MEMS开关及其应用  

MEMS Switch and Its Application

作　　者：翁寿松 

机构地区：[1]罗特电子有限公司,江苏无锡214002

出　　处：《电子元器件应用》2003年第8期17-19,共3页Electronic Component & Device Applications

摘　　要：介绍MEMS开关的分类、特性、制造、可靠性和应用。The classification, property, fabrication, reliability and application of MEMS switch are introduced here.

关 键 词：MEMS开关 微电子机械系统 微机械开关 射频微机械开关 应用 

分 类 号：TM564[电气工程—电器] TH-39[机械工程]