杨军

作品数：5被引量：2H指数：0
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供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文主题：辉光放电电子束掺杂硼半导体更多>>
发文领域：电子电信机械工程更多>>
发文期刊：《微细加工技术》《仪表技术与传感器》《Journal of Semiconductors》《自动化仪表》更多>>
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基于露点降估算的APU电子控制系统设计
《自动化仪表》2023年第12期37-41,47,共6页张彦会 王君琦 李勇滔 吴迁 杨军 孙小孟 
广西重点研发计划基金资助项目(桂科AB21220052);柳州市科技重大专项基金资助项目(2022AAA0104)。
为了实现商用车电控空气处理系统闭环精确控制、使系统的安全性和经济性得到改善,在商用车空气处理系统中引入了温湿度传感器。根据温湿度和压力数据,经Vogel-Tamma-Fulcher(VTF)方程实现了对高压露点降(DPD)的实时计算和监测。在此基础...
关键词：商用车 空气处理系统 温湿度传感器 露点降 电磁阀 电子控制 
基于轮胎径向压力动态特征实现整车质量估计
《仪表技术与传感器》2023年第2期73-77,共5页田云立 李勇滔 申国栋 欧炫峰 杨军 孙小孟 
广西重点研发计划项目(桂科AB21220052)。
为了估计整车质量,将MEMS传感器嵌入轮胎内部,以此获取轮胎的径向加速度、轮胎压力及温度等状态信息,再结合车速信息构建轮胎载荷与接地印痕长度的算法模型。基于轮胎径向压力动态特征估算接地印痕长度,利用已构建的数学模型对轮胎垂向...
关键词：整车质量 MEMS传感器 径向加速度 预测算法 接地印痕长度 轮胎压力 
利用电子束掺杂技术制备微米、亚微米P－MOSFET器件
《Journal of Semiconductors》1994年第3期205-207,T001,共4页李秀琼 海潮和 杨军 
国家自然科学基金
本文对辉光放电电子束在ＭＯＳＦＥＴ中的应用进行研究．结果表明，利用辉光放电电子束掺杂方法成功地实现了微米、亚微米Ｐ－ＭＯＳＰＥＴ．器件的漏流小，Ｉ－Ｖ特性好，源漏结浅、均匀和横向掺杂效应小．此方法与常规ＭＯＳ工艺兼容...
关键词：场效应晶体管 MOSFET 微电子器件 
辉光放电电子束瞬态退火研究
《微细加工技术》1993年第2期37-40,共4页李秀琼 卢殿通 陈维德 杨军 
国家自然科学基金
辉光放电电子束已成功用于半导体浅结掺杂和离子注入后的退火处理。本文介绍了用自制的辉光放电电子束机分别对硅中注硼、注砷的损伤进行退火的研究,并与热退火和白光退火结果进行了比较。
关键词：半导体 掺杂 离子注入 退火 辉光放电 
辉光放电电子束掺杂硼浅结被引量：2
《Journal of Semiconductors》1992年第7期448-452,T001,共6页李秀琼 王纯 马祥彬 杨军 
一种新的半导体掺杂方法——电子束掺杂法成功地用于实现掺硼浅结.它是用辉光放电电子束辐照涂敷杂质源的半导体表面,形成高浓度(≥10^(20)/cm^3)、浅结(≤0.1μm)掺杂层.损伤比离子注入的小.试制成功的太阳敏感器件性能优良.
关键词：电子束掺杂法 硼 浅结 半导体 
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