硼扩散

作品数：43被引量：49H指数：4
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n型“SE+TOPCon”太阳电池硼扩散氧化推结过程中的湿氧化工艺研究
《太阳能》2024年第12期72-78,共7页陈骏 李兵 赵增超 申凯琳 刘湘祁 邓新新 
为了探究湿氧化工艺在叠加选择性发射极(SE)技术的n型隧穿氧化层钝化接触(TOPCon)太阳电池(下文简称为“n型‘SE+TOPCon’太阳电池”)制备工艺中的作用,在制备此类太阳电池的硼扩散工艺氧化推结过程中增加了湿氧化工艺,通过实验对比干...
关键词：TOPCon太阳电池 选择性发射极 湿氧化工艺 氧化推结 轻掺杂区 重掺杂区 方阻 光电转换效率 
硼扩散设备温度控制系统的研究与实现
《太阳能》2024年第4期87-93,共7页彭浩 黄心沿 吴志明 邹臻峰 
近年来,随着光伏行业持续快速的发展,n型TOPCon太阳电池技术路线得到市场认可,产能不断扩张。硼扩散设备作为TOPCon太阳电池核心工艺设备之一受到市场极大的关注,其温度控制系统在工艺生产过程起着决定性的作用。对比硼扩散设备实际应...
关键词：TOPCon太阳电池 硼扩散设备 温度控制系统 插片方式 分区炉体 
基于SE技术的硼扩散和氧化退火工艺研究
《科技风》2024年第8期55-57,91,共4页成秋云 陈骏 李明 赵增超 刘湘祁 
文中探究了关于N-TOPCon电池应用于选择性发射极(SE)技术中的硼扩散和氧化退火工艺。通过设定实验变量,包括无氧推进过程及其所处的硼扩散和氧化退火工艺阶段,进行了方阻、ECV和钝化方面测试验证。在氧化退火工艺中,低温氧气注入(860℃...
关键词：低温氧化 方阻均匀度 推进 表面浓度 饱和暗电流密度 
全TOPCon电池正面多晶硅层硼掺杂工艺
《人工晶体学报》2024年第2期329-335,共7页张博 宋志成 倪玉凤 魏凯峰 
为提升隧穿氧化层钝化接触(TOPCon)电池光电转换效率,本文通过高温扩散在n型TOPCon电池正面制作p型隧穿氧化层钝化接触结构,提升发射极钝化性能,减少正面金属复合。本文研究了不同沉积时间、推进温度、推进时间等工艺参数对实验样品钝...
关键词：TOPCon电池 钝化接触 硼扩散 钝化 电流密度 光电转换效率 
TOPCon太阳能电池选择性发射极工艺研究被引量：2
《人工晶体学报》2024年第1期138-144,共7页杨露 宋志成 倪玉凤 张婷 魏凯峰 阮妙 石惠君 郑磊杰 
为提升隧穿氧化钝化接触(TOPCon)太阳能电池的光电转换效率,采用硼扩散和激光掺杂的方式形成选择性发射极结构,研究了硼扩散方阻、激光功率输出比、氧化时间等对电池发射极钝化性能的影响。实验结果表明,当扩散方阻为140Ω/□,氧化温度...
关键词：TOPCon太阳能电池 选择性发射极 硼扩散 激光 氧化 光电转化效率 
M5211-6-UM 型立式硼扩散设备研制
《有色设备》2023年第3期21-24,共4页吴志明 郭浩 赵志然 
M5211-6-UM型立式硼扩散炉用于晶体硅太阳能电池片硼扩散工艺,具有全自动化、高产能、低能耗、维护便捷等特点。本文介绍了该型号设备的结构组成及性能,给出了能耗和工艺结果,结果表明该设备各方面性能已达到国内领先水平,具备产业化条件。
关键词：硼扩散 石英舟 方阻均匀性 
硼扩散设备若干难点问题的研究被引量：1
《太阳能》2023年第3期52-57,共6页彭浩 赵志然 龙辉 郭浩 
随着针对n型太阳电池的投资提速,国内光伏企业积极开展TOPCon太阳电池布局,产业化进程得到加速,推进新技术落地。硼扩散设备作为TOPCon太阳电池技术的关键工艺设备之一,获得了市场极大的关注。针对硼扩散设备使用过程中遇到的不同类型...
关键词：TOPCon太阳电池 硼扩散设备 硼源 硼硅玻璃 高能耗 
TOPCon电池低压硼扩散设备的发展趋势分析被引量：1
《电子工业专用设备》2023年第1期1-6,59,共7页刘建华 龙辉 李程 梁浩 李楠 
随着太阳能光伏发电对晶体硅电池高转化效率需求的不断增加,对晶体硅电池技术关键设备投资性价比和发电性能的要求更高。对晶硅电池发展工艺技术进行了阐述,分析讨论了国内外隧穿氧化层钝化接触电池(简称“TOPCon”)低压硼扩散炉的发展...
关键词：太阳能 光伏发电 隧穿氧化层钝化接触电池 高转化效率 硼扩散 
n型IBC太阳电池选择性发射极工艺研究被引量：4
《人工晶体学报》2022年第11期1929-1935,共7页高嘉庆 郭永刚 屈小勇 吴翔 张天杰 张博 刘洪东 
为提升n型叉指背接触(IBC)太阳电池的光电转换效率,采用丝网印刷硼浆和高温扩散的方式形成选择性发射极结构,研究了硼扩散和硼浆印刷工艺对电池发射极钝化性能和接触性能的影响。实验结果表明,在硼扩散沉积时间和退火时间一定的条件下,...
关键词：IBC太阳电池 选择性发射极 硼浆 丝网印刷 硼扩散 光电转换效率 
基于BCl_(3)源的低压硼扩散设备及工艺研究被引量：8
《有色设备》2022年第2期18-22,27,共6页龙辉 赵志然 李明 郭良全 
湖南省创新型省份建设专项项目(2019TP2048)。
以BCl_(3)为掺杂源的低压硼扩散炉是N型TOPCon太阳能电池重要制造设备之一,其工艺过程具有气体输送控制难、工艺气体腐蚀性强、反应洁净度要求高、尾气高温等特点。针对这些特点本文通过优化气路系统、增加气路伴热,保证BCl_(3)精准稳定...
关键词：硼扩散 BCl_(3) 低压 方阻 黑边 
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