铁电电容器

作品数：27被引量：13H指数：2
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Ar等离子体处理对H_(0.5)Z_(0.5)O_(2)薄膜铁电电容器的影响
《功能材料与器件学报》2024年第2期79-83,共5页蒋瑞 
氧化铪基铁电薄膜近年来广受关注,因为具有优良的铁电性能,并可以与CMOS工艺完美兼容。有研究表明,Ar等离子体处理HZO界面可以有效提高铁电性能,但存在剩余极化强度较低(~30μC/cm^(2))的问题。本文通过不同功率(50W,100W,150W,200W)Ar...
关键词：等离子体处理 HZO薄膜 正交相 剩余极化强度 
La_(0.67)Sr_(0.33)MnO_(3)/PbZr_(0.4)Ti_(0.6)O_(3)/La_(0.67)Sr_(0.33)MnO_(3)外延铁电电容器物理性能
《河北大学学报（自然科学版）》2022年第4期364-369,共6页薛迎港 孟浩 王照文 赵文泽 刘保亭 代秀红 
国家自然科学基金资助项目(11374086);河北省自然科学基金资助项目(E2014201188,A2018201168)。
采用脉冲激光沉积法制备La_(0.67)Sr_(0.33)MnO_(3)(LSMO)薄膜,溶胶-凝胶法制备PbZr_(0.4)Ti_(0.6)O_(3)(PZT)薄膜,在SrTiO_(3)(STO)基片上制备了LSMO/PZT/LSMO异质结电容器.X线衍射(XRD)研究表明LSMO和PZT薄膜在STO基片上实现了外延生...
关键词：铁电电容器 锆钛酸铅 镧锶锰氧 脉冲激光沉积法 溶胶-凝胶法 漏电机理 
TiN/Hf_(x)Zr_(1-x)O_(2)/TiN铁电电容器的原位生长与表征
《物理化学学报》2022年第5期89-96,共8页殷宇豪 沈阳 王虎 陈肖 邵林 华文宇 王娟 崔义 
support from Nano Fabrication Facility and Platform for Characterization&Test from Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics,CAS。
HfO;基铁电电容器,特别是TiN/Hf_(x)Zr_(1-x)O_(2)/TiN金属-绝缘体-金属电容器,由于其良好的稳定性、高性能和互补金属氧化物半导体(CMOS)兼容性,在新一代非易失性存储器中有着广阔的应用前景。由于TiN/Hf_(x)Zr_(1-x)O_(2)/TiN电容器...
关键词：铁电 表面 界面 HFO 真空互联 原位 
Hf0.5Zr0.5O2基铁电电容器的特性研究被引量：1
《微电子学》2019年第3期418-421,426,共5页王健健 白华 许高博 李梅 毕津顺 
国家自然科学基金资助项目(616340084)
利用原子层淀积工艺制备了9 nm厚的铪锆氧(Hf0.5Zr0.5O2)铁电薄膜。通过淀积TiN顶/底电极形成Hf0.5Zr0.5O2铁电电容,研究退火工艺和机械夹持工艺对铁电电容性能的影响。实验结果表明,极化强度-电压曲线为电滞回线形,双倍剩余极化强度达3...
关键词：铪锆氧 铁电电容 机械夹持 剩余极化强度 矫顽电压 
铁电电容器的制备以及性能研究
《科技经济导刊》2017年第12期69-,共1页赵莉 尚一猛 闫子晴 
本文以LSCO薄膜作为氧化物底电极,通过磁控溅射法和脉冲激光法实现了NBT薄膜和SrTiO_3衬底的集成,构建了Pt/NBT/LSCO/STO(001)铁电薄膜异质结。
关键词：镧锶钴氧 磁控溅射 脉冲激光 钛酸铋钠 
含Ti-Al阻挡层的硅基Na0．5Bi0．5TiO3电容器的结构与电学性能
《硅酸盐学报》2016年第10期1477-1481,共5页宋建民 罗来慧 宋安英 魏丽静 代秀红 方晓燕 李振娜 刘保亭 
国家自然科学基金项目(11374086);河北省自然科学基金项目(E2014201188,E2014201063);保定市科技局基金项目(15ZG048);河北农业大学(ZD201614)资助项目
通过射频磁控溅射法和脉冲激光沉积法,以Ti-Al为阻挡层,在(001)Si衬底上制备了La0.5Sr0.5CoO_3(LSCO)/Na_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3(NBT)/LSCO(LSCO/NBT/LSCO)异质结铁电电容器。研究了Na_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3铁电薄膜的结构和物理性能。结果表...
关键词：钛酸铋钠薄膜 铁电电容器 剩余极化强度 漏电流 
MFMIS铁电电容器的模型改进
《电子测试》2015年第12期12-14,共3页孙静 李延平 施晓蓉 李立 田莉 
湖南省自然科学基金项目(14JJ6040);湖南工程学院博士启动基金
为了考虑铁电薄膜的历史电场效应,本文结合偶极子转换理论和MOS电容器的半导体物理理论,提出了一种描述MFMIS电容器电学性能的改进模型。利用该模型,模拟了铁电薄膜的极化强度-电压(P-E)特性和MFMIS电容器的电容-电压(C-V)特性,并与实...
关键词：MFMIS电容器 改进模型 P-V特性 C-V特性 
薄膜厚度对PZT/STO铁电电容器隧穿电阻的影响被引量：1
《功能材料》2013年第3期363-366,370,共5页王英龙 刘林 张鹏程 梁伟华 丁学成 褚立志 邓泽超 
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2011CB612305);河北省自然科学基金资助项目(E2011201134;E2012201035)
结合Landau-Devonshire自由能理论和晶格模型,研究了PbZr1-xTixO3(PZT)/SrTiO3(STO)复合薄膜中PZT和STO厚度对铁电隧道结极化强度、电导和隧穿电阻等的影响。模拟结果表明,随着层数增加,极化强度增大;平均极化强度随着PZT厚度增加而增强...
关键词：铁电电容器 隧穿效应 Landau模型 PZT 
(La_(0.5)Sr_(0.5))CoO_3为电极的Pb(Zr_(0.4)Ti_(0.6))O_3和Pb(Zr_(0.2)Ti_(0.8))O_3铁电电容器结构及电学性能被引量：1
《人工晶体学报》2013年第1期129-133,共5页贾冬梅 刘保亭 彭增伟 郝彦磊 朱慧娟 张宪贵 
国家自然科学基金(11074063);河北省应用基础研究计划重点项目(10963525D);高等学校博士点基金(20091301110002)
分别采用磁控溅射法和溶胶-凝胶法(Sol-gel)制备了(La0.5Sr0.5)CoO3(LSCO)和Pb(Zr1-xTix)O3(PZT)薄膜,在Pt(111)/Ti/SiO2/Si基片上构架了LSCO/Pb(Zr0.4Ti0.6)O3(PZT(40/60))/LSCO和LSCO/Pb(Zr0.2Ti0.8)O3(PZT(20/80))/LSCO铁电电容器,...
关键词：Pb(Zr1-xTix)O3 铁电电容器 溶胶-凝胶 矫顽场 脉宽依赖性 疲劳特性 
钛含量对PZT/STO铁电电容器隧穿电阻的影响
《河北大学学报（自然科学版）》2012年第6期587-591,共5页王英龙 刘林 梁伟华 丁学成 褚立志 
河北省自然科学基金资助项目(E2012201035)
采用Landau-Devonshire自由能理论和晶格模型,研究了PbZr1-xTixO3(PZT)/SrTiO3(STO)复合薄膜中PZT的钛(Ti)含量(x=0.5,0.6,0.8,1.0)对铁电隧道结极化强度、总电势、电导和隧穿电阻等的影响,从而增大隧穿电阻.模拟结果表明:随着层数增加...
关键词：铁电电容器 隧穿效应 Landau模型 PZT 
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