微光机电系统

作品数：170被引量：382H指数：10
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基于细分插值技术的光栅干涉MOEMS加速度计
《微纳电子技术》2025年第3期135-141,共7页杨鹏 金丽 解琨阳 李孟委 
山西省基础研究计划资助项目(202403021221122)。
为了解决光栅加速度计信号全量程线性化的问题,提出了一种基于细分插值技术的光栅干涉微光机电系统(MOEMS)加速度计。首先阐述了光栅干涉式加速度计的敏感机理,即通过两束衍射光之间的光程差变化引起的干涉光强变化实现加速度检测,然后...
关键词：加速度计 微光机电系统(MOEMS) 光栅干涉 细分插值 线性化 
微光机电引信芯片光纤抗高过载设计方法
《探测与控制学报》2024年第6期29-36,45,共9页张笑 谢晋 曹骏 代俊 张德 
针对微光机电系统(MOEMS)芯片在中大口径榴弹炮引信中的应用需求,提出一种MOEMS封装方法。通过在光纤槽部分设计光纤定位结构,实现光纤的被动对准,光纤对准后在芯片外部使用环氧胶对光纤进行轴向的可靠固定。采用ANSYS Workbench软件对...
关键词：微光机电系统 引信 光纤 高过载 封装 
大角度线性偏转的电热式微镜仿真设计
《计算机与数字工程》2024年第10期2932-2936,2954,共6页和学泰 祝方舟 邵光笑 李庆党 
MEMS微镜虽种类繁多,但是能够实现大角度偏转能力的MEMS微镜却很少,能够实现线性偏转能力的MEMS微镜更是屈指可数。论文针对现有MEMS微镜偏转角度小、偏转能力不可控以及无法线性偏转等问题,提出了一种新型的电热式MEMS微镜结构,该结构...
关键词：微光机电系统 电热式微镜仿真 线性偏转MEMS微镜 大角度偏转微镜 
基于单质量块微纳光栅泰伯效应的双轴MOEMS加速度计被引量：1
《微纳电子技术》2024年第4期98-104,共7页杜艺鑫 金丽 解琨阳 吴倩楠 李孟委 
国家自然科学基金(62005253)。
对一种基于单质量块微纳光栅泰伯效应双轴微光机电系统(MOEMS)加速度计进行了设计、加工与测试。利用有限元分析和时域有限差分法分别对双轴加速度计的敏感结构和光栅参数进行仿真优化。在保证加速度计高集成度的同时,为了实现双轴加速...
关键词：微光机电系统(MOEMS) 双轴MOEMS加速度计 泰伯效应 微纳光栅 阳极键合 
微纳光栅MOEMS加速度计优化设计与测试
《微纳电子技术》2024年第4期114-120,共7页王策 张晓玉 金丽 解琨阳 贾鑫瑞 张鹏 李孟委 
国家自然科学基金(62005253)。
提出了一种基于微纳光栅泰伯效应的微光机电系统(MOEMS)加速度计,通过Comsol软件对加速度计结构和光栅结构参数进行优化,使其在20g量程范围内获得较大的结构灵敏度和衍射效应灵敏度,同时通过仿真分析了该结构的交叉轴串扰情况。由于受...
关键词：微光机电系统(MOEMS) 光栅加速度计 泰伯效应 温度闭环反馈控制 零偏稳定性 
引信微光机电系统安全系统研究现状与发展趋势被引量：1
《探测与控制学报》2024年第1期1-11,共11页张笑 谢晋 熊壮 张德 代俊 
国家自然科学基金项目(NSFC51975046)。
随着引信微小型化和智能化不断发展,电磁兼容性要求不断提升,对其安全系统提出了更高的要求。基于微光机电系统(MOEMS)技术的器件具有体积小、重量轻、能耗低、集成度高和可批量生产等特点,在引信安全系统中有较好的应用前景。对引信MO...
关键词：微光机电系统 引信安全系统 安全与解除隔离装置 激光起爆 
微光机电系统教学改革的创新性研究
《大学（教学与教育）》2023年第10期113-116,共4页路永乐 谢丰 肖轩 苏胜 杨虹 
重庆市高等教育教学改革研究重大项目“面向‘一场所两高地’建设的集成电路人才培养模式改革研究与实践”(项目编号:191045);重庆邮电大学教育教学改革项目“新工科背景下基于大学生竞赛的创新创业能力培养模式探索与实践”(项目编号:XJG19219)。
在当前互联网技术和教育信息化飞速发展的背景下,学校越来越重视将信息技术与教育结合,鼓励教师创新信息教育理念,改革传统教育模式。随着对教学方式改革的不断探索,现行教学模式开始趋同。为寻求更加创新、科学、高效的教学模式,文章...
关键词：教学改革 分组竞争 微光机电系统 
一种可控大角度偏转的MEMS微镜仿真设计
《计算机与数字工程》2023年第9期2201-2206,共6页和学泰 张博伦 祝方舟 杨晓晖 李庆党 
论文针对现有的MEMS微镜偏转力小、变形位移小、偏转角度小、角度偏转以及镜面偏转时会发生镜面卷曲等问题,设计出了一种新型结构的电热式MEMS微镜。论文中的MEMS微镜不仅更符合加工工艺的需求,并且偏转角度大、位移大、一定程度上偏转...
关键词：微机电系统 微光机电系统 微镜驱动 电热式微镜仿真 
电磁式MOEMS扫描光栅微镜驱动系统优化设计被引量：1
《微纳电子技术》2023年第2期251-258,共8页尹欣慧 顾雯雯 张青莲 
国家重点研发计划项目(2018YFF01011200)。
基于工农业发展对微型近红外光谱仪的需求,对用于微型近红外光谱仪的电磁式微光机电系统(MOEMS)扫描光栅微镜的驱动系统进行优化设计,从而解决扫描光栅微镜驱动信号大、扫描角度小等问题。通过对构成其驱动系统的线圈匝数、线圈间距等...
关键词：微光机电系统(MOEMS) 扫描光栅微镜 角传感器 驱动线圈 偏转角 灵敏度 
微光机电系统加速度计技术现状与应用展望被引量：2
《前瞻科技》2022年第4期81-98,共18页朱启举 王小旭 梅春波 杨鹏翔 卢乾波 
微光机电系统(MOEMS)加速度计具有精度高、抗电磁干扰、环境适应性好、可靠性高及易小型化的特点,是未来惯性仪表的重要发展方向。根据光学检测原理对现有微光机电系统加速度计进行了分类:基于直接光强调制、基于光的波动性、基于光与...
关键词：加速度计 微光学 微光机电系统 高精度加速度测量 
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