浅结

作品数：62被引量：46H指数：3
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相关机构：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司中国科学院微电子研究所上海华力微电子有限公司北京大学更多>>
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液体隔离法在乳腺表浅良性结节真空辅助旋切术中的应用被引量：5
《中国超声医学杂志》2021年第9期978-981,共4页赵军凤 钱林学 刘玉江 谭小蕖 
北京市医院管理局“登峰”人才培养计划(No.DFL20180102)。
目的探讨液体隔离法在超声引导乳腺表浅良性结节真空辅助旋切术中的应用价值。方法选取86例乳腺表浅良性结节(与皮肤间距<0.5 cm)患者,采用液体隔离法增加结节与皮肤间的距离,超声实时引导下真空辅助全自动乳腺微创旋切系统切除结节,分...
关键词：乳腺表浅结节 液体隔离法 超声引导 真空旋切 
预非晶化和碳共注入在超浅结工艺中的应用
《半导体技术》2016年第10期764-768,共5页许晓燕 陈文杰 刘兴龙 
国家科技重大专项资助项目(2011ZX02013-006)
针对纳米PMOS器件超浅结工艺面临的硼扩散问题,开展了预非晶化与激光退火和碳共注入结合的超浅结实验,通过透射式电子显微镜(TEM),二次离子质谱(SIMS),扩展电阻法(SRP)等测试对超浅结特性进行评估。结果表明,采用激光退火和碳共注入的...
关键词：预非晶化 激光退火 共注入 硼扩散 超浅结 
光敏二极管电压特性研究被引量：8
《微处理机》2016年第4期16-18,共3页吴会利 郑莹 
光敏二极管是在外加反向偏压的情况下体现出其光电转换特性的。对于光敏器件来说,其反向击穿特性至关重要。首先对光敏二极管的结构、工作原理进行了概述,从浅结光敏区、过程缺陷、表面应力、不同结构等方面展开对光敏二极管电压特性的...
关键词：反向击穿电压 光电流 暗电流 浅结光敏区 层错缺陷 晶格缺陷 沾污 表面应力 
改善微波功率器件可靠性的方法被引量：1
《电子产品可靠性与环境试验》2016年第3期29-32,共4页冯彬 潘宏菽 
微波功率器件因其具有体积小、可靠性高等优点而被广泛地运用在了微波通讯系统、遥测系统、雷达、电子对抗和导航等领域。但是,由于硅微波双极功率器件的结比较浅、基区比较窄,因而其击穿电压往往较低,从而对器件的大功率输出和抗烧毁...
关键词：微波 功率晶体管 浅结 镇流电阻 击穿电压 预匹配 
High Resolution Medium Energy ion Scattering Analysis for Investigating UltraShallow Junction of Antimony Implanted in Conventional Silicon
《材料科学与工程（中英文A版）》2016年第1期17-22,共6页Talal H. Alzanki Kandil M. Kandil Chris Jeynes Brian J. Sealy Mohammad R. Alenezi AbdullahAlmeshal Naziha M. Aldukhanand Adel Ghoneim 
关键词：离子散射 硅晶片 超浅结 植入 能量离子 高分辨率 互补金属氧化物半导体 锑 
超浅结亚45nm MOSFET亚阈值区二维电势模型被引量：3
《电子学报》2015年第1期94-98,共5页韩名君 柯导明 
国家自然科学基金(No.61076086;No.06070458);高等学校博士学科点专项科研基金(No.2103401110008)
文章提出将亚阈值区超浅结MOSFET的氧化层和Si衬底划分为三个区域,得到三个区域的定解问题,并用特征函数展开法求出了因边界衔接条件而产生的未知系数,首次得到超浅结亚45nm MOSFET的二维电势半解析模型,并给出了亚阈值电流模型.通过与M...
关键词：超浅结亚45nm MOSFET 二维电势半解析模型 亚阈值电流 
团簇离子束纳米加工技术研究进展
《中国表面工程》2014年第6期28-43,共16页张早娣 李慧 王泽松 付德君 
国家自然科学基金(11205116;11375133;11375135)
团簇离子束是带电的团簇,可以在电场、磁场作用下加速、传输或偏转,形成几个eV到几个MeV能量的离子束。文中阐述了团簇离子束的基本概念、产生方法和主要应用。大尺寸气体团簇和硼基团簇必须用高压气体超声绝热膨胀方法产生,然后通过电...
关键词：团簇离子束 离子加工 表面平化 超浅结 石墨烯 
激光脉冲退火对40nm超浅结和pMOS器件性能的优化被引量：1
《半导体技术》2014年第11期850-854,共5页张冬明 刘巍 张鹏 
使用二次离子质谱(SIMS)和电学特性参数测量深入研究了在40 nm低功耗工艺中,激光脉冲退火(LSA)对超浅结(USJ)以及其对pMOS器件有源区和多晶硅栅方块电阻、阈值电压卷曲曲线和本征特性曲线的影响。从SIMS结果可以看出,LSA由于其作用时间...
关键词：激光脉冲退火(LSA) 超浅结(USJ) 二次离子质谱(SIMS) 卷曲曲线 本征 特性曲线 
深浅结合 混搭卫浴间
《中国厨卫（2002-2013）》2013年第12期92-95,共4页潋滟 
既然风格可以混搭，色彩也同样可以。当深浅不一的色彩搭配在一起，不仅能为空间营造出更好的层次感，亦能起到烘托氛围的妙用。其实在日常生活中，无论是中式风格还是西式风格都能见到色彩混搭的情况，只不过我们往往只着眼于某一项重...
关键词：卫浴间 浅结 色彩搭配 西式风格 空间营造 中式风格 层次感 表现力 
浅结密栅线硅太阳电池工艺研究
《半导体光电》2013年第2期241-243,246,共4页马继奎 陈明敬 闫英丽 崔景光 张东升 安海娇 
太阳能光伏发电技术国家重点实验室建设项目(10963922D)
通过提高发射区方块电阻,配合密栅线丝网印刷工艺,制备了性能优良的多晶硅太阳电池。对比两种不同扩散工艺的方块电阻和ECV浓度,分析发射区方块电阻对太阳电池电性能参数的影响。结果表明:方阻为80Ω/□的发射区比70Ω/□的发射区的太...
关键词：多晶硅电池 方块电阻 丝网印刷 电性能 
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