等离子体浸没离子注入

作品数：83被引量：219H指数：9
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钛等离子体浸没离子注入增强Bio-HPP材料的细胞相容性和抗菌性
《局解手术学杂志》2025年第3期187-192,共6页许朗 黄忠卫 石锐 
国家自然科学基金面上项目(82072406)。
目的使用等离子体浸没离子注入(PIII)技术将钛离子注入到Bio-HPP材料表面,并初步评价该材料对人牙龈成纤维细胞(HGFs)的生物相容性和对牙龈卟啉单胞菌(P.g)的抗菌性。方法体外研究为细胞实验和抗菌实验,将试件随机分为改性组和对照组,...
关键词：人牙龈成纤维细胞 Bio-HPP 黏附 增殖 牙龈卟啉单胞菌 抗菌性 
锆等离子体浸没离子注入增强聚醚醚酮材料的细胞相容性被引量：1
《局解手术学杂志》2023年第9期760-763,共4页许朗 黄忠卫 石锐 
国家自然科学基金面上项目(82072406)。
目的使用等离子体浸没离子注入技术(PIII)将锆离子注入到聚醚醚酮(PEEK)材料中,并初步评价该材料与人牙龈成纤维细胞(HGFs)的生物相容性。方法将经过PIII改性的PEEK试件作为改性组,未经改性的试件作为对照组,然后与HGFs在体外共培养,扫...
关键词：人牙龈成纤维细胞 聚醚醚酮 黏附 增殖 等离子体浸没离子注入技术 锆离子 
脉冲参数对等离子体浸没离子注入介质靶鞘层演化规律的影响
《中国科技纵横》2018年第2期222-223,共2页朱文艳 
采用一维流体模型对平板形绝缘介质材质的待处理物体表层的等离子体浸没离子注入过程进行了数值模拟计算.具体讨论分析了所加脉冲参数对离子注入实现表面改性效果的影响.结果表明:在等离子体浸没离子注入平面介质靶表层的实际工艺中,为...
关键词：等离子体浸没离子注入 鞘层 脉冲参数 
等离子体浸没离子注入介质材料鞘层演化规律
《电子测试》2017年第11X期34-35,共2页朱文艳 
重庆市高等职业院校专业能力建设(骨干专业:城市轨道交通机电技术专业)项目成果之一
等离子体浸没离子注入(Plasma-immersion-ion-implantation,简称PIII)已被广泛应用于金属、半导体以及绝缘介质材料改性等领域。通过一维流体力学模型,利用C语言实现编程,对一维平面介质靶鞘层特性进行了数值模拟,得到了鞘层的演化规律...
关键词：等离子体浸没离子注入 冷流体力学模型 鞘层 数值模拟 
PIII中工作气压和占空比优化关系的数值研究
《真空科学与技术学报》2016年第10期1162-1168,共7页李义 敬晓丹 李久会 雷明凯 
辽宁省教育厅科学研究一般项目(2015233);辽宁工业大学教师科研启动基金项目(201320)
等离子体浸没离子注入中的等离子体扩散过程和鞘层演化行为分别由低压非稳态扩散流体模型与鞘层碰撞流体模型来进行描述,数值模拟研究了工作气压与占空比对离子注入剂量和能量的影响。计算结果表明,工作气压不变时,随占空比变化,一定时...
关键词：等离子体浸没离子注入 多脉冲鞘层 流体模型 工作气压 占空比 
氮气等离子体注入对聚醚醚酮口腔生物材料粘结性能的影响被引量：2
《现代口腔医学杂志》2016年第2期89-93,共5页甘抗 刘秀菊 宋效庆 牛德利 刘红 
吉林省产业技术研究与开发项目资助课题(2015Y038-3);吉林省产业技术研究与开发项目资助课题(JF2012C009-2);吉林大学研究生创新基金资助项目(2015003);吉林省科技厅自然科学基金资助课题(201215051)
目的探讨氮气等离子体注入改性对聚醚醚酮(PEEK)粘结强度的影响,阐明其改善粘结性能的机理。方法按照改性参数不同,将制备的PEEK标准试件随机分为对照组、浸没组、低脉冲组和高脉冲组,每组20个。采用扫描电镜(SEM)观察各组试件的微观形...
关键词：聚醚醚酮 等离子体浸没离子注入 粘结强度 
工作气压对多脉冲鞘层动力学行为的影响被引量：3
《真空科学与技术学报》2015年第5期589-593,共5页李义 敬晓丹 李久会 雷明凯 
辽宁工业大学教师科研启动基金项目(X201320)
分别采用低压非稳态扩散流体模型和碰撞流体模型描述了等离子体浸没离子注入平面靶表面过程中等离子体回复扩散和鞘层演化行为,通过数值求解两流体模型研究了不同工作气压下多脉冲鞘层的时空演化动力学特征。计算结果表明,在连续脉冲作...
关键词：等离子体浸没离子注入 多脉冲鞘层 等离子体扩散 流体模型 
等离子体浸没离子注入技术在FinFET掺杂中的应用被引量：1
《半导体技术》2014年第8期596-599,604,共5页邹志超 李超波 罗军 夏洋 
国家科技重大专项资助项目(2009ZX02037)
基于传统的束线离子注入在对FinFET器件进行保形注入时面临的巨大挑战,介绍一种新的适用于FinFET器件的掺杂技术,即等离子体浸没离子注入技术。总结了与束线离子注入技术相比,等离子体浸没离子注入技术在对FinFET进行掺杂时的优点。利...
关键词：等离子体浸没离子注入 束线离子注入 鞘层 FINFET 保形注入 
浅谈等离子体浸没离子注入技术及其应用被引量：1
《中小企业管理与科技》2014年第24期320-320,共1页黄琼俭 周永福 汪小利 
等离子浸没离子注入技术是一种新型的离子注入技术,有着自己独特的优点,目前已成为热点研究领域,其主要应用于对材料表面处理以提高其磨损性能。本文简要阐述了等离子体浸没离子注入技术,并就其在表面改性领域中的广泛应用进行了分析与...
关键词：等离子体 浸没与注入 应用 技术 
离子氮化技术的研究进展被引量：9
《材料导报》2014年第13期61-64,共4页李杨 王亮 
国家自然科学基金(51301149;51179017)
离子氮化具有工件变形小、渗速快、节能环保等优点,能有效提高金属零部件的表面硬度、耐磨损和耐腐蚀等性能。然而受气体放电特性和电场效应的影响,工件形状对表面温度的均匀性影响很大,出现表面打弧、边缘效应和空心阴极效应等问题。...
关键词：离子渗氮 活性屏渗氮 等离子体浸没离子注入 空心阴极放电 
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