李英杰

作品数：2被引量：6H指数：1
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供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文主题：阻抗匹配网络E类全固态全反射射频电源更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《半导体技术》《现代电子技术》更多>>
所获基金：国家科技重大专项中国科学院科研装备研制项目国家自然科学基金更多>>
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ALD中射频阻抗匹配器的设计与研究被引量：1
《现代电子技术》2012年第3期202-203,206,共3页孙小孟 李勇滔 夏洋 李超波 李英杰 陈盛云 赵章琰 秦威 
国家科技重大专项(2009ZX02037)
阐述原子层沉积系统(ALD)中射频阻抗匹配器的设计方案。利用ADS软件对阻抗匹配网络进行仿真,通过分析ALD真空腔室内等离子体产生前后的负载阻抗变化,结合仿真结果,提出等离子体产生过程中阻抗匹配网络的控制方法。经实验验证,该阻抗匹...
关键词：射频阻抗匹配器 阻抗匹配网络 ALD ADS 
全固态高效率射频电源被引量：5
《半导体技术》2011年第4期287-290,共4页秦威 李勇滔 李超波 夏洋 李英杰 赵章琰 许晓平 
国家科技重大专项(2009ZX02037);国家自然科学基金(60727003);中国科学院科研装备研制项目(YZ200755,YZ200940)
射频电源作为微电子设备如刻蚀机、溅射台和PECVD等的核心部件，其性能的好坏直接关系到整个设备的性能。固态射频电源采用E类MOSFET功率放大器，通过适当的阻抗匹配网络，最终的射频电源在500W的额定功率下，功率转换效率可以达到84％...
关键词：固态射频电源 E类 阻抗匹配网络 等离子体 全反射 
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