工作气压

作品数：110被引量：208H指数：7
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工作气压对Y掺杂HfO_(2)结构及电学性能的影响
《表面技术》2023年第8期340-345,354,共7页惠迎雪 刘雷 赵吉武 张长明 秦兴辉 刘卫国 
国家重点研发计划–政府间科技创新合作重点专项(2018YFE0199200);国防科技重点实验室基金(JZX7Y202001SY006201)。
目的基于Y掺杂高纯铪靶和钛靶的反应磁控溅射方法,在Si(100)基底上沉积掺杂Y氧化铪薄膜,以及TiN/X-HfO_(2)/TiN三层异质结构,探究Y掺杂对氧化铪基异质结构铁电性的影响。方法针对反应磁控溅射制备的Y掺杂HfO_(2)薄膜和异质结构,分别采...
关键词：磁控溅射 HfO_(2)基异质结 铁电薄膜 工作气压 钇掺杂 
高能衍射仪
《中国科学院院刊》2023年第S01期54-54,共1页
主要技术与性能指标,能量范围:15-35 keV,束斑直径:50-80μm,工作气压范围:10^(−8)-10^(2)Pa,纹波系数:0.05%主要应用,作为薄膜材料制备中原位实时测监手段用于高端科研仪器上,在MBE、PLD、ALD、MOCVD等设备上被广泛应用。代表性应用成...
关键词：纹波系数 工作气压 电子科技大学 科研仪器 MOCVD 衍射仪 能量范围 薄膜材料 
工作气压对管内壁沉积Si/O-DLC薄膜结构与性能的影响被引量：1
《表面技术》2023年第6期439-449,共11页许浩杰 陈仁德 周广学 叶羽敏 汪爱英 
中国科学院-韩国国家科技理事会协议项目(174433KYSB20200021);王宽城率先人才计划卢嘉锡国际团队(GJTD-2019-13);中科院创新团队(292020000008)。
目的探讨工作气压对管内等离子体放电光学现象以及Si/O-DLC(Si and O Incorporated DLC,Si/O-DLC)薄膜结构与性能的影响,为获得管内高质量、均匀的Si/O-DLC薄膜制备工艺技术提供指导。方法利用空心阴极等离子体增强化学气相沉积(Hollow ...
关键词：工作气压 空心阴极等离子体增强化学气相沉积 管内壁 Si/O-DLC 等离子体放电光学现象 均匀性 
直流磁控溅射对异形工件内表面沉积薄膜性能的影响被引量：1
《真空科学与技术学报》2022年第3期223-227,共5页张健 李建浩 齐振华 徐全国 唐智聪 
对于表面形状复杂的异形工件,在薄膜沉积过程中由于受到阴影效应的影响,将会造成薄膜厚度的不均匀以及表面性能和结构的差异,工件在应用过程中容易导致表面失效,降低其使用寿命。为了在异形工件表面获得厚度均匀的薄膜,本文采用直流磁...
关键词：异形工件 直流磁控溅射 工作气压 衬底温度 厚度均匀性 
探究多丝正比计数器工作气体压强变化对α、β表面粒子发射率测量的影响
《电子测试》2022年第3期78-80,共3页王鹏 
江苏省市场监督管理局科技计划项目(KJ207570)资助。
讨论工作气压改变对α、β表面粒子发射率测量情况形成的影响,具体操作是在发射率装置上调整多丝正比计数器工作气压,测量α、β这两类粒子的实际发射率,基于阈值外推修正漏计数率。统计发现,工作气压50~180kP范围变动时,即便是在实验...
关键词：正比计数器 工作气压改变 表面发射率 影响分析 
工作气压对磁控溅射TaN薄膜微结构和性能的影响被引量：2
《材料导报》2021年第S02期60-63,共4页张玉宝 李志刚 王艺 蒋继成 姚钢 赵弘韬 
黑龙江省科学院科研基金(KY2020WL02);黑龙江省科学院学科领域创新能力提升专项计划(XKLY2019WL01-03)。
采用反应磁控溅射技术在Al_(2)O_(3)陶瓷基底上制备了一系列不同工作气压的TaN薄膜。分别利用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、台阶仪、划痕仪和四探针电阻计研究不同工作气压对TaN薄膜的微观结构、粗糙度、沉积速率、膜-基结合...
关键词：TaN薄膜 氮气流量 微观结构 结合力 电性能 
基于空气阻力等效的超高速列车真空管道参数设计被引量：6
《隧道建设（中英文）》2021年第S01期345-351,共7页骆阳 王英学 任文强 
国家自然科学基金资助项目(51778539)
高速铁路在世界各国范围内建成和运行的同时,作为快捷、舒适、节能交通工具,超高速列车将成为轨道交通的下一个发展方向。而随着列车速度的提升,列车空气阻力明显增加。为有效降低空气阻力,实现列车超高速运行,真空管道交通应运而生。...
关键词：超高速列车 真空管道 空气阻力 工作气压 阻塞比 
专利名称:一种基于钛片表面磁控溅射二硫化钼生物功能涂层的制备方法
《中国钼业》2021年第1期33-33,共1页
专利申请号:CN201811120636公开号:CN109112474A申请日:2018.09.26公开日:2019.01.01申请人:湖北大学一种基于钛片表面磁控溅射二硫化钼生物功能涂层的制备方法,包括如下步骤:(1)对钛片表面进行碱热处理;(2)通过磁控溅射系统在钛片表面...
关键词：二硫化钼 磁控溅射 功能涂层 工作气压 钛片 沉积时间 沉积速率 碱热处理 
工作气压对TiBN/TiAlSiN纳米多层涂层的结构和性能影响被引量：1
《中国表面工程》2020年第6期77-85,共9页王泽松 韩滨 项燕雄 田灿鑫 邹长伟 付德君 
广东省科技创新战略专项资金(2018A03015);岭南师范学院自然科学研究及人才项目(ZL2047,LZL1809)
为应对高速干式切削、工磨具行业对新型防护涂层的需求,制造高硬度、耐摩擦磨损的纳米复合涂层具有巨大的市场前景。采用阴极多弧离子镀技术,在不同的工作气压下用TiB2和TiAlSi合金靶作为阴极蒸发靶材,在硬质合金衬底上分别沉积了TiBN,T...
关键词：TiBN/TiAlSiN 多弧离子镀 工作气压 纳米多层涂层 微观结构 
工作气压对可控区域空心阴极放电的影响(ZR206601)
《佳木斯大学学报（自然科学版）》2020年第5期143-146,共4页杨海 李祖君 朱雪彤 马佳 孙薇薇 
国家自然科学基金(11675047,51811530059);黑龙江省自然科学基金(E2015039);黑龙江省省属本科高校基本科研业务费科研项目(2016-kyywf-0561)。
工作气压是影响空心阴极放电的重要参数,研究了不同气氛下工作气压对可控区域空心阴极放电特性的影响。结果表明:Ar气氛下,较高气压促使空心阴极产生较多带电粒子,空心阴极放电增强;C 2H 2气氛下,C2H2的电负性吸收电子,削弱空心阴极放电...
关键词：可控区域空心阴极 工作气压 放电电流 
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