的关系,利用MEMS技术成功制作出了加...
关键词：微机电系统(MEMS) 加速度传感器 水平轴加速度传感器 光纤加速度传感器 
MEMS光敏BCB硅—硅键合工艺研究被引量：3
《传感器与微系统》2014年第8期48-51,共4页赵璐冰 徐静 钟少龙 李绍良 吴亚明 
微系统技术国家重点实验室基金资助项目
光敏BCB作为粘结介质进行键合工艺实验研究。实验中选用XUS35078负性光敏BCB,提出了优化的光刻工艺参数,得到了所需要的BCB图形层,然后将两硅片在特定的温度与压力条件下完成了BCB键合。测试表明:该光敏BCB具有较小的流动性和较低的塌...
关键词：光敏BCB 光刻 低温键合 剪切强度 气密性 
聚酰亚胺隔热悬挂结构设计与制作被引量：1
《传感器与微系统》2014年第5期91-94,98,共5页李绍良 徐静 吴亚明 
中国科学院知识创新工程重要方向性项目(KGCX2-YW-143)
加热器在原子钟、气体传感器、生物传感器等器件中有着广泛的应用,降低加热功耗对于这些器件的实用化具有重要意义。设计并制作了一种集成了加热器和温度传感器的聚酰亚胺隔热悬挂结构,用于承载待加热的芯片,并利用集成制作在聚酰亚胺...
关键词：聚酰亚胺 隔热悬挂结构 MEMS技术 低功耗 绝热封装 
一种微型化制造的双腔结构芯片原子钟^(87)Rb蒸汽腔(英文)被引量：5
《红外与激光工程》2014年第5期1463-1468,共6页李绍良 徐静 张志强 吴亚明 
中科院院知识创新工程重要方向性项目(KGCX2-YW-143)
碱金属蒸汽腔是芯片原子钟(CSACs)中重要的核心部件之一,其微型化制造具有重要的实用价值,同时也非常具有挑战性。采用MEMS技术批量化制作了具有双腔结构的芯片原子钟87Rb蒸汽腔阵列。在阳极键合过程中,通过原位化学反应产生纯净的87Rb...
关键词：^87Rb蒸汽腔 芯片原子钟 相干布居数囚禁(CPT) 双腔结构 MEMS技术 
基于永磁薄膜的MEMS磁传感器设计与制作被引量：3
《传感器与微系统》2014年第5期59-61,65,共4页龙亮 钟少龙 吴亚明 
国家重大科学仪器设备开发专项项目(2012YQ250002)
提出了一种基于永磁薄膜的新型MEMS磁传感器,磁传感器由MEMS扭摆、CoNiMnP永磁薄膜和差分检测电容等部分组成。分析了磁传感器的磁敏感原理和电容检测原理,提出了器件的结构参数并对器件进行了模态仿真。利用MEMS加工技术成功制作了MEM...
关键词：磁传感器 CoNiMnP永磁薄膜 电容检测 微机电系统 
基于光纤检测技术的扭转敏感微机电系统加速度传感器被引量：4
《中国激光》2014年第3期102-109,共8页钟少龙 龙亮 李明 吴亚明 
国家重大科学仪器设备开发专项(2012YQ250002)
为实现微型化、抗电磁干扰、可长时间工作和可远距离传输的加速度传感器,提出了一种基于微机电系统(MEMS)非对称扭镜结构的光纤加速度计设计方案,并利用对角度变化非常敏感的双光纤准直器对扭镜的扭转角度变化进行检测。MEMS光纤加速度...
关键词：传感器 微机电系统 加速度计 光纤传感器 光纤检测 微加工 
微型光纤磁传感器的设计与制作被引量：13
《光学精密工程》2013年第9期2294-2302,共9页龙亮 钟少龙 徐静 吴亚明 
国家重大科学仪器设备开发专项资金资助项目(No.2012YQ250002)
提出了一种基于微机电系统(MEMS)扭镜结构的光纤磁场传感器,并利用对角度变化非常敏感的双光纤准直器对扭镜的扭转角度进行了检测。该MEMS光纤磁传感器由MEMS扭镜结构、磁性敏感薄膜和双光纤准直器组成。文中分析了器件的磁敏感原理和...
关键词：光纤传感器 磁传感器 微机电系统 光纤检测 磁性薄膜 
MEMS双光纤位移声传感器设计与分析被引量：1
《红外与激光工程》2013年第9期2505-2509,共5页李晓龙 王江安 吴亚明 
国家自然科学基金(51109217)
提出了一种新型强度调制型光纤传感器的理论模型。该模型使用单模光纤,讨论了光在准直透镜中的传播规律,利用光学透镜的准直作用,即矩阵光学原理和高斯耦合理论实现光强调制。强度型光纤传感器采用微电机系统MEMS结构的压力振动膜片拾...
关键词：MEMS 调制 传感器 
基于电容检测MEMS磁传感器的设计与制作被引量：4
《纳米技术与精密工程》2013年第3期222-230,共9页龙亮 钟少龙 吴亚明 
为实现微型化、低功耗、低成本和高灵敏度的磁传感器,提出了一种基于微型磁扭摆结构的磁传感器,并利用对角度变化非常敏感的差分电容检测技术对磁扭摆的扭转角度进行检测.设计的磁传感器包括微扭摆结构、磁性敏感薄膜和差分检测电容等部...
关键词：磁传感器 电容检测 MEMS 磁性薄膜 
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