钟少龙

作品数：19被引量：71H指数：5
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供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文主题：MEMS加速度传感器键合微机电系统MEMS工艺更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程电气工程更多>>
发文期刊：《工业建筑》《传感技术学报》《光学精密工程》《控制工程》更多>>
所获基金：国家重大科学仪器设备开发专项国家高技术研究发展计划国家自然科学基金北京市教委科技计划面上项目更多>>
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