李超波

作品数：53被引量：156H指数：7
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供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文主题：原子层沉积氧化锌薄膜离子注入等离子体共掺更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术理学更多>>
发文期刊：《发光学报》《压电与声光》《物理学报》《电子工业专用设备》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家科技重大专项国家高技术研究发展计划中国科学院科研装备研制项目更多>>
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基于氟塑料的超洁净气动液体隔膜阀结构设计与制备被引量：5
《电子工业专用设备》2022年第5期5-9,28,共6页唐金鑫 杜亮 李培源 陈波 李超波 
湿法清洗制程是影响集成电路芯片良率的重要因素,气动液体隔膜阀是湿法装备中核心零部件之一。为了解决阀门的生产问题,以集成电路用超洁净气动液体隔膜阀为例,对其结构工作原理和关键密封件进行了论述,并基于氟塑料从原料、结构设计与...
关键词：集成电路 湿法清洗 氟塑料 气动隔膜阀门 
基于最优化方法的光弹调制器光学模型验证被引量：2
《压电与声光》2021年第5期661-665,共5页何彤 熊伟 李超波 
应用光学国家重点实验室基金资助项目(SKLAO-201916);中国科学院合肥大科学中心“高端用户培育基金”资助项目(2019HSC-UE011)。
基于光弹调制器(PEM)的高速椭偏测量法具有测量速度快,灵敏度高的优势,目前已被广泛应用于半导体、显示器和军工等领域。现有PEM光学模型验证方法大多采用谐波分量提取法,但其受系统偏差影响较大。该文提出一种基于最优化方法——PEM光...
关键词：光弹调制器 高速椭偏测量方法 最优化 系统参数 鲁棒性 
光弹调制器谐振特性的研究及验证被引量：4
《光学学报》2021年第15期197-205,共9页武燕婷 熊伟 李超波 胡震恒 田飔莹 
应用光学国家重点实验室资助项目(SKLAO-201916);中国科学院合肥大科学中心“高端用户培育基金”(2019HSC-UE011)。
光弹调制器(PEM)是一种广泛应用于光学检测的光调制器件,其利用压电晶体的逆压电效应来周期性改变光弹晶体内部的折射率,从而实现对通过光弹晶体的光信号的相位调制。当系统处于谐振状态时,PEM的调制效率最高。因此,谐振频率和表征其工...
关键词：调制器 光弹调制器 阻抗分析 谐振频率 品质因子 
光弹调制器研究综述及原理验证被引量：5
《压电与声光》2021年第3期352-358,共7页武燕婷 熊伟 李超波 
应用光学国家重点实验室基金资助项目(SKLAO-201916);中国科学院合肥大科学中心“高端用户培育基金”(2019HSC-UE011)。
光弹调制器是一种基于压电效应和光弹效应的光学调制器件。光弹调制器采用共振工作模式,具有调制频率高,灵敏度高,调制波段宽(紫外~远红外)等特点,可广泛应用于半导体、新材料、生命科学及航天军工等高新技术领域。该文首先阐述了光弹...
关键词：光弹调制器 共振 八角形二维结构 工作原理 结构 
CuO纳米片的合成及其对甲硫醇气敏性能研究被引量：1
《安徽师范大学学报（自然科学版）》2019年第6期533-537,共5页远雁 刘波 段国韬 李超波 
国家重大科技专项项目(2017ZX02201002);国家重点研发计划项目(2016YFC0201103)
针对目前甲硫醇气体检测手段相对复杂、耗时且成本较高的现状,本文发展半导体气体传感方法对其进行检测,通过将水热法与后续热处理相结合,制备出CuO纳米片材料,并利用XRD、TEM、SEM、HRTEM对材料的结构和微观形貌进行表征。所制备的CuO...
关键词：CUO 纳米片 甲硫醇 超灵敏 气体传感器 
一种电容薄膜真空计检测电路的设计被引量：3
《仪表技术与传感器》2019年第3期45-48,共4页康恒 李勇滔 李超波 景玉鹏 
国家重大科技专项项目(2017ZX02201002)
针对电容薄膜真空计的电容检测精度要求高以及非线性的问题,文中设计了一种基于二极管桥的检测电路。该电路检测电容薄膜真空计的测量电容与参考电容的差值,能有效抑制共模噪声的干扰,并采用负反馈的方法对非线性进行补偿。仿真表明负...
关键词：电容薄膜真空计 电容检测 非线性 负反馈 补偿 
纳米结构Si表面增强拉曼散射特性研究
《发光学报》2018年第4期481-487,共7页崔绍晖 符庭钊 王欢 夏洋 李超波 
北京市科技计划(Z161100001516014);中国科学院青年创新促进会(李超波)(Y6Y101R001)资助项目~~
为了实现低成本高灵敏度的表面增强拉曼散射效应,制备了一种基于硅表面纳米结构的表面增强拉曼散射效应(SERS)衬底。首先利用低能反应离子注入的方法对单晶硅进行表面处理,制作高陡值度的墙壁结构。然后采用电子束蒸发的方式在硅片表面...
关键词：表面增强拉曼散射效应 反应离子注入 银纳米点 电子束蒸发 低成本 
蚁群算法在PID控制中的应用及其参数影响被引量：7
《现代电子技术》2015年第20期20-25,共6页孙铁成 张思敏 李超波 
鉴于传统PID参数整定方法的不足,提出了一种采用蚁群算法优化选取PID控制参数的方法。通过建立数学模型将PID控制参数选择问题抽象成路径选择问题,从而将蚁群算法成功的应用于PID参数优选,并对寻优过程进行了仿真。将结果与常用的临界...
关键词：PID控制 蚁群算法 信息素 参数优选 
原子层沉积技术中电场对ZnO薄膜结晶性能的调制研究被引量：2
《材料导报（纳米与新材料专辑）》2014年第2期255-259,共5页卢维尔 李超波 夏洋 李楠 张艳清 赵丽莉 
中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室;中国科学院仪器研制项目(YZ201256)
采用一种可变电场调制的原子层沉积技术(E-ALD)制备了氧化锌(ZnO)薄膜。在前驱体脉冲时,通过施加不同大小和方向的电压,可以对制备所得ZnO薄膜的晶体择优取向和结晶性能进行可控调制。当在锌源脉冲时施加正电压,氧源脉冲时施加负电压,...
关键词：ZNO薄膜 原子层沉积 可变电场 择优取向 
等离子体浸没离子注入技术在FinFET掺杂中的应用被引量：1
《半导体技术》2014年第8期596-599,604,共5页邹志超 李超波 罗军 夏洋 
国家科技重大专项资助项目(2009ZX02037)
基于传统的束线离子注入在对FinFET器件进行保形注入时面临的巨大挑战,介绍一种新的适用于FinFET器件的掺杂技术,即等离子体浸没离子注入技术。总结了与束线离子注入技术相比,等离子体浸没离子注入技术在对FinFET进行掺杂时的优点。利...
关键词：等离子体浸没离子注入 束线离子注入 鞘层 FINFET 保形注入 
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