孙小孟

作品数:7被引量:4H指数:1
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供职机构:中国科学院微电子研究所更多>>
发文主题:真空规阻抗匹配器阻抗匹配阻抗匹配网络电容式更多>>
发文领域:电子电信自动化与计算机技术一般工业技术机械工程更多>>
发文期刊:《真空科学与技术学报》《仪表技术与传感器》《现代电子技术》《电子工业专用设备》更多>>
所获基金:国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
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基于露点降估算的APU电子控制系统设计
《自动化仪表》2023年第12期37-41,47,共6页张彦会 王君琦 李勇滔 吴迁 杨军 孙小孟 
广西重点研发计划基金资助项目(桂科AB21220052);柳州市科技重大专项基金资助项目(2022AAA0104)。
为了实现商用车电控空气处理系统闭环精确控制、使系统的安全性和经济性得到改善,在商用车空气处理系统中引入了温湿度传感器。根据温湿度和压力数据,经Vogel-Tamma-Fulcher(VTF)方程实现了对高压露点降(DPD)的实时计算和监测。在此基础...
关键词:商用车 空气处理系统 温湿度传感器 露点降 电磁阀 电子控制 
磁控溅射等离子体阻抗影响因素研究被引量:1
《真空科学与技术学报》2023年第6期513-519,共7页王懿 李勇滔 李含雁 金炯 孙小孟 张春雨 
国家自然科学基金项目(62041402,61474139);国家重点研发计划项目(2016YFF0100201)。
了解等离子体阻抗在磁控溅射放电过程中的变化规律,有利于调控电源和负载之间的阻抗匹配,达到最大化利用溅射功率,提高镀膜质量的目的。为了研究磁控溅射镀膜工艺过程中等离子体的阻抗特性的变化趋势,本文采用V-I probe测量等离子体阻...
关键词:磁控溅射 等离子体阻抗 射频放电 放电参数 
基于轮胎径向压力动态特征实现整车质量估计
《仪表技术与传感器》2023年第2期73-77,共5页田云立 李勇滔 申国栋 欧炫峰 杨军 孙小孟 
广西重点研发计划项目(桂科AB21220052)。
为了估计整车质量,将MEMS传感器嵌入轮胎内部,以此获取轮胎的径向加速度、轮胎压力及温度等状态信息,再结合车速信息构建轮胎载荷与接地印痕长度的算法模型。基于轮胎径向压力动态特征估算接地印痕长度,利用已构建的数学模型对轮胎垂向...
关键词:整车质量 MEMS传感器 径向加速度 预测算法 接地印痕长度 轮胎压力 
射频功率发生器的功率检测装置研究被引量:1
《电子工业专用设备》2019年第2期4-7,共4页崔晨 孙小孟 林亭廷 赵丽莉 武燕婷 张庆钊 李勇滔 
国家科技重大专项(课题号:2014ZX02001004-002);国家重点研发计划(课题号:2016YFF0100201)的资助
射频功率发生器是半导体工艺设备的核心部件,功率检测装置的性能决定了射频功率发生器的功率输出特性。系统地研究了射频功率检测装置,通过选择适当的器件,设计出简单精确的射频功率检测电路;经试验分析,本射频功率检测装置的功率检测范...
关键词:射频功率发生器 功率检测装置 检测输出电压 
基于E类功率放大电路的射频功率发生器
《电子工业专用设备》2019年第1期54-59,共6页李勇滔 崔晨 孙小孟 林亭廷 赵丽莉 
国家科技重大专项(2014ZX02001004-002);国家重点研发计划(2016YFF0100201)的资助
系统地研究了E类功率放大电路,通过选择适当的器件,设计出高效简单的放大电路;初步设计了PID的控制策略,并且构建了基于E类功率放大电路的射频功率发生器。经实验测试,本射频功率发生器具有半3U尺寸,额定输出功率达到1 500 W,整机效率大...
关键词:射频功率发生器 E类功率放大电路 PID控制 
基于D类放大器的固态射频电源研究被引量:1
《电子工业专用设备》2018年第6期6-9,共4页孙小孟 崔晨 林亭廷 赵丽莉 李勇滔 
国家科技重大专项(2014ZX02001004-002);国家重点研发计划(2016YFF0100201)
射频电源采用D类功率放大模式,着重分析了驱动电路、功率放大电路。采用4只晶体管两两并联组成推挽电路,再由传输线变压器进行功率合成,输出功率达到1500W,整机效率65%。
关键词:D类功率放大 推挽电路 功率合成 
ALD中射频阻抗匹配器的设计与研究被引量:1
《现代电子技术》2012年第3期202-203,206,共3页孙小孟 李勇滔 夏洋 李超波 李英杰 陈盛云 赵章琰 秦威 
国家科技重大专项(2009ZX02037)
阐述原子层沉积系统(ALD)中射频阻抗匹配器的设计方案。利用ADS软件对阻抗匹配网络进行仿真,通过分析ALD真空腔室内等离子体产生前后的负载阻抗变化,结合仿真结果,提出等离子体产生过程中阻抗匹配网络的控制方法。经实验验证,该阻抗匹...
关键词:射频阻抗匹配器 阻抗匹配网络 ALD ADS 
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