龙亮

作品数：5被引量：28H指数：4
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供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文主题：磁性薄膜键合磁场传感器基底闪耀光栅更多>>
发文领域：电气工程自动化与计算机技术电子电信机械工程更多>>
发文期刊：《传感器与微系统》《光学精密工程》《中国激光》更多>>
所获基金：国家重大科学仪器设备开发专项国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
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基于永磁薄膜的MEMS磁传感器设计与制作被引量：3
《传感器与微系统》2014年第5期59-61,65,共4页龙亮 钟少龙 吴亚明 
国家重大科学仪器设备开发专项项目(2012YQ250002)
提出了一种基于永磁薄膜的新型MEMS磁传感器,磁传感器由MEMS扭摆、CoNiMnP永磁薄膜和差分检测电容等部分组成。分析了磁传感器的磁敏感原理和电容检测原理,提出了器件的结构参数并对器件进行了模态仿真。利用MEMS加工技术成功制作了MEM...
关键词：磁传感器 CoNiMnP永磁薄膜 电容检测 微机电系统 
基于光纤检测技术的扭转敏感微机电系统加速度传感器被引量：4
《中国激光》2014年第3期102-109,共8页钟少龙 龙亮 李明 吴亚明 
国家重大科学仪器设备开发专项(2012YQ250002)
为实现微型化、抗电磁干扰、可长时间工作和可远距离传输的加速度传感器,提出了一种基于微机电系统(MEMS)非对称扭镜结构的光纤加速度计设计方案,并利用对角度变化非常敏感的双光纤准直器对扭镜的扭转角度变化进行检测。MEMS光纤加速度...
关键词：传感器 微机电系统 加速度计 光纤传感器 光纤检测 微加工 
微型光纤磁传感器的设计与制作被引量：13
《光学精密工程》2013年第9期2294-2302,共9页龙亮 钟少龙 徐静 吴亚明 
国家重大科学仪器设备开发专项资金资助项目(No.2012YQ250002)
提出了一种基于微机电系统(MEMS)扭镜结构的光纤磁场传感器,并利用对角度变化非常敏感的双光纤准直器对扭镜的扭转角度进行了检测。该MEMS光纤磁传感器由MEMS扭镜结构、磁性敏感薄膜和双光纤准直器组成。文中分析了器件的磁敏感原理和...
关键词：光纤传感器 磁传感器 微机电系统 光纤检测 磁性薄膜 
基于电容检测MEMS磁传感器的设计与制作被引量：4
《纳米技术与精密工程》2013年第3期222-230,共9页龙亮 钟少龙 吴亚明 
为实现微型化、低功耗、低成本和高灵敏度的磁传感器,提出了一种基于微型磁扭摆结构的磁传感器,并利用对角度变化非常敏感的差分电容检测技术对磁扭摆的扭转角度进行检测.设计的磁传感器包括微扭摆结构、磁性敏感薄膜和差分检测电容等部...
关键词：磁传感器 电容检测 MEMS 磁性薄膜 
多台阶平板静电驱动的高占空比微镜阵列的研制被引量：6
《光学精密工程》2011年第8期1816-1823,共8页李四华 徐静 龙亮 钟少龙 吴亚明 
国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2008AA03Z406;No.2009AA03Z443);国家自然科学基金资助项目(No.60877066)
为了在限定驱动电压下获得大镜面尺寸、大扭转角度的微镜阵列,提出了一种多台阶平板静电驱动结构的微镜阵列。理论分析了多台阶平板结构与平行平板结构在静电驱动时的区别。研究了多台阶平板结构的制作工艺并采用体硅加工工艺制作了多...
关键词：微光机电系统 多台阶平板 平行平板 静电驱动 微镜阵列 高占空比 
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