光谱式MEMS/CMOS兼容气敏传感器  

MEMS/CMOS Compatible Gas Sensors Based on Spectroscopy Analysis

作　　者：高超群[1] 焦斌斌[1] 刘茂哲[1] 李全宝[1] 杨锴[1] 石莎莉[1] 李志刚[1] 欧毅[1] 景玉鹏[1] 陈大鹏[1] 

机构地区：[1]中国科学院微电子研究所,北京100029

出　　处：《Journal of Semiconductors》2008年第10期2043-2049,共7页半导体学报（英文版）

摘　　要：光谱技术是化学分析的终极手段.将光谱技术与MEMS(micro-electro-mechanical systems)和CMOS技术结合是解决当前气敏传感器灵敏度低、选择性差、体积大、功耗高、不便于阵列化和高度集成以至于无梯度立体矢量探测能力等问题的有效手段.本文介绍了一种制作于(110)硅片上的集成光谱式MEMS/CMOS兼容气敏传感器,详述了该气敏传感器的工作原理、传感器结构和制造工艺.A novel MEMS/CMOS compatible gas sensor based on spectroscopy analysis,which is fabricated on a （110） silicon wafer, is proposed. Its main principle, structure, and fabrications are introduced in detail. The gas sensor gains high sensitivity and selectivity but has low power consumption, and it should detect the grads of gas concentration for the mentioned advantages.

关 键 词：MEMS 气敏传感器 光谱分析 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]