钟少龙

作品数：19被引量：71H指数：5
导出分析报告
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文主题：MEMS加速度传感器键合微机电系统MEMS工艺更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程电气工程更多>>
发文期刊：《工业建筑》《传感技术学报》《光学精密工程》《控制工程》更多>>
所获基金：国家重大科学仪器设备开发专项国家高技术研究发展计划国家自然科学基金北京市教委科技计划面上项目更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
基于分布式测温的危化品立库火灾定位系统被引量：9
《控制工程》2020年第7期1175-1179,共5页刘学君 卢浩 李京 刘威威 钟少龙 戴波 
北京市教委科技计划面上项目(15032221001/006);北京市教育委员会市属高校创新能力提升计划项目(2016014222000041);国家高技术研究发展计划资助项目(2014AA110501)。
立体仓库是目前危化品仓储的一大发展趋势,在对危化品仓库管理时,由于内部火灾载荷偏高、存储货物所具有的易燃易爆特性,需要对各货位进行火灾温度监管及高温点定位。基于拉曼散射的分布式测温技术进行了研究。采集温度数据的多模光纤...
关键词：光纤测量 拉曼散射 光纤传感器 立体仓库 分布式光纤测温系统 火灾报警 
应变计组合对光纤天平校准和试验的影响分析
《仪器仪表学报》2018年第9期121-127,共7页闵夫 杨彦广 邱华诚 钟少龙 
三分量光纤天平常采用8支应变计组合求解天平的3个分量,光纤应变计组合仍采用类似于电阻天平的惠斯通电桥组合方式,该组合方式没有利用光纤应变计的输出可直接与天平所受气动载荷建立线性函数关系的特点,应变计数量偏多。为验证采用较...
关键词：组合 光纤天平 天平校准 风洞试验 
地源热泵中光纤光栅土壤温度监测系统研究被引量：3
《自动化仪表》2018年第8期52-55,共4页刘学君 袁碧贤 卢浩 吴艳元 钟少龙 戴波 
北京市教委科技计划面上基金资助项目(15032221001/006);北京市教育委员会市属高校创新能力提升计划基金资助项目(2016014222000041);北京石油化工学院科技创新基金资助项目(15031862005/052);北京石油化工学院优秀青年教师和管理骨干培育计划基金资助项目(08031862008/040)
太阳能与地源热泵的联合供能系统急需解决土壤的热平衡问题,因此土壤温度的测量与分析尤为重要。基于光纤光栅传感技术,对土壤进行分布式测温。基于Mod Bus通信协议,进行数据收集与处理,并利用SIM900A进行GSM/GPRS无线模块远传。该系统...
关键词：光纤光栅 地源热泵 太阳能 土壤温度 MODBUS 热平衡 监测 
基于微机电系统的法布里珀罗可调光滤波器被引量：2
《中国激光》2017年第6期224-232,共9页郭智慧 李拥华 杨恒 钟少龙 
国家重大科学仪器设备开发专项(2012YQ250002)
为实现调谐范围宽、调谐速度快、带宽窄、驱动电压低以及可批量化生产的可调光学滤波器,提出了一种新型微机电系统(MEMS)可调光学滤波器。由高反射率可动光学镜面与准直扩束光纤端面组成法布里-珀罗(F-P)腔。通过静电驱动改变F-P腔的腔...
关键词：光纤光学 微机电系统 法布里-珀罗腔 可调光滤波器 静电驱动 
基于MEMS技术的水平轴光纤加速度传感器被引量：2
《光电子．激光》2015年第3期414-421,共8页王小伟 钟少龙 徐静 吴亚明 
国家重大科学仪器设备开发专项(2012YQ2500021401)资助项目
提出了一种基于微机电系统(MEMS)技术的水平轴光纤加速度传感器,并与Z轴光纤加速度传感器在同一MEMS芯片上制造,形成单一方向出纤的三轴光纤加速度传感器。分析了器件工作原理和器件结构参数与其性能的关系,利用MEMS技术成功制作出了加...
关键词：微机电系统(MEMS) 加速度传感器 水平轴加速度传感器 光纤加速度传感器 
MEMS光敏BCB硅—硅键合工艺研究被引量：3
《传感器与微系统》2014年第8期48-51,共4页赵璐冰 徐静 钟少龙 李绍良 吴亚明 
微系统技术国家重点实验室基金资助项目
光敏BCB作为粘结介质进行键合工艺实验研究。实验中选用XUS35078负性光敏BCB,提出了优化的光刻工艺参数,得到了所需要的BCB图形层,然后将两硅片在特定的温度与压力条件下完成了BCB键合。测试表明:该光敏BCB具有较小的流动性和较低的塌...
关键词：光敏BCB 光刻 低温键合 剪切强度 气密性 
基于永磁薄膜的MEMS磁传感器设计与制作被引量：3
《传感器与微系统》2014年第5期59-61,65,共4页龙亮 钟少龙 吴亚明 
国家重大科学仪器设备开发专项项目(2012YQ250002)
提出了一种基于永磁薄膜的新型MEMS磁传感器,磁传感器由MEMS扭摆、CoNiMnP永磁薄膜和差分检测电容等部分组成。分析了磁传感器的磁敏感原理和电容检测原理,提出了器件的结构参数并对器件进行了模态仿真。利用MEMS加工技术成功制作了MEM...
关键词：磁传感器 CoNiMnP永磁薄膜 电容检测 微机电系统 
基于光纤检测技术的扭转敏感微机电系统加速度传感器被引量：4
《中国激光》2014年第3期102-109,共8页钟少龙 龙亮 李明 吴亚明 
国家重大科学仪器设备开发专项(2012YQ250002)
为实现微型化、抗电磁干扰、可长时间工作和可远距离传输的加速度传感器,提出了一种基于微机电系统(MEMS)非对称扭镜结构的光纤加速度计设计方案,并利用对角度变化非常敏感的双光纤准直器对扭镜的扭转角度变化进行检测。MEMS光纤加速度...
关键词：传感器 微机电系统 加速度计 光纤传感器 光纤检测 微加工 
微型光纤磁传感器的设计与制作被引量：13
《光学精密工程》2013年第9期2294-2302,共9页龙亮 钟少龙 徐静 吴亚明 
国家重大科学仪器设备开发专项资金资助项目(No.2012YQ250002)
提出了一种基于微机电系统(MEMS)扭镜结构的光纤磁场传感器,并利用对角度变化非常敏感的双光纤准直器对扭镜的扭转角度进行了检测。该MEMS光纤磁传感器由MEMS扭镜结构、磁性敏感薄膜和双光纤准直器组成。文中分析了器件的磁敏感原理和...
关键词：光纤传感器 磁传感器 微机电系统 光纤检测 磁性薄膜 
基于电容检测MEMS磁传感器的设计与制作被引量：4
《纳米技术与精密工程》2013年第3期222-230,共9页龙亮 钟少龙 吴亚明 
为实现微型化、低功耗、低成本和高灵敏度的磁传感器,提出了一种基于微型磁扭摆结构的磁传感器,并利用对角度变化非常敏感的差分电容检测技术对磁扭摆的扭转角度进行检测.设计的磁传感器包括微扭摆结构、磁性敏感薄膜和差分检测电容等部...
关键词：磁传感器 电容检测 MEMS 磁性薄膜 
全选清除导出
共2页<12>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部