微机械开关

作品数:18被引量:34H指数:3
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相关领域:电子电信电气工程更多>>
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相关机构:东南大学清华大学中国电子科技集团第十三研究所重庆大学更多>>
相关期刊:《中国集成电路》《华通技术》《真空科学与技术学报》《中国材料科技与设备》更多>>
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