专利名称:一种基于钛片表面磁控溅射二硫化钼生物功能涂层的制备方法  

出　　处：《中国钼业》2021年第1期33-33,共1页China Molybdenum Industry

摘　　要：专利申请号:CN201811120636公开号:CN109112474A申请日:2018.09.26公开日:2019.01.01申请人:湖北大学一种基于钛片表面磁控溅射二硫化钼生物功能涂层的制备方法,包括如下步骤:(1)对钛片表面进行碱热处理;(2)通过磁控溅射系统在钛片表面溅射二硫化钼涂层。其优点是:使用磁控溅射系统可在钛片表面形成均匀的二硫化钼涂层;且磁控系统的工作气压、沉积时间、沉积速率等的设置,可有效控制二硫化钼图层的形貌及厚度;本发明设备投入少、实施难度小,制备方法简单易行,并且对环境并无太大影响。

关 键 词：二硫化钼 磁控溅射 功能涂层 工作气压 钛片 沉积时间 沉积速率 碱热处理 

分 类 号：TG174.4-18[金属学及工艺—金属表面处理]