韩国威

作品数：8被引量：47H指数：4
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供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
发文主题：锚点电极MEMS压电层掩膜更多>>
发文领域：电子电信机械工程理学文化科学更多>>
发文期刊：《电子与封装》《微纳电子技术》《激光与光电子学进展》《分析测试技术与仪器》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国科学院仪器设备功能开发技术创新项目更多>>
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三维封装TSV结构热失效性分析被引量：4
《电子与封装》2021年第9期9-14,共6页宋培帅 何昱蓉 魏江涛 杨亮亮 韩国威 王晓东 杨富华 
随着集成电路向低功耗、小体积、高集成度方向发展,二维平面集成逐渐面临挑战。硅通孔(Through Silicon Via,TSV)能够实现芯片上下垂直互连,减小引线布线长度,是三维集成技术中的关键步骤。通过有限元仿真软件(Comsol Multiphysic)对TSV...
关键词：硅通孔 有限元仿真 热循环试验 热失配 
基于ITO掩膜的键合片深硅刻蚀被引量：2
《微纳电子技术》2020年第11期905-910,共6页蔡萌 司朝伟 韩国威 宁瑾 杨富华 
模拟集成电路重点实验室稳定支持资助项目(6142802 WD201806)。
提出了用氧化铟锡(ITO)作为掩膜对硅与玻璃的键合片进行深硅刻蚀的工艺。ITO薄膜采用直流溅射工艺常温生长,避免了传统等离子体化学气相沉积(PECVD)方式生长氧化硅掩膜高温对器件制备造成的影响。对不同的ITO薄膜图形化方式进行了研究,...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 键合片 深硅刻蚀 氧化铟锡(ITO)掩膜 图形化 刻蚀选择比 
瓦里安300XP离子注入机改造及功能开发被引量：1
《分析测试技术与仪器》2020年第3期151-159,共9页张明亮 韩国威 刘庆 李艳 杨富华 王晓东 
国家重点研发计划(项目号:2019YFB1503602,2018YFB1107502);国家自然科学基金(项目号:51720105004);中国科学院科研仪器设备研制项目(项目号:GJJSTD20200006);中国科学院仪器设备功能开发技术创新项目。
在完全掌握瓦里安300XP离子注入机各部件的工作原理后,将原离子源供电系统中500 W电流源和450 W起弧电源升级为1500 W电流源和1500 W起弧电源,并集成到当前系统中.将现有不稳定的气体流量、离子源电源、分析器、源磁场和吸极高压塑料光...
关键词：离子注入 浓硼掺杂 自停止腐蚀 微电子机械系统压力传感器 热电器件 纳米谐振子 
量子定位导航技术研究与发展现状被引量：16
《激光与光电子学进展》2018年第9期23-37,共15页宋培帅 马静 马哲 张淑媛 司朝伟 韩国威 宁瑾 杨富华 王晓东 
国家自然科学基金(61474115;61504130;61704165;51720105004)
最近二十年,作为一种新型导航技术,量子定位系统(QPS)因其特有的信息传输优势得到了飞速发展。简要介绍了卫星导航与惯性导航系统的原理及各自面临的问题,阐述了量子定位导航系统的概念与基本原理、量子导航的优势、量子导航的分类及国...
关键词：量子光学 量子定位系统 卫星导航 量子通信 量子信息和处理 
硅微机械陀螺仪温度补偿方法的研究现状被引量：12
《微纳电子技术》2017年第6期395-400,共6页刘楠 苏言 童鑫 韩国威 司朝伟 宁瑾 
国家自然科学基金资助项目(61274001;61234007;61504130)
综述了硅微机械陀螺仪温度补偿方法的研究现状。介绍了陀螺仪的基本原理,并分析了陀螺仪的温度特性。分别对温度控制、器件设计和算法补偿三种温度补偿方法进行了原理和结果分析,总结了各种方法的优势与不足。介绍了算法补偿中两种常用...
关键词：微机械系统(MEMS) 陀螺仪 零偏稳定性 温度补偿 软件算法补偿 
氮化铝面内伸缩模态谐振器的研究现状被引量：2
《微纳电子技术》2014年第6期374-380,393,共8页杨健 韩国威 司朝伟 赵永梅 宁瑾 
国家自然科学基金资助项目(61274001;61234007);北京市科技创新基地培育与发展工程专项(Z131103002813070)
综述了氮化铝面内伸缩模态的射频MEMS谐振器。氮化铝面内伸缩模态谐振器(contour-mode resonator,CMR)利用了氮化铝薄膜的压电效应,由器件的机械谐振再通过机电转化实现谐振功能,基本结构为电极层-氮化铝层-电极层。当前研究的两种典型...
关键词：射频微机电系统(RF-MEMS) 氮化铝(AlN) 面内伸缩模态谐振器 谐振频率 品质因子 温度稳定性 动态电阻 
高性能音叉结构MEMS陀螺的抗冲击设计被引量：7
《微纳电子技术》2014年第5期302-307,共6页司朝伟 韩国威 宁瑾 赵永梅 杨富华 
国家自然科学基金资助项目(61274001);北京市科技创新基地培育与发展工程专项(Z131103002813070)
MEMS音叉陀螺存在很多振动模态,分析发现,其在驱动方向上受到冲击时的振动形式与工作在驱动模态的振动形式是不同的。通过改进悬挂梁的尺寸结构,提高了冲击振动模态谐振频率以增强陀螺的抗冲击性,同时保持驱动模态谐振频率不超过20 kHz...
关键词：MEMS音叉陀螺 冲击模态 抗冲击性 高品质因数 惯性导航 
基于谐振原理的RF MEMS滤波器的研制被引量：3
《微纳电子技术》2012年第7期467-470,共4页康中波 韩国威 司朝伟 钟卫威 赵永梅 宁瑾 
国家自然科学基金资助项目(61006073);国家高技术研究发展项目(2006AA04Z339)
采用与IC工艺兼容的硅表面MEMS加工技术,以碳化硅材料作为结构材料,研制出一种新型的基于谐振原理工作的RF MEMS滤波器。详细介绍了器件的工作原理、制备方法、测试技术和结果,并对测试结果做出分析。该RF MEMS滤波器由弹性耦合梁连接...
关键词：射频微机电系统(RFMEMS) 滤波器 谐振原理 碳化硅 亚微米间隙 
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