李绍良

作品数：6被引量：38H指数：3
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供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文主题：缓冲气体阳极键合原子钟MEMS技术光学窗口更多>>
发文领域：电子电信生物学环境科学与工程一般工业技术更多>>
发文期刊：《干旱区资源与环境》《红外与激光工程》《中国激光》《真空科学与技术学报》更多>>
所获基金：中国科学院知识创新工程重要方向项目国家重点实验室开放基金更多>>
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MEMS光敏BCB硅—硅键合工艺研究被引量：3
《传感器与微系统》2014年第8期48-51,共4页赵璐冰 徐静 钟少龙 李绍良 吴亚明 
微系统技术国家重点实验室基金资助项目
光敏BCB作为粘结介质进行键合工艺实验研究。实验中选用XUS35078负性光敏BCB,提出了优化的光刻工艺参数,得到了所需要的BCB图形层,然后将两硅片在特定的温度与压力条件下完成了BCB键合。测试表明:该光敏BCB具有较小的流动性和较低的塌...
关键词：光敏BCB 光刻 低温键合 剪切强度 气密性 
聚酰亚胺隔热悬挂结构设计与制作被引量：1
《传感器与微系统》2014年第5期91-94,98,共5页李绍良 徐静 吴亚明 
中国科学院知识创新工程重要方向性项目(KGCX2-YW-143)
加热器在原子钟、气体传感器、生物传感器等器件中有着广泛的应用,降低加热功耗对于这些器件的实用化具有重要意义。设计并制作了一种集成了加热器和温度传感器的聚酰亚胺隔热悬挂结构,用于承载待加热的芯片,并利用集成制作在聚酰亚胺...
关键词：聚酰亚胺 隔热悬挂结构 MEMS技术 低功耗 绝热封装 
一种微型化制造的双腔结构芯片原子钟^(87)Rb蒸汽腔(英文)被引量：5
《红外与激光工程》2014年第5期1463-1468,共6页李绍良 徐静 张志强 吴亚明 
中科院院知识创新工程重要方向性项目(KGCX2-YW-143)
碱金属蒸汽腔是芯片原子钟(CSACs)中重要的核心部件之一,其微型化制造具有重要的实用价值,同时也非常具有挑战性。采用MEMS技术批量化制作了具有双腔结构的芯片原子钟87Rb蒸汽腔阵列。在阳极键合过程中,通过原位化学反应产生纯净的87Rb...
关键词：^87Rb蒸汽腔 芯片原子钟 相干布居数囚禁(CPT) 双腔结构 MEMS技术 
Si/Glass激光键合的仿真及实验研究被引量：3
《中国激光》2012年第7期86-95,共10页张志强 徐静 李绍良 吴亚明 
中国科学院知识创新工程重要方向性项目资助课题
对Si/Glass激光键合进行了有限元仿真,自主设计激光键合系统并进行了Si/Glass激光键合实验研究、测试与表征。以Si/Glass激光键合的二维传热解析模型为理论基础,应用有限元软件ANSYS仿真了激光功率20～48W时激光键合的三维温度场、键合...
关键词：光学制造 激光键合 有限元方法 键合强度 气密性 能谱分析线扫描 
芯片级原子钟的气密性能分析被引量：3
《真空科学与技术学报》2012年第2期132-139,共8页张志强 徐静 李绍良 吴亚明 
中国科学院知识创新工程重要方向性项目资助
基于相干布居囚禁(CPT)原理芯片级原子钟(CSAC)原子腔体积小、采用微电子机械系统硅-玻璃键合工艺制造,其气密性是决定CSAC寿命的关键因素。本文提出了"多层缓冲原子腔"方案大幅度提高原子腔的气密性能,从而提高CPT CSAC的稳定性和寿命...
关键词：芯片级原子钟 多层缓冲原子腔 气密性 毛细管等效气流模型 MATLAB仿真 
放牧破坏地表植被对典型草原地区土壤湿度的影响被引量：23
《干旱区资源与环境》2000年第4期55-60,共6页佟乌云 陈有君 李绍良 李立民 
中国科学院草原生态系统定位站开放站基金资助
本文研究了放牧对土壤含水量的影响。结果表明 :放牧破坏地表植被后 ,表土层水分入渗速度增加 ,表土层和心土层的土壤温度的变化加剧。使土壤表层 (0 - 2 0 cm)的含水量下降。在地下水位较高的土壤上 ,放牧破坏地表植被后 ,各层土壤的...
关键词：草原地区 栗钙土 土壤水分 放牧破坏 地表植被 
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