C-V特性

作品数:101被引量:102H指数:5
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新型铁电薄膜在MFIS器件中的应用
《河北大学学报(自然科学版)》2023年第4期364-368,共5页王树雨 芦春光 袁秋婷 仇加俊 付跃举 蔡淑珍 傅广生 
国家自然科学基金-应急管理项目(11547185);河北省自然科学基金资助项目(E2015201233)。
利用新型铁电材料Na 0.5 Y 0.5 TiO 3(NYTO)薄膜高介电的特点,将其作为MFIS(metal-ferroelectric-insulator-semiconductor,MFIS)电容器的绝缘层,制备出Pt/Pb(Zr 0.2 Ti 0.8)O 3/NYTO/Si结构电容器,并对其进行XRD、SEM、C-V特性测试及I-...
关键词:新型铁电薄膜 MFIS电容器 记忆窗口 C-V特性 
一种非晶铟镓锌氧化物薄膜晶体管陷阱态的提取方法
《电子元器件与信息技术》2023年第4期22-25,共4页强蕾 
海南省自然科学基金青年基金项目《氮化镓高电子迁移率晶体管特性及应用研究》(项目编号:521QN267);贵州省科技计划项目《氮化镓氨气敏传感器特性研究及参数提取》(项目编号:黔科平台人才[2020]-037)。
随着半导体工艺和技术的发展,透明氧化物半导体(TOS)器件受到较多关注,其中以非晶铟镓锌氧化物(a-InGaZnO)薄膜晶体管(TFT)为代表的n型TOS TFTs有着迁移率高、电阻率低和透过率高等优点,被广泛应用于低辐射窗、传感器等。本文利用a-InGa...
关键词:非晶铟镓锌氧化物 薄膜晶体管 态密度 C-V特性 
界面陷阱分布对SiC MOSFET准静态C-V特性的影响
《半导体技术》2023年第4期294-300,323,共8页高秀秀 王勇志 胡兴豪 周维 刘洪伟 戴小平 
国家科技助力经济2020重点专项(2020YFF0426582)。
为了分析4H-SiC/SiO_(2)固定电荷和界面陷阱对MOSFET准静态电容-电压(C-V)特性曲线的影响机制,对不同栅氧氮退火条件下的n沟道4H-SiC双注入MOSFET(DIMOSFET)进行了氧化层中可动离子、界面陷阱分布和准静态C-V特性曲线的测试,并结合仿真...
关键词:4H-SIC 双注入MOSFET(DIMOSFET) 界面陷阱 准静态电容-电压(C-V)特性 可动离子 
阻抗分析仪测量功率MOSFET器件栅极分离电容C-V特性的误差分析及调控方法被引量:3
《电工技术学报》2022年第12期3016-3027,3037,共13页蔡雨萌 赵志斌 徐子珂 孙鹏 李学宝 
国家重点研发计划资助项目(2018YFB0905703)。
功率MOSFET器件栅极分离电容C-V特性(C_(GS)-V_(G)、C_(GD)-V_(G))的准确测量对于器件的建模及栅氧可靠性的评估十分重要。阻抗分析仪是测量C_(GS)-V_(G)、C_(GD)-V_(G)的关键设备。在利用阻抗分析仪测量三端器件的某个参数时,需对非测...
关键词:功率 MOSFET 器件 阻抗分析仪 栅极分离电容 C-V 特性 等效电路模型 误差分析 
退火处理对锑化铟MIS器件C-V特性的影响
《红外技术》2022年第4期351-356,共6页周伟佳 龚晓霞 陈冬琼 肖婷婷 尚发兰 杨文运 
采用原子层沉积技术制备Al_(2)O_(3)薄膜作为InSb材料介电层,制备了MIS器件,研究了金属化后不同退火温度对界面特性的影响。利用C-V测试表征了MIS(metal-insulator-semiconductor)器件的界面特性,结果表明Al_(2)O_(3)介电层引入了表面...
关键词:锑化铟 C-V特性 金属化后退火 原子层沉积 
低米勒电容超结MOSFET开关过程及反向恢复性能仿真研究被引量:1
《机车电传动》2021年第5期38-46,共9页唐茂森 刘东 沈俊 葛兴来 周荣斌 叶峻涵 
针对超结场效应晶体管(SJ-MOSFET),利用工艺仿真建立多次外延离子注入和深槽刻蚀2种不同P柱形貌的器件结构,对比研究了不同工艺、不同栅极结构SJ-MOS的静态特性差异,并与实测数据对比,验证建立模型的正确性。从空间电荷区不均匀拓展的角...
关键词:超结场效应晶体管 C-V特性 体二极管 双脉冲测试 反向恢复特性测试 
基于不同AlN钝化层的极性GaN MOS器件界面特性被引量:1
《半导体技术》2021年第9期690-693,738,共5页高森 武娴 肖磊 王敬 
国家重点研发计划资助项目(2017YFB0404105)。
界面质量是影响GaN MOS器件性能以及可靠性的主要因素之一,Al2O3栅介质与极性GaN界面间插入超薄非晶AlN作为钝化层可以有效改善GaN栅界面特性,针对AlN钝化层生长方式研究了GaN界面优化特性。通过GaN MOS电容的C-V和J-V特性,结合透射电...
关键词:GaN MOS电容 AlN钝化层 界面态分析 等离子体NH3 C-V特性 
纳米尺寸AlGaN/GaN MIS-HEMT的栅电容模型
《钦州学院学报》2019年第3期38-41,54,共5页朱兆旻 刘顺 罗俊琦 
AlGaN/AlN/GaN金属-绝缘层-半导体高电子迁移率器件(MIS-HEMT)的栅电容模型是基于对GaN界面二维电子气(2DEG)浓度n_s的公式推导,求解过程中采用牛顿-拉夫逊迭代法并给出了近似的解析解。模型中的二维电子气浓度同数值模拟结果进行了比较...
关键词:HEMT 费米能级 C-V特性 高电子迁移率晶体管 二维电子气 
基于SiC基底的Y_2O_3/Al_2O_3堆栈MOS电容的特性研究被引量:2
《电子器件》2019年第1期9-13,共5页李诚瞻 赵艳黎 吴煜东 陈喜明 贾仁需 
国家重点研发计划项目(2016YFB0400403)
通过在n型碳化硅(SiC)晶圆上用物理气相沉积法(PVD)和原子层沉积法(ALD)分别沉积Y_2O_3介质和Al_2O_3,形成金属/Al_2O_3/Y_2O_3/SiC高k介质堆栈结构MOS电容。X射线光电子能谱(XPS)分析研究Al_2O_3/Y_2O_3堆栈结构氧化层介质之间以及氧...
关键词:碳化硅 MOS电容 高k介质 Y2O3/Al2O3堆栈 C-V特性 
Al掺杂HfO2高k栅介质沉积后退火工艺研究
《电子器件》2018年第6期1362-1366,共5页李佳帅 张静 杨红 刘倩倩 闫江 
Ge基MOS器件迁移率的远程库伦散射机制的研究项目(61674003)。
为满足集成电路发展需求,通过向Hf O2掺入Al元素形成Al掺杂的Hf O2新型高k材料,并在不同的环境和温度下进行退火,研究其电学特性的变化。通过对电学参数的分析,研究Al掺杂Hf O2材料体内正电荷缺陷、k值(晶相变化)、界面层厚度、栅漏电...
关键词:微电子 Al掺杂的HfO2 退火工艺 结晶 C-V特性 高k 
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