徐静

作品数：23被引量：74H指数：5
导出分析报告
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文主题：MEMS微电子机械系统微机电系统光学电流传感器加速度传感器更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程机械工程更多>>
发文期刊：《光学精密工程》《机械强度》《半导体光电》《红外与激光工程》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国科学院知识创新工程重要方向项目国家重大科学仪器设备开发专项更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
基于MEMS技术的水平轴光纤加速度传感器被引量：2
《光电子．激光》2015年第3期414-421,共8页王小伟 钟少龙 徐静 吴亚明 
国家重大科学仪器设备开发专项(2012YQ2500021401)资助项目
提出了一种基于微机电系统(MEMS)技术的水平轴光纤加速度传感器,并与Z轴光纤加速度传感器在同一MEMS芯片上制造,形成单一方向出纤的三轴光纤加速度传感器。分析了器件工作原理和器件结构参数与其性能的关系,利用MEMS技术成功制作出了加...
关键词：微机电系统(MEMS) 加速度传感器 水平轴加速度传感器 光纤加速度传感器 
MEMS光敏BCB硅—硅键合工艺研究被引量：3
《传感器与微系统》2014年第8期48-51,共4页赵璐冰 徐静 钟少龙 李绍良 吴亚明 
微系统技术国家重点实验室基金资助项目
光敏BCB作为粘结介质进行键合工艺实验研究。实验中选用XUS35078负性光敏BCB,提出了优化的光刻工艺参数,得到了所需要的BCB图形层,然后将两硅片在特定的温度与压力条件下完成了BCB键合。测试表明:该光敏BCB具有较小的流动性和较低的塌...
关键词：光敏BCB 光刻 低温键合 剪切强度 气密性 
聚酰亚胺隔热悬挂结构设计与制作被引量：1
《传感器与微系统》2014年第5期91-94,98,共5页李绍良 徐静 吴亚明 
中国科学院知识创新工程重要方向性项目(KGCX2-YW-143)
加热器在原子钟、气体传感器、生物传感器等器件中有着广泛的应用,降低加热功耗对于这些器件的实用化具有重要意义。设计并制作了一种集成了加热器和温度传感器的聚酰亚胺隔热悬挂结构,用于承载待加热的芯片,并利用集成制作在聚酰亚胺...
关键词：聚酰亚胺 隔热悬挂结构 MEMS技术 低功耗 绝热封装 
一种微型化制造的双腔结构芯片原子钟^(87)Rb蒸汽腔(英文)被引量：5
《红外与激光工程》2014年第5期1463-1468,共6页李绍良 徐静 张志强 吴亚明 
中科院院知识创新工程重要方向性项目(KGCX2-YW-143)
碱金属蒸汽腔是芯片原子钟(CSACs)中重要的核心部件之一,其微型化制造具有重要的实用价值,同时也非常具有挑战性。采用MEMS技术批量化制作了具有双腔结构的芯片原子钟87Rb蒸汽腔阵列。在阳极键合过程中,通过原位化学反应产生纯净的87Rb...
关键词：^87Rb蒸汽腔 芯片原子钟 相干布居数囚禁(CPT) 双腔结构 MEMS技术 
微型光纤磁传感器的设计与制作被引量：13
《光学精密工程》2013年第9期2294-2302,共9页龙亮 钟少龙 徐静 吴亚明 
国家重大科学仪器设备开发专项资金资助项目(No.2012YQ250002)
提出了一种基于微机电系统(MEMS)扭镜结构的光纤磁场传感器,并利用对角度变化非常敏感的双光纤准直器对扭镜的扭转角度进行了检测。该MEMS光纤磁传感器由MEMS扭镜结构、磁性敏感薄膜和双光纤准直器组成。文中分析了器件的磁敏感原理和...
关键词：光纤传感器 磁传感器 微机电系统 光纤检测 磁性薄膜 
垂直梳齿驱动的大尺寸MOEMS扫描镜被引量：5
《光学精密工程》2013年第2期400-407,共8页刘英明 徐静 钟少龙 翟雷应 吴亚明 
国家863高技术研究发展计划资助项目(2008AA03Z406;2009AA03Z443);国家自然科学基金资助项目(60877066)
提出了一种采用垂直梳齿驱动器驱动的大尺寸、大扭转角度、低驱动电压微光机电系统(MOEMS)扫描镜。理论分析了垂直梳齿驱动器的工作原理,研究了垂直梳齿的制作工艺,采用体硅加工工艺结合硅-硅键合工艺制作了垂直梳齿驱动的MOEMS扫描镜...
关键词：微光机电系统(MOEMS) 扫描微镜 垂直梳齿驱动器 体硅工艺 
基于MEMS微镜的可调光学衰减器被引量：5
《光电子．激光》2012年第12期2287-2291,共5页刘英明 徐静 钟少龙 翟雷应 吴亚明 
设计并制作了一种基于微光机电系统(MEMS)微镜的可调光衰减器(VOA)。其中微镜的谐振频率为11.26kHz,采用垂直梳齿驱动器驱动。微镜采用体硅微加工工艺在绝缘体上硅(SOI)片上制作。采用制作的微镜和双光纤准直器装配成VOA,衰减器在扭转...
关键词：可调光衰减器(VOA) 微光机电系统(MEMS) 微镜 垂直梳齿驱动器 
基于MEMS静电微镜驱动器的光纤相位调制器被引量：2
《光电子．激光》2012年第9期1635-1643,共9页翟雷应 徐静 吴亚明 刘闯 雷洪波 陶大勇 
国家高技术研究发展“863”计划(2008AA03Z406,2009AA03Z443);国家自然科学基金(60877066)资助项目
设计并制作出了一种基于MEMS静电微镜驱动器的光纤相位调制器。MEMS静电驱动器采用垂直梳齿驱动技术,驱动硅微反射镜沿其法线方向的垂直平移运动以实现入射光波的光相位调制。MEMS静电微镜驱动器与光纤准直器耦合构成MEMS光纤相位调制器...
关键词：光纤相位调制器 MEMS 垂直梳齿 微镜 光纤传感器 
无交叠垂直梳齿平动微镜的驱动特性被引量：1
《光学精密工程》2012年第8期1772-1781,共10页翟雷应 徐静 钟少龙 吴亚明 
国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2008AA03Z406;No.2009AA03Z443);国家自然科学基金资助项目(No.608-77066)
为了设计用于光相位调制器平动微镜的无交叠梳齿驱动器,建立了保角变换数学模型,研究了驱动器的驱动特性。从复变函数理论出发,建立了驱动器的保角变换静电场解析模型;以动齿受力为研究对象,根据不同情形下的动齿受力特点,求解了一定区...
关键词：微机电系统(MEMS) 光相位调制器 无交叠垂直梳齿驱动器 平动微镜 保角变换法 静电驱动 
Si/Glass激光键合的仿真及实验研究被引量：3
《中国激光》2012年第7期86-95,共10页张志强 徐静 李绍良 吴亚明 
中国科学院知识创新工程重要方向性项目资助课题
对Si/Glass激光键合进行了有限元仿真,自主设计激光键合系统并进行了Si/Glass激光键合实验研究、测试与表征。以Si/Glass激光键合的二维传热解析模型为理论基础,应用有限元软件ANSYS仿真了激光功率20～48W时激光键合的三维温度场、键合...
关键词：光学制造 激光键合 有限元方法 键合强度 气密性 能谱分析线扫描 
全选清除导出
共3页<123>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部