射频微机械开关的计算机辅助设计  

Computer-Aided Design of RF-MEMS Switch

作　　者：魏华征[1] 郭方敏[1] 赖宗声[1] 朱守正[1] 朱自强[1] 李小卫[2] 程知群[2] 孙晓玮 

机构地区：[1]华东师范大学信息科学技术学院,上海200062 [2]中国科学院上海冶金研究所传感技术联合开放实验室,上海200050

出　　处：《Journal of Semiconductors》2002年第9期947-951,共5页半导体学报（英文版）

基　　金：国家基础研究发展基金 (973 ) (No.G19990 3 3 10 -5 );国家杰出青年基金 (批准号 :6992 5 40 9);上海市 AM基金 (No.0 0 0 4)资助项目~~

摘　　要：应用计算机辅助设计 (CAD)方法模拟设计一种射频微机械 (RF- MEMS)开关 .用 Agilent ADS软件模拟分析了共面波导的传输线损耗和 MEMS开关的等效电路模型 ,并应用 ANSYS软件模拟开关的驱动电压 ,得到了35 GHz工作频率的并联电容式 MEMS开关一些有意义的理论分析结果 .A RF MEMS switch is designed by computer aided design (CAD) method.The transmission line loss of the coplanar waveguide (CPW) and the equivalent circuit model of the microelectromechanical systems (MEMS) switch are simulated using Agilent ADS software.The actuation voltage of the switch is also analysed by ANSYS software.Significant simulation results of the shunt capacitive switch,operating at 35GHz,are obtained.

关 键 词：射频微机械开关 计算机辅助设计 并联电容式开关 微电子机械系统 MEMS 共面波导 ADS软件 ANSYS软件 

分 类 号：TP391.72[自动化与计算机技术—计算机应用技术]