铁电薄膜

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柔性云母基底上高性能Hf_(0.5)Zr_(0.5)O_(2)铁电薄膜制备与性能研究
《功能材料与器件学报》2025年第1期48-55,共8页沈家宁 
铪基铁电薄膜与传统的互补金属氧化物半导体(CMOS)加工工艺兼容,且在超薄膜厚(低至1 nm)下仍具有良好的铁电性,用其制作的柔性铁电存储器将为柔性电子系统注入新的活力。然而,剩余极化强度不高且器件可靠性不佳是铪锆氧(HZO)基柔性铁电...
关键词：云母基底 柔性 Hf_(0.5)Zr_(0.5)O_(2) 铁电薄膜 
界面影响BFO铁电薄膜极化翻转行为的原位电学研究
《电子显微学报》2024年第6期627-634,共8页陈潇忻 刘中然 李柱 李吉学 田鹤 
国家自然科学基金重点项目(No.U21A2067);浙江省自然科学基金重大项目(No.LD21E020002)。
铁电薄膜在高密度存储器等微型功能器件具有巨大的应用前景,在外场下研究铁电薄膜极化翻转机制具有重要意义。本文用原位透射电镜技术对BFO薄膜电容器的铁电极化翻转动态行为及界面因素进行了研究。原位结果观察到“面内层状”与典型“...
关键词：铁电薄膜 极化翻转 原位透射电镜 BFO 
氧化铪基铁电薄膜的研究进展
《微纳电子技术》2024年第12期28-38,共11页秦羽铖 蒋昊岚 闵月淇 谢文钦 张静 谢亮 
氧化铪(HfO_(2))基铁电薄膜拥有稳定、独特的铁电极化,且与CMOS集成电路制造工艺的高度兼容性,成为下一代高密度、非易失性铁电存储器的重要候选材料,因而备受关注。首先探讨了HfO_(2)基铁电薄膜的不同制备方法,分析了脉冲激光沉积法、...
关键词：氧化铪(HfO_(2))薄膜 铁电性 铁电正交相 铁电性起源 铁电存储器 
CaBi_(2)Nb_(2)O_(9)铁电薄膜的生长取向调控和性能研究
《无机材料学报》2024年第11期1228-1234,共7页任冠源 李宜冠 丁冬海 梁瑞虹 周志勇 
铋层状铌酸铋钙(CaBi_(2)Nb_(2)O_(9),CBN)铁电薄膜具有良好的铁电性能和疲劳特性,是铁电随机存储器的重要候选材料之一。铋层状结构薄膜a轴外延生长对其高质量集成和应用具有重要意义,然而CBN结构的各向异性使其根据晶体学调节自发极...
关键词：外延薄膜 生长机制 取向调控 铌酸铋钙 
高Sc掺杂AlN薄膜铁电性能的研究
《功能材料与器件学报》2024年第5期239-246,共8页习娟 周大雨 吕天明 
中央高校基本科研业务费专项资金(DUT24LAB117);苏州实验室资助项目(SK-204-2024-001)
纤锌矿铁电材料因其大的剩余极化(P_(r))、优良的高温稳定性以及与半导体工艺的良好兼容性,受到了广泛的关注。然而,纤锌矿钪掺杂氮化铝(AlScN)铁电薄膜应用于非易失性存储器的主要挑战是其较大的矫顽场(E_(c)),以及在高电场下较大的漏...
关键词：AlScN铁电薄膜 C轴取向 高Sc含量 
四方铁电体顶点畴的原子尺度构型研究
《电子显微学报》2024年第4期422-428,共7页吕晓东 刘嘉琦 唐云龙 朱银莲 马秀良 
中国科学院金属研究所创新基金资助项目(No.2024-ZD01).
结合精密脉冲激光沉积和原子级分辨率透射电子显微镜技术,本文研究了拉应变下外延生长的PbTiO_(3)/SrTiO_(3)多层薄膜中灵活多变的畴组态,分析了不同类型畴在交汇顶点构成的新型顶点畴及其极化组态。这些顶点畴可能与薄膜中新型极化拓...
关键词：铁电薄膜 畴结构 顶点畴 PbTiO_(3) 
外延Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_(3)铁电薄膜的制备及介电储能性能
《华南师范大学学报（自然科学版）》2024年第4期54-59,共6页冀思雨 樊晓雨 曹以琳 高珺怡 杨帆 宋建民 张宪贵 
教育部合作与教研专项(231102070271447);河北省高校基本科学研究项目(KY2024011,KY2023028);河北农业大学创新训练项目(2024306,2024314)。
利用偏轴磁控溅射技术,在(001)LaAlO_(3)单晶衬底上构架了Pt/Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_(3)(BST)/La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_(3)(LSCO)铁电电容器,研究了BST薄膜的结构与形貌、介电、漏电和储能性能。结果表明:BST薄膜为外延结构生长,表面光滑致密...
关键词：Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_(3) 铁电薄膜 介电 储能 
稀土掺杂下外延HfO<sub>2</sub>薄膜的铁电性研究
《应用物理》2024年第8期595-600,共6页刘洋 李伟伟 
本研究专注于稀土金属Y和La掺下HfO2薄膜的铁电性。采用脉冲激光沉积技术,在(001)取向SrTiO3衬底上利用La0.7Sr0.3MnO3薄膜作为底电极,成功实现了沿(111)取向生长的外延薄膜。研究发现,掺杂下的HfO2薄膜呈现出较好的结晶性,在室温下压...
关键词：HfO2薄膜 稀土掺杂 铁电薄膜 
柔性云母基底上的Ba_(0.77)Sr_(0.23)TiO_(3)铁电薄膜的制备与研究
《电子元件与材料》2024年第7期830-834,844,共6页韦春树 杨俊锋 刘兴鹏 丁明建 彭一鸣 
国家自然科学基金(62361022);广西自然科学基金项目(2023GXNSFBA026216);广西电子信息材料构效关系重点实验室自主研究基金(231015-Z)。
利用脉冲激光沉积系统(Pulsed Laser Deposition,PLD)在柔性云母基底上制备了Ba_(0.77)Sr_(0.23)TiO_(3)(BST)铁电薄膜,并研究了薄膜的微观结构与电学性能。结果表明,所制备的BST薄膜呈现出(111)取向的单晶结构,表面粗糙度仅为1.96 nm。...
关键词：脉冲激光沉积法 柔性云母Ba_(0.77)Sr_(0.23)TiO_(3) 铁电薄膜 
HFO_(2)铁电体薄膜移相器设计
《电子元件与材料》2024年第6期743-749,共7页李江 常明超 张义 李兴 赵其祥 
国家自然科学基金地区项目(62361019)。
移相器作为阵列天线的关键部件,用来调整阵列天线中各个天线单元之间的相位差,从而实现波束的扫描。基于传输线周期性加载可变电容理论,设计了一款工作于K波段的HFO_(2)铁电薄膜移相器。为了实现低插损和紧凑型,该移相器采用HFO_(2)铁...
关键词：共面波导 铁电薄膜 移相器 介电常数 叉指电容 
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