云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 脉冲激光沉积法

脉冲激光沉积法: 作品数：164被引量：342H指数：8; 导出分析报告; 相关领域：理学电子电信更多>>; 相关作者：叶志镇赵炳辉朱丽萍张银珠潘新花更多>>; 相关机构：浙江大学中国科学院电子科技大学华南师范大学更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划中国科学院“百人计划”更多>>

脉冲激光沉积法制备Ga掺杂ZnO薄膜结构、光学和电学性能研究: 《淮北师范大学学报（自然科学版）》2024年第3期23-29,共7页周同杨晓漫刘亲壮; 国家自然科学基金项目(11974127);安徽省自然科学基金项目(2008085MA19);淮北师范大学研究生创新基金项目(CX2023039)。; 为探究掺杂含量及薄膜厚度对Ga_(x)Zn_(1-x)O薄膜各性能的影响,利用脉冲激光沉积法在MgO衬底上制备一系列Ga_(x)Zn_(1-x)O薄膜。X射线衍射结果表明,所有薄膜均沿z轴择优生长,结晶质量和透光率随掺杂含量的增加而降低。Ga掺杂含量为3%的...; 关键词：脉冲激光沉积 Ga_(x)Zn_(1-x)O薄膜电学性能 X射线衍射

柔性云母基底上的Ba_(0.77)Sr_(0.23)TiO_(3)铁电薄膜的制备与研究: 《电子元件与材料》2024年第7期830-834,844,共6页韦春树杨俊锋刘兴鹏丁明建彭一鸣; 国家自然科学基金(62361022);广西自然科学基金项目(2023GXNSFBA026216);广西电子信息材料构效关系重点实验室自主研究基金(231015-Z)。; 利用脉冲激光沉积系统(Pulsed Laser Deposition,PLD)在柔性云母基底上制备了Ba_(0.77)Sr_(0.23)TiO_(3)(BST)铁电薄膜,并研究了薄膜的微观结构与电学性能。结果表明,所制备的BST薄膜呈现出(111)取向的单晶结构,表面粗糙度仅为1.96 nm。...; 关键词：脉冲激光沉积法柔性云母Ba_(0.77)Sr_(0.23)TiO_(3) 铁电薄膜

脉冲激光沉积法制备YSZ薄膜的导电机制: 《材料科学与工程学报》2024年第3期442-448,455,共8页张靖松曹林洪王进符亚军蒋玉苹唐维; 西南科技大学博士学位基金资助项目(19ZX7131,18ZX7132);四川省自然科学基金青年基金资助项目(2022NSFSC2014)。; YSZ薄膜氧气传感器的微型化和高灵敏度是其未来的发展趋势,厘清氧离子在薄膜中的输运机制是提高氧气传感性能的关键。鉴于此,本研究采用脉冲激光沉积技术在单晶Si(100)衬底上制备了YSZ薄膜,并采用X射线衍射、扫描电子显微镜、X射线光电...; 关键词：脉冲激光沉积 YSZ薄膜离子电导退火温度

脉冲激光沉积法制备(Cu,C)Ba2Ca3Cu4Oy涂层导体: 《低温物理学报》2023年第4期226-232,共7页李玉刚朱萍童淑云杨丽莹陈阳阳刘志勇闻海虎蔡传兵; 中科院先导专项(XDB25000000);国家自然科学基金(52172271,12204300)资助的课题; (Cu,C)Ba2Ca3Cu4Oy是超导转变温度Tc约为116 K的无毒铜氧化物超导材料,在迄今为止的超导材料中,高压法制备的(Cu,C)Ba2Ca3Cu4Oy多晶块材在液氮温区具有最高的不可逆场Hirr~15 T.为了实现(Cu,C)Ba2Ca3Cu4Oy超导材料的规模化制备,本文利...; 关键词：脉冲激光沉积柔性金属基底 (Cu C)Ba2Ca3Cu4Oy 薄膜

氧气压强对脉冲激光沉积法制备的CuO薄膜性能的影响: 《真空》2023年第3期42-45,共4页向玉春朱建雷袁亚; 陕西省自然科学基础研究计划(2022JQ416);咸阳职业技术学院2021年度科研基金项目(2021KJC12)。; 采用脉冲激光沉积法(PLD)在玻璃衬底上沉积CuO薄膜,研究了氧气压强对CuO薄膜结构和光学、电学性能的影响。结果表明:在氧压为3×10^(-3)Pa,3~5Pa,和8~12Pa时,沉积的薄膜分别为单一Cu_(2)O相、混合Cu_(2)O/CuO相和单一CuO相;当氧压从5Pa...; 关键词：氧化铜薄膜半导体脉冲激光沉积法电学性能光学性能

La_(0.67)Sr_(0.33)MnO_(3)/PbZr_(0.4)Ti_(0.6)O_(3)/La_(0.67)Sr_(0.33)MnO_(3)外延铁电电容器物理性能: 《河北大学学报（自然科学版）》2022年第4期364-369,共6页薛迎港孟浩王照文赵文泽刘保亭代秀红; 国家自然科学基金资助项目(11374086);河北省自然科学基金资助项目(E2014201188,A2018201168)。; 采用脉冲激光沉积法制备La_(0.67)Sr_(0.33)MnO_(3)(LSMO)薄膜,溶胶-凝胶法制备PbZr_(0.4)Ti_(0.6)O_(3)(PZT)薄膜,在SrTiO_(3)(STO)基片上制备了LSMO/PZT/LSMO异质结电容器.X线衍射(XRD)研究表明LSMO和PZT薄膜在STO基片上实现了外延生...; 关键词：铁电电容器锆钛酸铅镧锶锰氧脉冲激光沉积法溶胶-凝胶法漏电机理

基于脉冲串模式的ZnO薄膜皮秒激光脉冲沉积技术被引量：1: 《中国激光》2022年第6期31-42,共12页吴恩利代守军轩新想何建国刘洋谭羽貊泽强余锦; 国家重点研发(2018YFB07400)、高端跨尺度多功能激光精密去除制造装备(2019ZDLGY01-04)、中国科学院科研仪器设备研制项目(YJKYYQ20200047)。; 介绍了一种基于多脉冲模式的皮秒激光脉冲沉积方法,采用该方法在玻璃基底和单晶硅基底上沉积了透明导电氧化锌(ZnO)薄膜,使用光谱椭偏仪、原子力显微镜、扫描电子显微镜、X射线衍射仪、分光光度计和四探针测试仪分析了激光的不同脉冲串...; 关键词：薄膜脉冲激光沉积法脉冲串模式皮秒脉冲激光氧化锌薄膜

激光法制备ZnO半导体膜正交试验探究: 《化工设计通讯》2022年第1期117-119,122,共4页闫碧莹张艳君; 内蒙古自治区教育厅自然科学项目(NJZC17576)。; 应用脉冲激光沉积法(PLD)制备ZnO基稀磁半导体薄膜,主要研究各试验条件对薄膜结晶效果的影响,通过正交试验确定最佳试验条件为:衬底温度500℃,氧压0.1Pa,激光能量200mJ/次,为ZnO薄膜的深加工和进一步开发利用奠定基础。; 关键词：氧化锌稀磁半导体脉冲激光沉积法

Cu_(2)ZnSnS_(4)/Bi_(2)FeCrO_(6)半导体异质结的脉冲激光沉积法制备及其光电性能被引量：2: 《材料工程》2021年第7期103-111,共9页王杰马帅夏丰金董红周沙震宗贾瑞彬; 国家自然科学基金(61604086);青岛市民生科技计划项目科技惠民专项(19-6-1-91-nsh)。; 为充分发挥无机铁电氧化物双钙钛矿Bi_(2)FeCrO_(6)(BFCO)的光电特性,选择P型半导体化合物Cu_(2)ZnSnS_(4)(CZTS)作为空穴传输层与BFCO结合,构建半导体异质结。采用脉冲激光沉积法(PLD)制备得到上述两种多元化合物薄膜,SEM,AFM,EDS及XR...; 关键词：脉冲激光沉积铜锌锡硫铋铁铬氧异质结半导体

脉冲激光沉积法制备的单层MoS_(2)薄膜变温光响应研究被引量：2: 《红外与毫米波学报》2021年第3期302-307,共6页谢明章李留猛李明叶艳张金中姜凯商丽燕胡志高褚君浩; Supported by the National Key R&D Program of China(2018YFB0406500,2019YFB2203400);the Natural Science Foundation of Chi⁃na(91833303,61974043,61674057);Projects of Science and Technology Commission of Shanghai Municipality(18JC1412400,18YF1407200,18YF1407000,19511120100).; 报导了在c-Al_(2)O_(3)衬底上用脉冲激光沉积法制备MoS_(2)薄膜,并测试了其不同温度下的光响应。通过拉曼散射光谱和X射线衍射光谱证明了所制备的二硫化钼为纯2H相。通过X光电子能谱证明了所制备的二硫化钼硫钼原子比为1.92:1,在Mo元素...; 关键词：二硫化钼脉冲激光沉积光致发光光响应

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