刘茂哲

作品数:6被引量:18H指数:3
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供职机构:中国科学院微电子研究所更多>>
发文主题:静电微机电系统压室半导体制冷光谱分析更多>>
发文领域:自动化与计算机技术电子电信金属学及工艺机械工程更多>>
发文期刊:《电子工业专用设备》《Journal of Semiconductors》《微细加工技术》《微纳电子技术》更多>>
所获基金:国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
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绿色二氧化碳超流体半导体清洗设备被引量:7
《电子工业专用设备》2008年第5期14-17,34,共5页高超群 李全宝 刘茂哲 景玉鹏 
传统半导体清洗技术无法对硅片上的微小器件间的缝隙和线条进行有效清洗,以超临界二氧化碳为媒体的清洗技术则可克服上述缺点。超临界二氧化碳具有零表面张力、低黏度、强扩散能力和溶解能力等特性,并且无毒无臭、可以循环使用,在下一...
关键词:表面张力 超临界二氧化碳 清洗和干燥 牺牲层释放 
光谱式MEMS/CMOS兼容气敏传感器
《Journal of Semiconductors》2008年第10期2043-2049,共7页高超群 焦斌斌 刘茂哲 李全宝 杨锴 石莎莉 李志刚 欧毅 景玉鹏 陈大鹏 
光谱技术是化学分析的终极手段.将光谱技术与MEMS(micro-electro-mechanical systems)和CMOS技术结合是解决当前气敏传感器灵敏度低、选择性差、体积大、功耗高、不便于阵列化和高度集成以至于无梯度立体矢量探测能力等问题的有效手段....
关键词:MEMS 气敏传感器 光谱分析 
绿色二氧化碳超临界清洗设备被引量:7
《微细加工技术》2008年第4期50-52,61,共4页高超群 李全宝 刘茂哲 景玉鹏 
科学院知识创新工程领域前沿项目资助(5407SF021002)
半导体IC清洗技术由于水溶液的表面张力大而无法进入硅片上器件的狭缝与电路线条间隙中进行清洗,同时不易干燥,且干燥时会造成二次污染,从而使得整个工艺耗水量大且清洗效果不佳。以超临界流体为媒体的清洗技术是克服以上缺点的最佳途...
关键词:超临界流体 二氧化碳超临界清洗 表面张力 牺牲层释放 
翘板式射频MEMS开关的研究被引量:1
《微纳电子技术》2008年第5期282-286,共5页刘茂哲 李全宝 焦斌斌 高超群 罗小光 景玉鹏 叶甜春 
中国科学院微电子所所长基金项目(06SF021002)
提出了一种新型的翘板式静电射频微系统开关,给出了理论模拟,结构分析结果和工艺制作方法。该结构采用了5μm厚的无应力单晶硅作为开关的可动部分,可以缓解薄膜应力变形。翘板式结构解决了传统静电设计中动作力弱的问题,并且通过调...
关键词:射频开关 单晶硅 微机电系统(MEMS) 静电驱动 驱动电压 共面波导(CPW) 
基于单晶硅梁的静电RF MEMS开关被引量:3
《电子工业专用设备》2007年第1期15-17,61,共4页刘茂哲 景玉鹏 李全宝 焦斌斌 黄钦文 李超波 欧毅 陈大鹏 叶甜春 
国家"863"计划资助项目(批准号:2005AA404210);中国科学院微电子所所长基金支持项目
RFMEMS开关是低功耗、低损耗高频通讯电路和系统的关键部件,静电驱动RFMEMS开关因具有零直流功耗、开关时间短、结构简单、易集成的优点而成为研究热点,但是驱动电压高、薄膜应力变形严重、寿命短等问题制约了其发展,提出了一种基于单...
关键词:射频微机械开关 单晶硅梁 静电驱动 
电磁驱动RFMEMS开关的研究状况被引量:2
《电子工业专用设备》2007年第1期18-20,30,共4页李全宝 景玉鹏 刘茂哲 陈大鹏 欧毅 马瑾 叶甜春 
国家自然科学基金资助项目(批准号:60576053);国家"863"计划资助项目(批准号:2005AA404210);中国科学院微电子所所长基金支持项目
RFMEMS技术在民用和军事方面有巨大的潜力,作为其核心器件的RFMEMS开关很有希望在雷达和通信领域之中成为关键器件。电磁驱动RFMEMS开关具有工作电压比较低,驱动力大,可以工作在恶劣的环境等优点,使其成为近年来RFMEMS开关研究的一个热点。
关键词:RF MEMS技术 RF MEMS开关 电磁驱动 工作电压 驱动力 
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