氧化锌薄膜

作品数：407被引量：1194H指数：17
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新型氧化锌薄膜乙烷气体传感器在油浸式变压器中的应用
《自动化应用》2024年第21期130-133,共4页常洪燕 谭林斌 张冬至 
在大型油浸式电力变压器的健康管理中,变压器油中溶解气体的精准检测技术发挥非常重要的作用,尤其是在早期发现潜在故障方面。该技术可以更好地保证变压器绝缘性能的稳定性。其中,气体传感器在整个技术体系中发挥实时监管的作用,是该检...
关键词：油浸式变压器 ZNO薄膜 气体传感器 乙烷 
磁控溅射法制备掺镁氧化锌薄膜的微观结构及其物理性质
《中南民族大学学报（自然科学版）》2024年第5期709-717,共9页顾锦华 万鑫 冯朝德 龙浩 钟志有 
国家自然科学基金资助项目(12075322)。
采用磁控溅射工艺制备了纯氧化锌(ZnO)和不同掺杂量的掺镁氧化锌(MgZnO)薄膜,研究了薄膜样品电学、光学、气敏性能和微观结构与掺杂量之间的依赖关系,以及温度和气体浓度对薄膜气敏性能的影响,并对掺杂量为10%(质量分数)的薄膜样品的室...
关键词：磁控溅射 掺杂氧化锌 微观结构 气敏性能 
基于氧化锌薄膜声表面波器件的细胞富集方法
《声学学报》2024年第3期398-402,共5页李英银 周伟 彭本贤 张春秋 全浩 孟龙 
国家自然科学基金项目(12227809)资助。
针对常见的铌酸锂等压电单晶在高温易碎裂且不能弯曲等问题,提出了一种区别于传统压电单晶富集细胞的方法。通过磁控溅射技术在硅衬底上制备了厚度为3.83μm的氧化锌薄膜,并用扫描电子显微镜与X射线衍射表征了薄膜性能,在薄膜表面制备...
关键词：声表面波 声镊 声流 氧化锌 压电基底 细胞富集 
MOCVD方法生长氧化锌薄膜及其极性表面发光特性
《南昌大学学报（理科版）》2022年第6期607-610,620,共5页王剑宇 王立 
国家自然科学基金资助项目(62005112)。
氧化锌ZnO由于其高激子束缚能等特点在光电器件等方面表现出广泛的应用,制备高质量ZnO薄膜并研究其发光性能有着重要的意义。本文通过MOCVD方法在不同晶面的蓝宝石衬底上生长了不同极性表面的ZnO薄膜。扫描电子显微镜和阴极射线荧光表...
关键词：凝聚态物理 ZNO薄膜 蓝宝石衬底 MOCVD 阴极射线荧光 
基于氧化锌薄膜的可见光完美吸收体仿真研究
《湖北大学学报（自然科学版）》2022年第2期229-234,共6页杨辉 熊娟 杨伟佳 杨焱 王钊 
国家自然科学基金(52072115)资助。
提出一种基于Au-ZnO-Au三明治结构的可见光频段完美光吸收体结构.采用COMSOL有限元法对所提出的完美吸收体结构的光学特性进行模拟仿真,研究金属层、介质层和顶部金属光栅层的厚度以及光栅的宽度和周期等结构参数对其光学性质的影响规律...
关键词：一维光栅 完美吸收体 氧化锌 有限元仿真 
蓝宝石基底上制备蠕虫状ZnO及强紫外发光性能研究被引量：1
《光学学报》2022年第5期265-269,共5页刘姿彤 尤聂薇 朱亚彬 张致诚 刘歌 陈云琳 
国家大学生创新训练计划(210170067)。
选用纳米球刻蚀技术在蓝宝石(Al_(2)0_(3))基底上制备350 nm聚苯乙烯(PS)微球密排掩模版,然后采用反应射频磁控溅射方法分别在PS/Al_(2)0_(3)和Al_(2)0_(3)基底上沉积氧化锌(ZnO)薄膜,去除掩模版的PS微球后,对经退火处理的两种样品进行...
关键词：薄膜 紫外波段 光致发光 氧化锌薄膜 反应射频磁控溅射 纳米球刻蚀技术 
基于脉冲串模式的ZnO薄膜皮秒激光脉冲沉积技术被引量：1
《中国激光》2022年第6期31-42,共12页吴恩利 代守军 轩新想 何建国 刘洋 谭羽 貊泽强 余锦 
国家重点研发(2018YFB07400)、高端跨尺度多功能激光精密去除制造装备(2019ZDLGY01-04)、中国科学院科研仪器设备研制项目(YJKYYQ20200047)。
介绍了一种基于多脉冲模式的皮秒激光脉冲沉积方法,采用该方法在玻璃基底和单晶硅基底上沉积了透明导电氧化锌(ZnO)薄膜,使用光谱椭偏仪、原子力显微镜、扫描电子显微镜、X射线衍射仪、分光光度计和四探针测试仪分析了激光的不同脉冲串...
关键词：薄膜 脉冲激光沉积法 脉冲串模式 皮秒脉冲激光 氧化锌薄膜 
前驱体通气时间对原子层沉积氧化锌薄膜的影响
《微纳电子技术》2022年第3期231-235,241,共6页马铭辰 王国政 王蓟 
吉林省科技厅重点科技研发项目(20180201033GX);吉林省科技厅技术攻关项目(20190302125GX);吉林省科技厅重大科技专项(20200501006GX);吉林省教育厅项目(JJKH20200777KJ)。
建立了反应腔室模型,模拟分析了原子层沉积(ALD)过程中前驱体质量分数随其通气时间的变化趋势。采用ALD法制备了ZnO薄膜,采用原子力显微镜(AFM)与扫描电子显微镜(SEM)对薄膜进行了表征,研究了不同二乙基锌通气时间下ZnO薄膜的表面形貌...
关键词：原子层沉积(ALD) 流体分析 ZNO薄膜 表面粗糙度 薄膜均匀性 
X射线吸收谱测算锂氮共掺杂氧化锌薄膜局域电子结构
《发光学报》2022年第2期218-225,共8页申赫 王岩岩 高铭 李东飞 
国家自然科学基金(61704065,61705078,11904130)资助项目。
为了实现对Li—N共掺杂p型ZnO薄膜的形成机制以及其稳定p型导电原因的揭示,利用X射线光电子谱及基于同步辐射光源的X射线吸收精细结构谱测试对薄膜的局域电子结构进行了测算分析。获得了Li—N成键及Li—N复合型受主形成的信号,利用光致...
关键词：氧化锌 P型掺杂 形成机制 稳定性 X射线吸收精细结构谱 
镁铝共掺杂氧化锌薄膜的制备与光电性能研究被引量：1
《广东石油化工学院学报》2021年第4期67-71,共5页陈冬 张漫虹 钟美桃 梁铨斌 陈星源 罗国平 胡素梅 
广东省青年创新人才项目(2017KQNCX136);广东石油化工学院科研基金项目(2017rc20);2019年广东省高等教育教学改革项目(409);广东石油化工学院教育教学改革研究项目(JY201817)。
采用磁控溅射在玻璃衬底上制备镁铝共掺杂氧化锌(MAZO)薄膜。通过XRD、AFM、紫外-可见-近红外分光光度计和四探针测试仪综合分析溅射功率对MAZO薄膜结构特性、表面形貌和光电性能的影响。XRD测试表明,所有MAZO薄膜具有六方纤锌矿晶体结...
关键词：氧化锌薄膜 共掺杂 磁控溅射 光电性质 
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