李勇滔

作品数：12被引量：24H指数：3
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供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文主题：等离子体SUB硅衬底射频电源离子注入更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术自动化与计算机技术化学工程更多>>
发文期刊：《微电子学》《半导体技术》《现代电子技术》《电子工业专用设备》更多>>
所获基金：国家科技重大专项国家自然科学基金中国科学院科研装备研制项目更多>>
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射频功率发生器的功率检测装置研究被引量：1
《电子工业专用设备》2019年第2期4-7,共4页崔晨 孙小孟 林亭廷 赵丽莉 武燕婷 张庆钊 李勇滔 
国家科技重大专项(课题号:2014ZX02001004-002);国家重点研发计划(课题号:2016YFF0100201)的资助
射频功率发生器是半导体工艺设备的核心部件,功率检测装置的性能决定了射频功率发生器的功率输出特性。系统地研究了射频功率检测装置,通过选择适当的器件,设计出简单精确的射频功率检测电路;经试验分析,本射频功率检测装置的功率检测范...
关键词：射频功率发生器 功率检测装置 检测输出电压 
一种电容薄膜真空计检测电路的设计被引量：3
《仪表技术与传感器》2019年第3期45-48,共4页康恒 李勇滔 李超波 景玉鹏 
国家重大科技专项项目(2017ZX02201002)
针对电容薄膜真空计的电容检测精度要求高以及非线性的问题,文中设计了一种基于二极管桥的检测电路。该电路检测电容薄膜真空计的测量电容与参考电容的差值,能有效抑制共模噪声的干扰,并采用负反馈的方法对非线性进行补偿。仿真表明负...
关键词：电容薄膜真空计 电容检测 非线性 负反馈 补偿 
基于E类功率放大电路的射频功率发生器
《电子工业专用设备》2019年第1期54-59,共6页李勇滔 崔晨 孙小孟 林亭廷 赵丽莉 
国家科技重大专项(2014ZX02001004-002);国家重点研发计划(2016YFF0100201)的资助
系统地研究了E类功率放大电路,通过选择适当的器件,设计出高效简单的放大电路;初步设计了PID的控制策略,并且构建了基于E类功率放大电路的射频功率发生器。经实验测试,本射频功率发生器具有半3U尺寸,额定输出功率达到1 500 W,整机效率大...
关键词：射频功率发生器 E类功率放大电路 PID控制 
基于D类放大器的固态射频电源研究被引量：1
《电子工业专用设备》2018年第6期6-9,共4页孙小孟 崔晨 林亭廷 赵丽莉 李勇滔 
国家科技重大专项(2014ZX02001004-002);国家重点研发计划(2016YFF0100201)
射频电源采用D类功率放大模式,着重分析了驱动电路、功率放大电路。采用4只晶体管两两并联组成推挽电路,再由传输线变压器进行功率合成,输出功率达到1500W,整机效率65%。
关键词：D类功率放大 推挽电路 功率合成 
微波在半导体退火工艺中的应用被引量：1
《微纳电子技术》2017年第12期835-839,共5页康恒 林琳 符庭钊 李勇滔 夏洋 景玉鹏 
国家自然科学基金资助项目(61474139);国家重大科技专项资助项目(2017ZX02201002)
针对传统快速热处理工艺(RTP)在退火过程中引起杂质再扩散导致难以制作浅结器件的问题,采用了微波退火的方式进行退火,有效降低了热预算,能够解决杂质再扩散的问题。相比传统RTP退火,微波的退火机理具有特殊性,其不仅有微波的热效应还...
关键词：微波 退火 离子注入 快速热处理工艺(RTP) 热预算 
微波用于抑制光刻胶纳米线条倒伏的研究
《微电子学》2017年第5期718-722,728,共6页黄洛俊 康恒 程嵩 李勇滔 夏洋 景玉鹏 
国家自然科学基金资助项目(61474139;61274059)
针对半导体工艺中去离子水的表面张力导致显影干燥过程中光刻胶纳米线条容易发生倒伏的问题,采用了微波干燥方法,以抑制光刻胶纳米线条倒伏。利用微波的热效应和非热效应,降低去离子水的表面张力,使光刻胶纳米线条上的去离子水均匀、快...
关键词：微波干燥 光刻胶纳米线条 表面张力 倒伏 水分子团簇 
超临界CO2清洗技术在CMOS图像传感器中的应用被引量：6
《微纳电子技术》2017年第4期273-278,290,共7页黄洛俊 康恒 程嵩 李勇滔 夏洋 景玉鹏 
国家自然科学基金资助项目(61474139,61274059)
针对传统去离子水和高纯氮气组合的两相流清洗方法对CMOS图像传感器上颗粒污染物清洗良率不足的问题,采用了一种喷嘴式超临界二氧化碳(SSCO_2)清洗的方法来清洗CMOS图像传感器。相比传统的水气两相流清洗方法,本方法利用了SSCO_2的表面...
关键词：清洗 超临界二氧化碳(SSCO2) CMOS图像传感器 两相流 颗粒污染物 
基于PSS刻蚀平台的真空微气压控制研究被引量：1
《光电工程》2013年第2期93-99,共7页林永奔 李勇滔 李超波 夏洋 汪明刚 陈焰 
国家自然科学基金资助项目(60727003)
针对当前图形化蓝宝石衬底ICP干法工艺刻蚀流程,对工艺腔室真空环境微气压调节非线性特征进行了动态监测,本文提出了一种基于自适应模糊PID的微气压控制算法。该算法利用质量流量计MFC及真空泵组减压阀的参数调节,实现真空环境微气压调...
关键词：图形化蓝宝石衬底 微气压 自适应模糊PID控制 MATLAB仿真 
ALD中射频阻抗匹配器的设计与研究被引量：1
《现代电子技术》2012年第3期202-203,206,共3页孙小孟 李勇滔 夏洋 李超波 李英杰 陈盛云 赵章琰 秦威 
国家科技重大专项(2009ZX02037)
阐述原子层沉积系统(ALD)中射频阻抗匹配器的设计方案。利用ADS软件对阻抗匹配网络进行仿真,通过分析ALD真空腔室内等离子体产生前后的负载阻抗变化,结合仿真结果,提出等离子体产生过程中阻抗匹配网络的控制方法。经实验验证,该阻抗匹...
关键词：射频阻抗匹配器 阻抗匹配网络 ALD ADS 
半导体器件测试设备中的微弱电流测量模块设计被引量：5
《传感器与微系统》2011年第10期115-117,共3页赵章琰 李勇滔 夏洋 李超波 李力军 李瑞麟 
国家科技重大专项基金资助项目(2009ZX02037)
在半导体测试中,需要测量μA～pA级的微弱电流,而且测量时检流计有多种可能的接入方式。为适应电流测量范围并实现接入方式的灵活性,设计了一种微弱电流检测模块,它基于低偏置电流的互阻放大器,由单片机实现A/D转换和自动量程选择,采用...
关键词：微弱电流 隔离测量 自动量程 
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