MEMS膜开关

作品数:6被引量:9H指数:2
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Ku-波段MEMS单刀双掷开关的设计与模拟被引量:1
《中国机械工程》2005年第z1期243-244,共2页严捷 廖小平 朱健 陈洁 
利用Ku-波段MEMS单刀单掷膜开关和成熟的微带线技术设计了一种Ku-波段MEMS单刀双掷膜开关.模拟结果为阈值电压19V左右,工作于Ku-波段(8~12)GHz,在中心频率15GHz处,导通开关的插入损耗为-0.15dB,截止开关的隔离度为-33dB,开关的回波损耗...
关键词:MEMS 单刀双掷开关 MEMS膜开关 插入损耗 隔离度 回波损耗 
扭转臂杠杆式MEMS膜开关的分析被引量:1
《传感器技术》2004年第7期71-73,共3页谢兴军 单红 苏伟 
为解决现有的MEMS微波开关的激励电压太高、微连接和膜开关的击穿电压等问题,提出了一种独特结构的MEMS微波开关—扭转臂杠杆式膜开关,并对其进行了理论分析,用conventorware和ADS(ad vanceddesignsystem)软件进行了仿真。由于利用了膜...
关键词:MEMS膜 隔离度 插入损耗 共面波导 
基于砷化镓衬底的RF MEMS膜开关被引量:2
《微纳电子技术》2003年第7期395-396,403,共3页郑惟彬 黄庆安 李拂晓 廖小平 
射频微机械开关由于其优越的高频特性在微波和毫米波电路中表现出巨大的应用前景。但是目前的微机械开关都是制作在硅基衬底上的 ,难于与后面的高频砷化镓处理电路相集成。本文介绍了基于砷化镓衬底的RFMEMS膜开关 ,着重介绍了开关的工...
关键词:射频微机械开关 砷化镓 微机电系统 工作原理 MEMS膜开关 
高电容比射频/微波MEMS膜开关的理论分析和数值模拟被引量:4
《微波学报》2003年第1期56-60,共5页龙永福 赖宗声 朱自强 
国家重点基础研究 ( 973) (No .G19990 3310 5 );国家杰出青年基金 (No .6 992 5 4 0 9);上海市AM基金;上海市科技发展基金 ( 0 15 2 110 6 6 );上海市重点学科 (No .0 12 2 6 10 2 8)联合资助
建立了一个MEMS膜开关电容比理论模型。由于这个模型比较全面地考虑了开关阈值电压、维持电压、偏置电压和介质膜内的电场强度等因素对电容比的影响 ,因而能较为正确地反映开关的电容特性。用数值方法计算了影响开关电容比的因素 ,并对...
关键词:电容比 数值模拟 MEMS膜开关 阈值电压 维持电压 电场强度 
X波段MEMS膜开关的阻抗分析模型被引量:1
《电子学报》2003年第z1期2213-2215,共3页郑惟彬 黄庆安 廖小平 李拂晓 
射频微机械 (RFMEMS)开关由于其优越的高频特性在微波和毫米波电路中表现出巨大的应用前景 .但是目前对微机械开关的研究主要都集中在开关梁的结构设计和力学分析上 ,对开关的电磁特性的研究 ,尤其是开关高频阻抗匹配分析的研究与验证...
关键词:微机械膜开关 阻抗匹配 插入损耗 隔离度 
射频MEMS膜开关的力学解析模型
《微波学报》2002年第3期39-42,48,共5页郑惟彬 黄庆安 李拂晓 
MEMS开关以其固有的低功耗、低插损和低交叉调制损耗等特性 ,在微波领域表现出巨大的应用潜力。但是目前大部分的研究工作都集中在设计新型开关结构和开关制作工艺上 ,对开关力学模型的研究较少。本文根据材料力学 ,通过合理的假设和简...
关键词:膜开关 模型 阈值电压 
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