硅微机械陀螺

作品数：87被引量：216H指数：9
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馈通对硅微机械陀螺零偏影响及其抑制研究
《仪表技术与传感器》2024年第10期73-77,104,共6页尹子第 李宏生 
硅微机械陀螺仪激励电极及读出电极间存在寄生电容,进而在读出信号中引入与其同频同相的馈通干扰信号。针对此现象,采用时域法对馈通干扰下力平衡模式的零偏特性进行理论推导,通过Simulink仿真及实验对结论进行验证。研究表明:馈通干扰...
关键词：硅微机械陀螺 馈通干扰 零偏 模态频差 半频谐振信号 
硅微机械陀螺同相信号的温度系数研究
《微波学报》2023年第S01期386-391,共6页王章辉 史晓晶 郭欣 
同相信号的温度系数是影响硅微机械陀螺零偏温度漂移的主要原因。同相信号温度系数理论模型的建立可以为降低陀螺在温度环境中零偏漂移提供理论指导。本文从硅微机械陀螺的多层封装结构入手,结合陀螺自身的特征以及同相信号产生机理建...
关键词：硅微机械陀螺 同相信号 温度系数 多层封装结构 
基于FPGA的谐振陀螺正弦信号检测方法研究被引量：4
《传感器与微系统》2020年第2期4-6,10,共4页汤丽 郭锋 刘玉县 何春华 彭焮成 
国家自然科学基金资助项目(61434003)
硅微机械陀螺仪的驱动模态采用自激闭环的控制方式,实现陀螺在谐振频率上恒幅振荡。针对陀螺起振后的信号,设计基于CORDIC算法、LMS自适应算法及硬件频率计的正弦信号幅度和频率的检测系统,得到陀螺驱动模态振动幅值。实验表明:驱动响...
关键词：硅微机械陀螺 闭环自激驱动 坐标旋转数字计算方法(CORDIC) 最小均方 频率计 
硅微机械陀螺驱动方式研究被引量：1
《科技视界》2018年第24期1-2,8,共3页许友平 章晓春 
硅微机械陀螺因其体积小、质量轻、集成度高、功耗低等优良性能特点,已经在军事及民用领域有着非常广泛的应用。为将角度率转换为电信号,需要驱动硅微机械陀螺的质量块进行振荡,采取的驱动方式不同对整个微机械陀螺系统的性能有着非常...
关键词：硅微机械陀螺 驱动方式 
高Q值硅微机械陀螺系统特性分析与面向精度的设计方法研究被引量：1
《机械工程学报》2018年第3期136-136,共1页申强 苑伟政 
微机械陀螺是测量刚体角运动的基础核心元器件,是代表精密仪器制造水平的高端复杂测量装置。陀螺精度是制约其发展与应用的关键,而品质因数(Q)是影响硅微机械陀螺精度及其系统性能的重要因素,对陀螺的机械耦合以及电耦合误差,系统零位...
关键词：硅微机械陀螺 陀螺系统 
硅微机械陀螺仪频率调谐控制系统设计被引量：6
《中国惯性技术学报》2017年第6期793-798,共6页曹慧亮 张英杰 闫捷 李宏生 申冲 刘俊 
国家自然基金项目(51727808;51705477;61603353;61503346);山西省回国留学人员科研资助项目(2016-083);中北大学电子测试技术重点实验室开放基金(ZDSYSJ2015004);毁伤技术重点学科实验室开放基金(DXMBJJ2017-15)
硅微机械陀螺结构的驱动和检测模态谐振频率差(Δf)是决定其结构机械灵敏度的主要因素,当Δf≈0时,陀螺结构处于频率调谐状态,此时陀螺的机械灵敏度达到最大峰值且噪声和分辨率等指标可得到有效提高。提出了一种基于正交信号和驱动位移...
关键词：硅微机械陀螺仪 模态频率调谐 鉴相 模型仿真 模态刚度调节 
硅微机械陀螺仪温度补偿方法的研究现状被引量：12
《微纳电子技术》2017年第6期395-400,共6页刘楠 苏言 童鑫 韩国威 司朝伟 宁瑾 
国家自然科学基金资助项目(61274001;61234007;61504130)
综述了硅微机械陀螺仪温度补偿方法的研究现状。介绍了陀螺仪的基本原理,并分析了陀螺仪的温度特性。分别对温度控制、器件设计和算法补偿三种温度补偿方法进行了原理和结果分析,总结了各种方法的优势与不足。介绍了算法补偿中两种常用...
关键词：微机械系统(MEMS) 陀螺仪 零偏稳定性 温度补偿 软件算法补偿 
一种新型的硅微机械陀螺数字读出系统
《导航与控制》2017年第1期52-56,共5页王玉良 郑旭东 曾青林 邢朝洋 
为了简化系统设计,进一步改善陀螺的控制性能,提出了一种新型的微机械陀螺数字读出系统方案。该方案采用EPLL和AGC技术实现陀螺驱动模态的相位与幅度闭环控制,采用EPLL技术实现检测模态的信号解调。不仅降低了对陀螺品质因数的要求,而...
关键词：硅微机械陀螺 闭环驱动 数字锁相环 解调 
双质量硅微机械陀螺仪带宽拓展系统设计被引量：5
《中国惯性技术学报》2016年第2期218-223,共6页曹慧亮 李宏生 申冲 石云波 刘俊 王华 
国家杰出青年科学基金(51225504);973(2012CB723404);总装预研基金项目(9140A09011313JW06119);江苏省科技攻关项目(BE2014003-3);中北大学校基金
检测开环状态下,微机械陀螺的实际工作带宽约为驱动和检测模态固有频率差值(?f)的一半,而陀螺结构的机械灵敏度与Δf成反比,较高的机械灵敏度有助于优化陀螺的噪声特性。本文提出了一种较为通用的陀螺带宽拓展方法,在使陀螺拥有较好的...
关键词：双质量硅微机械陀螺仪 带宽拓展 比例-积分串联相位超前 模型仿真 
硅微陀螺正交误差校正方案优化被引量：6
《光学精密工程》2016年第1期134-142,共9页曹慧亮 王玉良 石云波 申冲 李宏生 刘俊 杨志才 
总装预研基金资助项目(No.9140A09011313JW06119);江苏省科技攻关计划资助项目(No.BE2014003);国家杰出青年科学基金资助项目(No.51225504);国家安全重大基础研究计划资助项目(No.2012CB723404);中北大学科研基金资助项目
本文意在寻求双质量硅微机械陀螺仪正交校正最优方案。首先介绍了带有正交校正和检测力反馈梳齿的双质量硅微机械陀螺结构,量化分析了正交误差对输出信号的影响并进行了仿真,结果显示解调相角变化为±2°,200(°)/s的正交误差等效输入...
关键词：硅微机械陀螺仪 电荷注入法 正交力校正 正交耦合刚度校正 
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